JPS59169354U - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
- Publication number
- JPS59169354U JPS59169354U JP6405483U JP6405483U JPS59169354U JP S59169354 U JPS59169354 U JP S59169354U JP 6405483 U JP6405483 U JP 6405483U JP 6405483 U JP6405483 U JP 6405483U JP S59169354 U JPS59169354 U JP S59169354U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- forming equipment
- support table
- substrate support
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は従来例を示す概略断面図、第３図は本
考案の一実施例を示す概略断面図である。 １・・・真空容器、２・・・基板支持台、４・・・基板
、７・・・冷却機構。
考案の一実施例を示す概略断面図である。 １・・・真空容器、２・・・基板支持台、４・・・基板
、７・・・冷却機構。
Claims (1)
- 基板支持台に空冷式の冷却機構を設け、この基板支持台
を真空容器内に、その下面に基板を装着し得る姿勢で配
設したことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6405483U JPS59169354U (ja) | 1983-04-29 | 1983-04-29 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6405483U JPS59169354U (ja) | 1983-04-29 | 1983-04-29 | 成膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59169354U true JPS59169354U (ja) | 1984-11-13 |
| JPS629322Y2 JPS629322Y2 (ja) | 1987-03-04 |
Family
ID=30194239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6405483U Granted JPS59169354U (ja) | 1983-04-29 | 1983-04-29 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59169354U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5489350U (ja) * | 1977-12-07 | 1979-06-25 | ||
| JPS55100973A (en) * | 1979-01-23 | 1980-08-01 | Ricoh Co Ltd | Heating of base plate in vacuum deposition |
-
1983
- 1983-04-29 JP JP6405483U patent/JPS59169354U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5489350U (ja) * | 1977-12-07 | 1979-06-25 | ||
| JPS55100973A (en) * | 1979-01-23 | 1980-08-01 | Ricoh Co Ltd | Heating of base plate in vacuum deposition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS629322Y2 (ja) | 1987-03-04 |
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