JPS593531U - 半導体基板支持用ボ−ド - Google Patents
半導体基板支持用ボ−ドInfo
- Publication number
- JPS593531U JPS593531U JP9907682U JP9907682U JPS593531U JP S593531 U JPS593531 U JP S593531U JP 9907682 U JP9907682 U JP 9907682U JP 9907682 U JP9907682 U JP 9907682U JP S593531 U JPS593531 U JP S593531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- support board
- substrate support
- points
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例による石英ボードに基板を乗
せた外観図である。１・・・半導体基板、２・・・石英
ボード、３・・・溝状支持部、４・・・点接触の支持部
である。
せた外観図である。１・・・半導体基板、２・・・石英
ボード、３・・・溝状支持部、４・・・点接触の支持部
である。
Claims (1)
- 半導体基板の支持具において、一つの半導体基板を支持
するための複数の支持点の内、一点のみを溝状の構造と
し、他点は基板外縁での接触支持とすることを特徴とす
る半導体基板支持用ボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9907682U JPS593531U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 半導体基板支持用ボ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9907682U JPS593531U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 半導体基板支持用ボ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS593531U true JPS593531U (ja) | 1984-01-11 |
Family
ID=30234949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9907682U Pending JPS593531U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 半導体基板支持用ボ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593531U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH041604A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイスの固定方法 |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP9907682U patent/JPS593531U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH041604A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイスの固定方法 |
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