JPH02132657U - - Google Patents

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JPH02132657U
JPH02132657U JP4177089U JP4177089U JPH02132657U JP H02132657 U JPH02132657 U JP H02132657U JP 4177089 U JP4177089 U JP 4177089U JP 4177089 U JP4177089 U JP 4177089U JP H02132657 U JPH02132657 U JP H02132657U
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JP
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cassette
tank
chamber side
vacuum evaporation
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JP4177089U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る真空蒸着装置の構成図、
第２図、第３図は、それぞれ第１図に示す真空蒸
着装置の真空蒸着槽内にカセツトを搬送した時及
び基板を移載した時の側面図である。 ３……ロードチヤンバ、４……アンロードチヤ
ンバ、５……カセツト、１０……真空蒸着槽、１
１……基板積卸し装置、１４……回転パレツト、
１６……蒸着ステーシヨン、１６ａ……蒸発用ル
ツボ、１７……基板積込み装置、１８……カセツ
ト移送装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空蒸着槽内に、複数の被蒸着基板保持用開口
    を有する回転パレツトと、この回転パレツトの下
    方に設けた蒸発ルツボを備えた真空蒸着装置にお
    いて、前記真空蒸着槽に仕切り扉を介して真空手
    段を備えたロードチヤンバとアンロードチヤンバ
    を隣接配置すると共に、槽内ロードチヤンバ側に
    、カセツト内で所定間隔をもつて段積みされた基
    板を取り出す基板積卸し装置と、前記回転パレツ
    トの開口に前記基板を移載する基板移載装置を設
    ける一方、槽内アンロードチヤンバ側に、前記回
    転パレツト上の基板を取り出す基板移載装置と基
    板を順次カセツト内の各段部に収容する基板積込
    み装置を設け、かつ、前記カセツトを前記ロード
    チヤンバ側からアンロードチヤンバ側へ移送させ
    るカセツト移送装置を設けたことを特徴とする真
    空蒸着装置。
JP4177089U 1989-04-10 1989-04-10 Pending JPH02132657U (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05250665A (ja) * 1991-09-20 1993-09-28 Intevac Inc 基板取扱い処理システム
JPH06293970A (ja) * 1993-04-08 1994-10-21 Anelva Corp 基板搬送装置
WO2005058756A1 (ja) * 2003-12-17 2005-06-30 Ideal Star Inc. 内包フラーレンの製造装置、及び、内包フラーレンの製造方法
WO2005059199A1 (ja) * 2003-12-19 2005-06-30 Ideal Star Inc. 薄膜堆積装置、及び、薄膜堆積方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS538059U (ja) * 1976-07-03 1978-01-24

Patent Citations (1)

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