JPS63128731U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63128731U JPS63128731U JP2037687U JP2037687U JPS63128731U JP S63128731 U JPS63128731 U JP S63128731U JP 2037687 U JP2037687 U JP 2037687U JP 2037687 U JP2037687 U JP 2037687U JP S63128731 U JPS63128731 U JP S63128731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tunnel section
- substrates
- top plate
- substrate
- section
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
第１図は基板受渡装置のトンネル部の天板を開
いた状態を示す一部破断斜視図、第２図は基板受
渡装置の斜視図である。 ２……基板、３……トンネル部、７……突出部
材（基板支持ピン）、８……天板、１１……カセ
ツト受部、１３……昇降駆動手段、Ａ……基板搬
送路。
いた状態を示す一部破断斜視図、第２図は基板受
渡装置の斜視図である。 ２……基板、３……トンネル部、７……突出部
材（基板支持ピン）、８……天板、１１……カセ
ツト受部、１３……昇降駆動手段、Ａ……基板搬
送路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板搬送路の途中に設けられ、基板を通過させ
るトンネル部と、トンネル部の天板に基板収容カ
セツトを載置するカセツト受部とを備え、トンネ
ル部とカセツト受部とを一体に昇降可能に構成し
た基板の受渡装置において、 トンネル部内に搬送途上にある基板を一時的に
載置する複数の基板支持用の突出部材を設置する
とともに、トンネル部の天板を開閉可能に構成し
たことを特徴とする基板の受渡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2037687U JPS63128731U (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2037687U JPS63128731U (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128731U true JPS63128731U (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=30815829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2037687U Pending JPS63128731U (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128731U (ja) |
-
1987
- 1987-02-14 JP JP2037687U patent/JPS63128731U/ja active Pending
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