JPS58106141U - 両面研摩装置 - Google Patents

両面研摩装置

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Publication number
JPS58106141U
JPS58106141U JP1982002064U JP206482U JPS58106141U JP S58106141 U JPS58106141 U JP S58106141U JP 1982002064 U JP1982002064 U JP 1982002064U JP 206482 U JP206482 U JP 206482U JP S58106141 U JPS58106141 U JP S58106141U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier plate
double
workpiece
polishing device
sided polishing
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982002064U
Other languages
English (en)
Inventor
鈴木　成和
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
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Publication of JPS58106141U publication Critical patent/JPS58106141U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の両面研摩装置を示す縦断正面図、第２図
は同じく上下ラップ盤の一部を拡大した断面図、第３図
はこの考案の一実施例を示す両面研摩装置の縦断正面図
、第４図は同じく上下ラップ　、−盤の一部を拡大した
断面図である。 １・・・太陽ギヤ、２・・・インタナルギヤ、３・・・
キャリヤプレート、４・・・ウェーハ、６・・・保持部
、１１・・・十ランプ盤、１２・・・下ラップ盤、１３
・・・テフロンリング（耐摩耗性部材）。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）太陽ギヤと、この太陽ギヤの外周に設けたインタ
    ナルギヤと、上記太陽掌ヤおよびインタナルギヤに噛合
    し自転しながら公転するキャリヤプレートと、このキャ
    リヤプレートに設けた被加工物を保持する保持部と、上
    記キャリヤプレートの上下に配設され上記保持部に保持
    された被加工物と接触して研摩加工する上下ラップ盤′
    とからなる両面研摩装置において、こ゛の上下ラ−ツブ
    盤の上記キャリヤプレートおよび被加工物と接触する側
    の内周縁および外周縁に耐摩耗性部材を埋設したことを
    特徴とする両面研摩装置。
  2. （２）耐摩耗性部材は、テフロンリングであることを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記゛載の両面研
    摩装置。
JP1982002064U 1982-01-11 1982-01-11 両面研摩装置 Pending JPS58106141U (ja)

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JP1982002064U JPS58106141U (ja) 1982-01-11 1982-01-11 両面研摩装置

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JP1982002064U JPS58106141U (ja) 1982-01-11 1982-01-11 両面研摩装置

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JPS58106141U true JPS58106141U (ja) 1983-07-19

Family

ID=30015054

Family Applications (1)

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