JPS5856434U - 薄板の加工装置 - Google Patents

薄板の加工装置

Info

Publication number
JPS5856434U
JPS5856434U JP15263781U JP15263781U JPS5856434U JP S5856434 U JPS5856434 U JP S5856434U JP 15263781 U JP15263781 U JP 15263781U JP 15263781 U JP15263781 U JP 15263781U JP S5856434 U JPS5856434 U JP S5856434U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin plate
plate processing
processing equipment
processing device
peripheral edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15263781U
Other languages
English (en)
Inventor
敏樹 森
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority to JP15263781U priority Critical patent/JPS5856434U/ja
Publication of JPS5856434U publication Critical patent/JPS5856434U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来装置の一例の概略図・　を示
し、第１図は平面図、牽２図は正面図である。 第３図および第４図はこの考案の背面となる従来装置の
他の例の概略図を示し、第３図は平面図、第４図は正面
図である。第５図ｉよび第６図はこの考案の二実流側の
薄板の加工装置の概略図を示し、第５図は平面図、第６
図は正面図である。 １・・・・・・薄板（千尋体ウェーハ）、２・・・・・
・台、５・・・・・・加工体（ブラシ）、５ａ・・・・
・・薄板の中心部に対応する部分、５ｂ・・・・・・薄
板の周縁部に対応する部分。　−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛薄板を固定して回転せしめる台と、薄板の中心部から
    周縁部に周面の一部が線接触して回転する加工体とを備
    える薄板の加工装置において、前記加工体を薄板の中心
    部純対応する部分が大径で周縁部に対応する部分が小径
    の円錐形状にしたことを特徴とする薄板の加工装置。
JP15263781U 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置 Pending JPS5856434U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15263781U JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15263781U JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5856434U true JPS5856434U (ja) 1983-04-16

Family

ID=29945277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15263781U Pending JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5856434U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5856434U (ja) 薄板の加工装置
JPS58115761U (ja) クリ−ニングブレ−ド
JPS6013739U (ja) ウエハ保持装置
JPS58162867U (ja) 練習用ボ−ル
JPS59143190U (ja) スピ−カ用振動板の切断装置
JPS60142063U (ja) 研削装置
JPS6056461U (ja) 研磨治具
JPS6078216U (ja) バリ取り機
JPS58138601U (ja) 加工機の被加工物吸着固定装置における被加工物受支体
JPS59104330U (ja) 平面チヤツク装置
JPS58175635U (ja) ウエハホルダ−
JPS58136073U (ja) 消しゴムクリ−ナ−
JPS6087638U (ja) 超音波みがき装置
JPS6092153U (ja) イオンエツチング用サンプルホルダ
JPS6097257U (ja) ピンセツト
JPS6014739U (ja) 体が入る机
JPS5924167U (ja) 塗布装置
JPS59107723U (ja) デイスク固定装置
JPS5990568U (ja) スペ−サつき研磨布
JPS60127175U (ja) 配管支持装置
JPS59112548U (ja) 水晶片加工装置
JPS596834U (ja) シリコンウエハ
JPS598755U (ja) 被研磨部材の貼着板
JPS6094004U (ja) 爪支持装置
JPS5983029U (ja) 半導体基板