JPS6127657U - 平面研摩装置の被加工物保持機構 - Google Patents

平面研摩装置の被加工物保持機構

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Publication number
JPS6127657U
JPS6127657U JP1984110874U JP11087484U JPS6127657U JP S6127657 U JPS6127657 U JP S6127657U JP 1984110874 U JP1984110874 U JP 1984110874U JP 11087484 U JP11087484 U JP 11087484U JP S6127657 U JPS6127657 U JP S6127657U
Authority
JP
Japan
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holding mechanism
surface polishing
workpiece holding
polishing equipment
workpiece
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Pending
Application number
JP1984110874U
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English (en)
Inventor
武美 鎌田
哲也 安田
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS6127657U publication Critical patent/JPS6127657U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図は第１図
に示すフランジ、中間体、凸球面を分離して示す斜視図
、第３図は、従来の平面研摩装置の被加工物保持機構の
縦断面図、第４図は第３図に示す被加工物保持機構のピ
ン１４に作用する力を説明するための模式図である。 １・・・円盤、３１・・・スプライン軸（支持部）、３
２・・・フランジ部、３３・・・半球体、３４・・・押
圧板（保持部）、１４・・・ピン、４３．４５・・・溝
、’２ ０・・・素材、−４１・・・中間体、４２・・
・上部片、４４・・・下部片。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持しこの被加工
    物の被加工面上の一点を中心とする凸球面を有する保持
    部と、姿勢を一定に保って設けられ前記被加工面上の一
    点を中心とする凹球面を有する支持部と、前記凸球面に
    沿って第１の方向にのみ摺勲自在でかつ前記凹球面に沿
    って前記第１の方向に対しほぼ直角な第２の方向にのみ
    摺動自在な中間体とを有することを特徴とする平面研摩
    装置の被加工物保持機構。
JP1984110874U 1984-07-21 1984-07-21 平面研摩装置の被加工物保持機構 Pending JPS6127657U (ja)

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JP1984110874U JPS6127657U (ja) 1984-07-21 1984-07-21 平面研摩装置の被加工物保持機構

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JPS6127657U true JPS6127657U (ja) 1986-02-19

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ID=30669991

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