JPH0353556U - - Google Patents
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- JPH0353556U JPH0353556U JP11546289U JP11546289U JPH0353556U JP H0353556 U JPH0353556 U JP H0353556U JP 11546289 U JP11546289 U JP 11546289U JP 11546289 U JP11546289 U JP 11546289U JP H0353556 U JPH0353556 U JP H0353556U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film forming
- film
- forming apparatus
- film thickness
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図は第2図の−断面概略図、第2図は
本考案の一実施例による真空成膜装置の平面概略
図、第3図は第1図の−矢視略図、第4図は
前記真空成膜装置の平面図である。 1……中間室、2……出入口室、3〜7……反
応室、12……アーム旋回型基板搬送機構、20
……膜厚測定装置、30……基板搬送機構。
本考案の一実施例による真空成膜装置の平面概略
図、第3図は第1図の−矢視略図、第4図は
前記真空成膜装置の平面図である。 1……中間室、2……出入口室、3〜7……反
応室、12……アーム旋回型基板搬送機構、20
……膜厚測定装置、30……基板搬送機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 反応室内に基板を搬送して成膜処理を行う真空
成膜装置であつて、 基板上に形成された膜の膜厚測定を前記反応室
に連通し得る室で行う膜厚測定装置と、前記膜厚
測定装置に基板を搬送する基板搬送機構とを備え
た真空成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989115462U JPH072609Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989115462U JPH072609Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0353556U true JPH0353556U (ja) | 1991-05-23 |
JPH072609Y2 JPH072609Y2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=31663790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989115462U Expired - Fee Related JPH072609Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH072609Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007084926A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-04-05 | Brother Ind Ltd | 膜形成装置および膜形成方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5874338U (ja) * | 1981-11-13 | 1983-05-19 | 帝人株式会社 | 薄膜形成装置 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP1989115462U patent/JPH072609Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5874338U (ja) * | 1981-11-13 | 1983-05-19 | 帝人株式会社 | 薄膜形成装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007084926A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-04-05 | Brother Ind Ltd | 膜形成装置および膜形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH072609Y2 (ja) | 1995-01-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |