JPS596834U - シリコンウエハ - Google Patents

シリコンウエハ

Info

Publication number
JPS596834U
JPS596834U JP10053882U JP10053882U JPS596834U JP S596834 U JPS596834 U JP S596834U JP 10053882 U JP10053882 U JP 10053882U JP 10053882 U JP10053882 U JP 10053882U JP S596834 U JPS596834 U JP S596834U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon wafer
cross
center
wafer
circular arc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10053882U
Other languages
English (en)
Inventor
大槻　博明
宏 松井
伊野　昌義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP10053882U priority Critical patent/JPS596834U/ja
Publication of JPS596834U publication Critical patent/JPS596834U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のシリコンウェハの周縁部の一例を示す拡
大縦断面図、第２図は回能側を示す拡大縦断面図、第３
図はこの考案の一実施例によるシリコンウェハの周縁部
を示す拡大縦断面図、第４−図および第５図は第１図お
よび第３図のシリコンウェハのレジスト破片の付着状態
を示す平面図である。 ２１・・・周縁部、２２・・・円弧、Ｃ・・・円弧の中
心、Ｒ３・・・円弧の半径。 第４図 第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一中心がウェハの断面の厚さ方向中心部分にある１つの
    円弧で形成される断面形状に周縁部を形成しかつ表面が
    ポリッシュ仕上げしであることを特徴とするシリコンウ
    ェハ。
JP10053882U 1982-07-05 1982-07-05 シリコンウエハ Pending JPS596834U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10053882U JPS596834U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 シリコンウエハ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10053882U JPS596834U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 シリコンウエハ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS596834U true JPS596834U (ja) 1984-01-17

Family

ID=30237790

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10053882U Pending JPS596834U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 シリコンウエハ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS596834U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51102550A (ja) * 1975-03-07 1976-09-10 Hitachi Ltd Handotaiueeha

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51102550A (ja) * 1975-03-07 1976-09-10 Hitachi Ltd Handotaiueeha

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6088535U (ja) 半導体ウエハ
JPS58116269U (ja) 可撓性回路基板
JPS596834U (ja) シリコンウエハ
JPS605158U (ja) プレ−ナ型サイリスタ
JPS5851956U (ja) ラツプ定盤
JPS6020275U (ja) 練習用の碁石
JPS6037239U (ja) 半導体ウエハ
JPS5990568U (ja) スペ−サつき研磨布
JPS5983029U (ja) 半導体基板
JPS60192445U (ja) ウエハ−チヤツク
JPS6042451U (ja) 主型と入子型の型合わせ構造
JPS60109327U (ja) 半導体用イオン注入装置の半導体ウエ−ハ支持機構
JPS58148038U (ja) セラミツク基板
JPS5831952U (ja) 半導体製造装置
JPS6122339U (ja) 半導体ウエハ−
JPS6094832U (ja) 半導体素子
JPS59146944U (ja) ウエハチヤツク基台
JPS6013739U (ja) ウエハ保持装置
JPS58171702U (ja) 手押１輪車のタイヤ
JPS6015379U (ja) 碁盤のいらない角形の碁石
JPS60110822U (ja) ポリゴンミラ−
JPS59171991U (ja) 放射線作図定規
JPS5879759U (ja) 原稿スケ−ル
JPS58110879U (ja) ガラス縁部構造
JPS5974054U (ja) 研磨治具