JPS5950436U - 半導体用化学気相成長装置のサセプタ− - Google Patents
半導体用化学気相成長装置のサセプタ−Info
- Publication number
- JPS5950436U JPS5950436U JP14532482U JP14532482U JPS5950436U JP S5950436 U JPS5950436 U JP S5950436U JP 14532482 U JP14532482 U JP 14532482U JP 14532482 U JP14532482 U JP 14532482U JP S5950436 U JPS5950436 U JP S5950436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- semiconductors
- vapor deposition
- chemical vapor
- deposition equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図は従来例を示し第１図は平面図、第
２図は第１図の２−２線断面図、第３図は本考案の一実
施例の断面図、第４図は本考案の他の実施例における断
面図。 １１．１６・・・サセプター、１３・・・キリ穴。
２図は第１図の２−２線断面図、第３図は本考案の一実
施例の断面図、第４図は本考案の他の実施例における断
面図。 １１．１６・・・サセプター、１３・・・キリ穴。
Claims (1)
- 試料を載置する位置に０．１ないし数叫のキリ穴を少く
とも１個設けた半導体用化学気相成長装置のサセプター
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14532482U JPS5950436U (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | 半導体用化学気相成長装置のサセプタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14532482U JPS5950436U (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | 半導体用化学気相成長装置のサセプタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5950436U true JPS5950436U (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=30323807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14532482U Pending JPS5950436U (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | 半導体用化学気相成長装置のサセプタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5950436U (ja) |
-
1982
- 1982-09-25 JP JP14532482U patent/JPS5950436U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5950436U (ja) | 半導体用化学気相成長装置のサセプタ− | |
| JPS6025635U (ja) | 経絡用治療器具 | |
| JPS58163274U (ja) | ミシン目を入れたノ−ト | |
| JPS594728U (ja) | 有孔手袋 | |
| JPS6022981U (ja) | 電気カ−ペツト用敷物 | |
| JPS5973353U (ja) | 転炉出鋼孔栓 | |
| JPS619834U (ja) | 半導体ウエハ− | |
| JPS583180U (ja) | はりの穴 | |
| JPS60137043U (ja) | 天井の構造 | |
| JPS59123205U (ja) | 電子レンジ用ラツク | |
| JPS612376U (ja) | コ−ド巻取装置 | |
| JPS59187133U (ja) | 蒸着装置 | |
| JPS59138213U (ja) | チユ−ブラ型ソレノイドコイル | |
| JPS6112298U (ja) | 半導体素子用トレ− | |
| JPS58151072U (ja) | 指サツク | |
| JPS60158654U (ja) | イオン源装置 | |
| JPS6010467U (ja) | 組み合わせ式使い捨てゴキブリ捕獲器 | |
| JPS60114652U (ja) | 植物の倒れ防止用保持具 | |
| JPS58191080U (ja) | 輪投げ用具 | |
| JPS60182588U (ja) | パイプフランジ | |
| JPS59145572U (ja) | 白金るつぼ | |
| JPS58143271U (ja) | 切れ込みのあるバインダ−リ−フ | |
| JPS58136371U (ja) | Ｌ型虫ピン | |
| JPS5855562U (ja) | 袋のついたシ−トカバ− | |
| JPS59658U (ja) | 水持ちするプランタン |