JPS60124033U - ウエハのハンドリング装置 - Google Patents

ウエハのハンドリング装置

Info

Publication number
JPS60124033U
JPS60124033U JP1067284U JP1067284U JPS60124033U JP S60124033 U JPS60124033 U JP S60124033U JP 1067284 U JP1067284 U JP 1067284U JP 1067284 U JP1067284 U JP 1067284U JP S60124033 U JPS60124033 U JP S60124033U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
cylindrical member
motor
upper horizontal
wafer handling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1067284U
Other languages
English (en)
Inventor
野上　司
Original Assignee
日新電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日新電機株式会社 filed Critical 日新電機株式会社
Priority to JP1067284U priority Critical patent/JPS60124033U/ja
Publication of JPS60124033U publication Critical patent/JPS60124033U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の要部を断面とした実施例側面図、第
２図はこの考案の実施例の使用状態平面略図である。 １・・・ウェハのハンドリング装置、２・・・保持台、
７・・・昇降シリンダー（押圧機構）、９・・・筒部材
、１０・・・モータ、１２・・・上水平部材、１３・・
・筒部材、１６・・・搬送ベルト、１７・・・動力伝達
ベルト、２２・・・ディスク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ディスク上へのイオン未注入のウェハの載置および／ま
    たはディスク上からのイオンの注入されたウェハの回収
    をおこなうウェハのハンドリング装置であり、ウェハの
    載置方向と回収方向とに搬送するように動作するウェハ
    の搬送ベルトが設けら′れた上水平部材と、この上水平
    部材から下方に延出して設けられる筒部材と、その筒部
    材の下端、に付設されるモータと、筒部材が保持される
    保持台と、保持台に取り付けられ上記モータ下面を押圧
    してモータ、筒部材、上水平部材を一体に上下動させる
    抑圧機構と、筒部材内に配置され上記モータの動力を上
    記搬送ベルトに伝達する動力伝達ベルトとを備えている
    ウェハのハンドリング装置。
JP1067284U 1984-01-27 1984-01-27 ウエハのハンドリング装置 Pending JPS60124033U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1067284U JPS60124033U (ja) 1984-01-27 1984-01-27 ウエハのハンドリング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1067284U JPS60124033U (ja) 1984-01-27 1984-01-27 ウエハのハンドリング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60124033U true JPS60124033U (ja) 1985-08-21

Family

ID=30492071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1067284U Pending JPS60124033U (ja) 1984-01-27 1984-01-27 ウエハのハンドリング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60124033U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60124033U (ja) ウエハのハンドリング装置
JPS6056496U (ja) ロボットのア−ムの支持機構
JPS59191132U (ja) 穀類・茎稈等の移送装置
JPS587733U (ja) 搬送反転装置
JPS59165881U (ja) ワ−ク吸着装置
JPS58176817U (ja) スタツク昇降装置
JPS6099007U (ja) コイル受台
JPS60998U (ja) 電気部品センタ出し装置
JPS60122158U (ja) 握力．手首強化機具
JPS6413131U (ja)
JPS6216327U (ja)
JPS6045697U (ja) 打抜用紙分離機の穴取り装置の受け板固着機構
JPS5866039U (ja) プレス機構
JPS59125462U (ja) 車輪止め装置
JPS5910185U (ja) カセツトテ−プ
JPH0184436U (ja)
JPS58116499U (ja) 自動腹盤木
JPS584506U (ja) 金型収納装置
JPS595537U (ja) 積上げ装置
JPS60195888U (ja) 吊上移送装置
JPS612342U (ja) カ−ド吸着供給装置
JPS6127657U (ja) 平面研摩装置の被加工物保持機構
JPS58136730U (ja) 台秤
JPS5938009U (ja) 瓦素地の移載装置
JPS6138681U (ja) 磁力吸着式カ−ド支持器