JPS6112673U - 平面研磨装置の被加工物保持機構 - Google Patents
平面研磨装置の被加工物保持機構Info
- Publication number
- JPS6112673U JPS6112673U JP1984096385U JP9638584U JPS6112673U JP S6112673 U JPS6112673 U JP S6112673U JP 1984096385 U JP1984096385 U JP 1984096385U JP 9638584 U JP9638584 U JP 9638584U JP S6112673 U JPS6112673 U JP S6112673U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- holding mechanism
- spherical surface
- workpiece holding
- surface polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図は従来の
平面研磨装置の被加工物保持機構の縦断面図、第３図は
第２図に示す半球体１１の変形した状態の縦断面図であ
る。 １・・・・・・円盤、５・・・・・・スプライン軸、１
１・・・・・・半球体、１２・・・・・・押圧板、２０
・・・・・・素材、２２，２３・・・・・・穴、２４・
・・・・・プッシュ（環状剛体）。
平面研磨装置の被加工物保持機構の縦断面図、第３図は
第２図に示す半球体１１の変形した状態の縦断面図であ
る。 １・・・・・・円盤、５・・・・・・スプライン軸、１
１・・・・・・半球体、１２・・・・・・押圧板、２０
・・・・・・素材、２２，２３・・・・・・穴、２４・
・・・・・プッシュ（環状剛体）。
Claims (1)
- 平面研磨装置の研磨面上の被加工物を保持する押圧板と
、この押圧板に取り付けられ中央部に穴を有し前記被加
工物の被加工面上の一点を中心とする凸球面を有するプ
ラスチツ′ク製の半球体と、前記中央部の穴の内面の少
くとも凸球面の近傍の部分に設けられた環状剛体と、姿
勢を一定に保って設けられ前記被加工物の一点を中心と
し前記凸球面に摺動自在に係合する凹球面を有する支持
部とを有することを特徴とする千面研魔装置の被加工物
保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984096385U JPS6112673U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 平面研磨装置の被加工物保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984096385U JPS6112673U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 平面研磨装置の被加工物保持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112673U true JPS6112673U (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=30655834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984096385U Pending JPS6112673U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 平面研磨装置の被加工物保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112673U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014061565A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置のチャックテーブル機構 |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP1984096385U patent/JPS6112673U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014061565A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置のチャックテーブル機構 |
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