JPS6084251U - 遊星回転式研摩装置 - Google Patents
遊星回転式研摩装置Info
- Publication number
- JPS6084251U JPS6084251U JP1983175589U JP17558983U JPS6084251U JP S6084251 U JPS6084251 U JP S6084251U JP 1983175589 U JP1983175589 U JP 1983175589U JP 17558983 U JP17558983 U JP 17558983U JP S6084251 U JPS6084251 U JP S6084251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing device
- adhesive plate
- circular counterbore
- rotary polishing
- planetary rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案である遊星回転式研摩装置の斜視図であ
り、第２図は第１図の断面図である。 図において、１はウェハ、２は接着板、３は回転アーム
、４は加圧シャフト、５はピン、６は補助リング、７は
ポリシャである。
り、第２図は第１図の断面図である。 図において、１はウェハ、２は接着板、３は回転アーム
、４は加圧シャフト、５はピン、６は補助リング、７は
ポリシャである。
Claims (1)
- ウェハをそれぞれ底面に接着固定する複数の接着板とポ
リシャが相対運動する研摩装置において、中心部に円形
座ぐりを備えた前記接着板と、等角度に配置されたアー
ムの先端部に、先端が前記接着板の円形座ぐりと点接触
により自在に支持するピンを備えた回転アームと、先端
が前記回転アームの中心部にある円形座ぐりと点接触に
より自在に支持しながら加圧する、加圧シャフトとから
構成されることを特徴とする遊星回転式研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983175589U JPS6084251U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 遊星回転式研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983175589U JPS6084251U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 遊星回転式研摩装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084251U true JPS6084251U (ja) | 1985-06-11 |
Family
ID=30381977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983175589U Pending JPS6084251U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 遊星回転式研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084251U (ja) |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP1983175589U patent/JPS6084251U/ja active Pending
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