JPH0359365U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0359365U JPH0359365U JP11879589U JP11879589U JPH0359365U JP H0359365 U JPH0359365 U JP H0359365U JP 11879589 U JP11879589 U JP 11879589U JP 11879589 U JP11879589 U JP 11879589U JP H0359365 U JPH0359365 U JP H0359365U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film forming
- substrate
- forming apparatus
- dust removal
- Prior art date
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- Granted
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は実施例の要部構成の説明図である。
１…基板、１０…真空槽、１１…隔壁、２０…
ターゲツト、３０…基板搬送系。
ターゲツト、３０…基板搬送系。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空槽内で、長尺の可撓性の基板を回転支持
体で支持して移送しつつ、蒸発源より飛散せしめ
た粒子を前記回転支持体上の基板に堆積して薄膜
を形成する薄膜形成装置において、前記回転支持
体の上流側の基板搬送路に表面が粘着性の除塵ロ
ールを少なくとも２個設け、前記基板をその各表
面が各除塵ロールに接するように移送し、前記基
板の両面に異物を除去するようになしたことを特
徴とする薄膜形成装置。 ２ 前記除塵ロールが基板を移送する案内ロール
である請求項第１項記載の薄膜形成装置。 ３ 前記回転支持体の膜形成域以外の基板搬送系
を前記蒸発源から隔離する隔壁を設けた請求項第
１項又は第２項記載の薄膜形成装置。 ４ 前記回転支持体の基板支持部以外でその表面
に接するように表面が粘着性の除塵ロールを設け
た請求項第１項、第２項又は第３項記載の薄膜形
成装置。 ５ 前記除塵ロールが、シリコンゴムチユーブを
周面に着脱可能に装着したロールである請求項第
１項、第２項、第３項又は第４項記載の薄膜形成
装置。 ６ 前記基板が高分子フイルムである第１項、第
２項、第３項、第４項又は第５項記載の薄膜形成
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989118795U JPH0711170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989118795U JPH0711170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 薄膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0359365U true JPH0359365U (ja) | 1991-06-11 |
| JPH0711170Y2 JPH0711170Y2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=31666945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989118795U Expired - Lifetime JPH0711170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711170Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002242131A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Toko Guard Kk | 交通誘導ロボット |
| JP2008077507A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 照明システム |
| JP2016060942A (ja) * | 2014-09-18 | 2016-04-25 | 東レエンジニアリング株式会社 | 薄膜形成装置、薄膜形成方法および薄膜付き基材 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP1989118795U patent/JPH0711170Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002242131A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Toko Guard Kk | 交通誘導ロボット |
| JP2008077507A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 照明システム |
| JP2016060942A (ja) * | 2014-09-18 | 2016-04-25 | 東レエンジニアリング株式会社 | 薄膜形成装置、薄膜形成方法および薄膜付き基材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0711170Y2 (ja) | 1995-03-15 |
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