JPS60193515U - 顕微鏡用ウエハ−ホルダ− - Google Patents
顕微鏡用ウエハ−ホルダ−Info
- Publication number
- JPS60193515U JPS60193515U JP8042584U JP8042584U JPS60193515U JP S60193515 U JPS60193515 U JP S60193515U JP 8042584 U JP8042584 U JP 8042584U JP 8042584 U JP8042584 U JP 8042584U JP S60193515 U JPS60193515 U JP S60193515U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- wafer holder
- stage
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による一実施例の平面図、第２図は第１
図■−■線断面図、第３図は従来のウェハーホルダーの
一例を示す斜視図、第４図は他の従来例を示す断面図で
ある。 １１・・・・・・顕微鏡ステージ、１２・・・・・・ス
テージ板、１３・・・・・・回転軸、１４・・・・・・
ウェハーホルダ一本体、１４ａ・・・・・・回転操作用
ツマミ。
図■−■線断面図、第３図は従来のウェハーホルダーの
一例を示す斜視図、第４図は他の従来例を示す断面図で
ある。 １１・・・・・・顕微鏡ステージ、１２・・・・・・ス
テージ板、１３・・・・・・回転軸、１４・・・・・・
ウェハーホルダ一本体、１４ａ・・・・・・回転操作用
ツマミ。
Claims (3)
- （１）顕微鏡のステージ上に配設された回転案内部と、
該回転案内部に着脱可能に且つ回転可能に取付けられて
いて且つ回転操作部材を一体的に有しているウェハーホ
ルダ一本体とから構成されていることを特徴とする、顕
微鏡用ウェハーホルダー。 - （２）顕微鏡のステージに着脱可能に取付けられたステ
ージ板を含んでおり、回転案内部が該ステージ板に一体
的に配設されていることを特徴とする、実用新案登録請
求の範囲（１）に記載の顕微鏡用ウェハーホルダー。 - （３）ウェハーホルダ一本体及び回転操作部材が高分子
材料から構成されているかまたは高分子材料によりコー
ティングされていることを特徴とする、実用新案登録請
求の範囲（１）に記載の顕微−鏡用つエバーホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8042584U JPS60193515U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 顕微鏡用ウエハ−ホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8042584U JPS60193515U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 顕微鏡用ウエハ−ホルダ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193515U true JPS60193515U (ja) | 1985-12-23 |
Family
ID=30626259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8042584U Pending JPS60193515U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 顕微鏡用ウエハ−ホルダ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193515U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543112U (ja) * | 1991-11-06 | 1993-06-11 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡用ステージ |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP8042584U patent/JPS60193515U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543112U (ja) * | 1991-11-06 | 1993-06-11 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡用ステージ |
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