JPH0271542A - 半導体集積回路の断面観察用治具 - Google Patents
半導体集積回路の断面観察用治具Info
- Publication number
- JPH0271542A JPH0271542A JP22296688A JP22296688A JPH0271542A JP H0271542 A JPH0271542 A JP H0271542A JP 22296688 A JP22296688 A JP 22296688A JP 22296688 A JP22296688 A JP 22296688A JP H0271542 A JPH0271542 A JP H0271542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- specimen
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- sample
- observation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路の切断断面を光学顕微鏡で観察
する際に、断面観察用試料を顕微鏡に固定する治具に関
する。
する際に、断面観察用試料を顕微鏡に固定する治具に関
する。
半導体集積回路においては、その切断端面に光照射を行
い、その反射光を光学的顕微鏡の対物レンズに垂直に入
射させ、その切断端面の様子を観察する方法が採られて
いる。
い、その反射光を光学的顕微鏡の対物レンズに垂直に入
射させ、その切断端面の様子を観察する方法が採られて
いる。
従来、この種の半導体集積回路の断面ｉ祭用治具は第８
図〜第１０図に示すように、ベース１１上に２枚の回転
軸固定板９，１０が平行に植設されており、各回転軸固
定板９．１０にそれぞれ軸支された回転軸７．７に試料
台４が回動可能に支持されている。半導体集積回路１は
その下縁を試料台４の固定溝３に差込まれて固定ネジ２
にて締結固定され、その切断端面１ａが上向きに取付け
られ、操作ハンドル８により歯車列４，５を介して試料
台４を回転軸７のまわりに角回転させ、半導体集積回路
１の切断端面１ａを図示しない顕微鏡の対物レンズに向
き合う角度に調整される。
図〜第１０図に示すように、ベース１１上に２枚の回転
軸固定板９，１０が平行に植設されており、各回転軸固
定板９．１０にそれぞれ軸支された回転軸７．７に試料
台４が回動可能に支持されている。半導体集積回路１は
その下縁を試料台４の固定溝３に差込まれて固定ネジ２
にて締結固定され、その切断端面１ａが上向きに取付け
られ、操作ハンドル８により歯車列４，５を介して試料
台４を回転軸７のまわりに角回転させ、半導体集積回路
１の切断端面１ａを図示しない顕微鏡の対物レンズに向
き合う角度に調整される。
上述した従来の観察用治具では、試料台４の回転軸７が
試料の観察面より離れて下方に位置していたため、第１
１図に示すように、回転の半径ｒが大きく顕ｖｆｌ鏡の
対物レンズに対して試料の１１９面を角度調整する際に
試料台４をθ°だけ回転させると、試料が水平方向にΔ
ｘ（＝ｒｓｉｎθ）だけ移動してしまい、顕微鏡の画面
からはずれてしまうという欠点がある。
試料の観察面より離れて下方に位置していたため、第１
１図に示すように、回転の半径ｒが大きく顕ｖｆｌ鏡の
対物レンズに対して試料の１１９面を角度調整する際に
試料台４をθ°だけ回転させると、試料が水平方向にΔ
ｘ（＝ｒｓｉｎθ）だけ移動してしまい、顕微鏡の画面
からはずれてしまうという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した半導体集積回路の断
面観察用治具を提供することにある。
面観察用治具を提供することにある。
上述した従来の観察用治具に対し、本発明は試料台の回
転の中心線と試料の観察面との距離を近づけることによ
り、回転による試料の１１１９面の水平方向の移動を極
めて小さくできるという相違点を有する。
転の中心線と試料の観察面との距離を近づけることによ
り、回転による試料の１１１９面の水平方向の移動を極
めて小さくできるという相違点を有する。
（ｍ１題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本発明は半導体集積回路を保
持した試料台を回転軸のまわりに角回転させ、該半導体
集積回路の切断端面をｉ！察用顕微鏡の対物レンズと対
面する位置にセットする半導体集積回路の断面観察用治
具において、前記試料台の回転軸を、前記半導体集積回
路の切断端面に可及的に隣接する位置に設けたものであ
る。
持した試料台を回転軸のまわりに角回転させ、該半導体
集積回路の切断端面をｉ！察用顕微鏡の対物レンズと対
面する位置にセットする半導体集積回路の断面観察用治
具において、前記試料台の回転軸を、前記半導体集積回
路の切断端面に可及的に隣接する位置に設けたものであ
る。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す正面図、第２図は同平
