JPS6033685U - 傾角ステージ - Google Patents

傾角ステージ

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Publication number
JPS6033685U
JPS6033685U JP5843583U JP5843583U JPS6033685U JP S6033685 U JPS6033685 U JP S6033685U JP 5843583 U JP5843583 U JP 5843583U JP 5843583 U JP5843583 U JP 5843583U JP S6033685 U JPS6033685 U JP S6033685U
Authority
JP
Japan
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stage
convex portion
substrate
main body
direction moving
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Application number
JP5843583U
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JPH0326478Y2 (ja
Inventor
野口　元生
Original Assignee
株式会社ニコン
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、ｂ、ｃは従来使用されていた傾角ステージの
一例であり、第１図ａは正面から見た部分断面図、第１
図すは第１図ａのＡ−Ａ矢視断面図、第１図Ｃは第１図
すのＣ矢視図、第２図ａ。 ｂ、　ｃは本考案による一実施例の傾角ステージであり
、第２図ａは正面から見た部分断面図、第２図すは傾角
調節つまみ１４を断面とした第２図ａのＣ−Ｃ矢視断面
図、第２図Ｃは第２図すのＤ矢視図、第３図は本考案の
傾角ステージに併用するに最適の調整装置の一例を示す
断面部分図である。 〔主要部分の符号の説明〕、１・・・・・・回転載物台
、３・・・・・・Ｙ方向移動部材、４・・・・・・Ｘ方
向移動部材、５・・・・・・基板、１１・・・・・・ス
テージ本体、１３・・・・・・中間部材、１６・・・・
・・第２棒部材、１７・・・・・・第３棒部材、１８・
・・・・・第１棒部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転載物台と、該回転載物台を載置するＹ方向移動部材
    と、該Ｙ方向移動部材を載置するＸ方向移動部材と、該
    Ｘ方向移動部材を載置し、曲率中心線が前記回転載物台
    の上方にあるかまぼこ形の凸面部を下面に有する基板と
    、該基板５の凸面部に嵌合する案内溝を上面に有すると
    共に、曲率中心線が前記凸面部の曲率中心線に交叉する
    かまぼこ形の凸面部を下面に有する中間部材と、該中間
    部材の凸面部に嵌合する案内溝を有すると共に、三角形
    を形成するように配置した３つの貫通孔を有するステー
    ジ本体と、該本体の貫通孔の一つを有して一端が前記基
    板に固定されると共に、他端にバネ押え板が固定された
    第１棒部材と、該第１棒部材のバネ押え板と前記ステー
    ジ本体との間に配設されたバネ部材と、前記貫通孔のう
    ち残りの貫通孔それぞれ通して一端が前記基板に固定さ
    れた棒部材と、前記ステージ本体と球嵌合すると共に、
    前記棒部材の他端に螺合する第２、第３の棒部材と、か
    ら構成されることを特徴とする傾角ステージ。
JP5843583U 1983-04-19 1983-04-19 傾角ステージ Granted JPS6033685U (ja)

Priority Applications (1)

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JP5843583U JPS6033685U (ja) 1983-04-19 1983-04-19 傾角ステージ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5843583U JPS6033685U (ja) 1983-04-19 1983-04-19 傾角ステージ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6033685U true JPS6033685U (ja) 1985-03-07
JPH0326478Y2 JPH0326478Y2 (ja) 1991-06-07

Family

ID=30188713

Family Applications (1)

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JP5843583U Granted JPS6033685U (ja) 1983-04-19 1983-04-19 傾角ステージ

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JP (1) JPS6033685U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0271542A (ja) * 1988-09-06 1990-03-12 Nec Corp 半導体集積回路の断面観察用治具
KR101193532B1 (ko) * 2010-10-26 2012-10-19 송무헌 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지
JP2016053699A (ja) * 2014-09-04 2016-04-14 オリンパス株式会社 傾斜ステージ装置及び顕微鏡システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS533807U (ja) * 1976-06-29 1978-01-13

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS533807U (ja) * 1976-06-29 1978-01-13

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JP2016053699A (ja) * 2014-09-04 2016-04-14 オリンパス株式会社 傾斜ステージ装置及び顕微鏡システム

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JPH0326478Y2 (ja) 1991-06-07

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