JPS6116262U - 平面研摩装置の被加工物保持機構 - Google Patents

平面研摩装置の被加工物保持機構

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JPS6116262U
JPS6116262U JP1984098108U JP9810884U JPS6116262U JP S6116262 U JPS6116262 U JP S6116262U JP 1984098108 U JP1984098108 U JP 1984098108U JP 9810884 U JP9810884 U JP 9810884U JP S6116262 U JPS6116262 U JP S6116262U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spherical surface
workpiece
convex spherical
holding
concave
Prior art date
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Pending
Application number
JP1984098108U
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English (en)
Inventor
武美 鎌田
哲也 安田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本箸案の一実施例の縦断面図、第２図は第１図
においてスプライン軸及び枠から上の部分を取り除いた
状態の平面図、第３図は従来装置の一例を示す縦断面図
である。 １・・・・・・円盤、５・・・・・・スプライン軸、５
ａ・・・・・・凹球面、１１．３０・・・・・・半球体
、１２・・・・・・押圧板、１４・・・・・・ｅン、１
５・・・・・・溝、２０・・・・・・素材、３ｏａ・・
・・・・凸球面、３１・・・・・・球、３２・・・・・
・リテーナ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 平面研磨装置の研磨面上の被加工物を保持しこの被加工
    物の加工面上の一点を中心とする凸球面を有する葆持部
    と、姿勢を一定に保って設け、られ前記凸球面と球心を
    一致させて前記凸球面に対向して設けられた凹球面を有
    する支持部と、前記凸球面と前記凹球面との間に配置さ
    れこれら凸球面と凹球面の間隔に等しい直径の複数の球
    と、この球を前記凸球面及び前記凹球の間に保持す′る
    リテーナと、前記保持部と前記支持部とを相互に係合さ
    せ保持部及び支持部の相対的な回転を規制する保合手段
    とを含むことを特徴とする平面研磨摩装置の被加工物保
    持機構。
JP1984098108U 1984-06-29 1984-06-29 平面研摩装置の被加工物保持機構 Pending JPS6116262U (ja)

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JPS6116262U true JPS6116262U (ja) 1986-01-30

Family

ID=30657660

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