JPS5944772U - イオン蒸着装置 - Google Patents

イオン蒸着装置

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JPS5944772U
JPS5944772U JP13836782U JP13836782U JPS5944772U JP S5944772 U JPS5944772 U JP S5944772U JP 13836782 U JP13836782 U JP 13836782U JP 13836782 U JP13836782 U JP 13836782U JP S5944772 U JPS5944772 U JP S5944772U
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JP
Japan
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deposition equipment
ion deposition
sample stage
evaporation apparatus
ion evaporation
Prior art date
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Pending
Application number
JP13836782U
Other languages
English (en)
Inventor
高野　勇作
廣松　一男
Original Assignee
三菱重工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のイオン蒸着装置を示す縦断側面図、第２
図は第１図矢視■−■線に沿う試料台の平面図、第３図
は第２図矢視■−舅線に沿う試料台の縦断側面図、第４
図は本案に係るイオン蒸着装置の試料台の一実施例を示
す平面図、第５図は第４図矢視■−■線に沿う縦断側面
図、第６図は同試料台の他の実施例を示す平面図、第７
図は第６図矢視■−■線に沿う縦断側面図である。 ７または１７・・・・・・試料台、７ｂまたは１７ｂ・
・・・・・接線方向の切欠き部。 ’　　　　ｏｑｓ　　　ｏｑ （（ ｏｑ　　　、ｑＩｊ ／、　　　　、　／　　　　／１／）　　−−、−＋　
　　　　　／ｌ　　　−ノ　ビ」

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 陽極と陰極とを有する真空容器内の試料台上に被蒸着物
    体を置いて金属を蒸着させるイオン蒸着装置において、
    前記試料台の上面に接線方向の切欠き部を設けたことを
    特徴とするイオン蒸着装置。
JP13836782U 1982-09-14 1982-09-14 イオン蒸着装置 Pending JPS5944772U (ja)

Priority Applications (1)

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JP13836782U JPS5944772U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 イオン蒸着装置

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JP13836782U JPS5944772U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 イオン蒸着装置

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JPS5944772U true JPS5944772U (ja) 1984-03-24

Family

ID=30310485

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JP13836782U Pending JPS5944772U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 イオン蒸着装置

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