面図、第３図は同側面図である。
面図、第３図は同側面図である。
図において、ベース１１上に２枚の回転軸固定板９．９
を平行に植設し、該回転軸固定板９，９の上端位置にそ
れぞれ回転軸７，７を軸支し、該回転軸７．７に支持腕
１０．１０を介して試料台４を取付け、該試料台４に、
２本の回転軸７，７の回転軸芯を結ぶラインに半導体集
積回路１の切断端面１ａが一致するようにその深さを設
定した固定溝３を設け、該固定溝３内に半導体集積回路
１の下端縁を差込んで固定ネジ２にて締結固定する。８
は操作ハンドル。
を平行に植設し、該回転軸固定板９，９の上端位置にそ
れぞれ回転軸７，７を軸支し、該回転軸７．７に支持腕
１０．１０を介して試料台４を取付け、該試料台４に、
２本の回転軸７，７の回転軸芯を結ぶラインに半導体集
積回路１の切断端面１ａが一致するようにその深さを設
定した固定溝３を設け、該固定溝３内に半導体集積回路
１の下端縁を差込んで固定ネジ２にて締結固定する。８
は操作ハンドル。
５．６は操作ハンドル８の回転力を回転軸７に伝える歯
車列である。
車列である。
断面観察用試料としての半導体集積回路（以下、試料と
いう）１は試料台４の固定溝３に差込まれた固定ネジ２
で固定され、試料１の切断端面１ａは２本の回転軸７，
７を結ぶラインの高さ位置に保持される。第４図は試料
の角度を調節する前後の試料台を示す側面図である。試
料１は、操作ハンドル８を回転させることにより歯車列
５，６を介して回転軸７を軸にしてθ方向に回転するが
、試料台４の回転の中心線と試料１の観察面１ａの距離
ｒが極めて近いので１回転することによる水平方向のず
れＸ （： ｒ ｓｉｎ Ｏ）が非常に小さい、また、
歯車列５．６の歯車比を大きくすることにより、微妙に
試料１に回転を与えることが可能となる。
いう）１は試料台４の固定溝３に差込まれた固定ネジ２
で固定され、試料１の切断端面１ａは２本の回転軸７，
７を結ぶラインの高さ位置に保持される。第４図は試料
の角度を調節する前後の試料台を示す側面図である。試
料１は、操作ハンドル８を回転させることにより歯車列
５，６を介して回転軸７を軸にしてθ方向に回転するが
、試料台４の回転の中心線と試料１の観察面１ａの距離
ｒが極めて近いので１回転することによる水平方向のず
れＸ （： ｒ ｓｉｎ Ｏ）が非常に小さい、また、
歯車列５．６の歯車比を大きくすることにより、微妙に
試料１に回転を与えることが可能となる。
（実施例２）
第５図は本発明の実施例２を示す正面図、第６図は同平
面図、第７図は動作状態を示す正面図である。
面図、第７図は動作状態を示す正面図である。
本実施例はベース１１の左右両端にベース１１の角度調
節ネジ１２をそれぞれ有している０本実施例ではネジ１
２によりベース１１を傾斜角θ′を調整して半導体集積
回路１の切断端面１ａを顕微鏡の対物レンズに平行に調
節できるという利点がある。
節ネジ１２をそれぞれ有している０本実施例ではネジ１
２によりベース１１を傾斜角θ′を調整して半導体集積
回路１の切断端面１ａを顕微鏡の対物レンズに平行に調
節できるという利点がある。
〔発明の効果ゴ
以上説明したように本発明は試料台の回転の中心線と、
試料の観察面との距離を極力小さくすることにより、顕
微鏡の対物レンズに対する試料の角度を調節する際の回
転による試料の水平方向のずれを極めて小さくできる効
果がある。
試料の観察面との距離を極力小さくすることにより、顕
微鏡の対物レンズに対する試料の角度を調節する際の回
転による試料の水平方向のずれを極めて小さくできる効
果がある。
第１図は本発明の実施例１を示す正面図、第２図は同平
面図、第３図は同側面図、第４図は実施例１において試
料の角度を調節する前後の試料台を示す側面図、第５図
は本発明の実施例２を示す正面図、第６図は同平面図、
第７図はベースの角度を調節した状態を示す正面図、第
８図は従来例を示す正面図、第９図は同平面図、第１０
図は同側面図、第１１図は従来例により試料の角度を調
節する前後の試料台を示す側面図である。 １・・・試料（半導体集積回路） ４・・・試料台７・
・・回転軸
面図、第３図は同側面図、第４図は実施例１において試
料の角度を調節する前後の試料台を示す側面図、第５図
は本発明の実施例２を示す正面図、第６図は同平面図、
第７図はベースの角度を調節した状態を示す正面図、第
８図は従来例を示す正面図、第９図は同平面図、第１０
図は同側面図、第１１図は従来例により試料の角度を調
節する前後の試料台を示す側面図である。 １・・・試料（半導体集積回路） ４・・・試料台７・
・・回転軸
Claims (1)
- （１）半導体集積回路を保持した試料台を回転軸のまわ
りに角回転させ、該半導体集積回路の切断端面を観察用
顕微鏡の対物レンズと対面する位置にセットする半導体
集積回路の断面観察用治具において、前記試料台の回転
軸を、前記半導体集積回路の切断端面に可及的に隣接す
る位置に設けたことを特徴とする半導体集積回路の断面
観察用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63222966A JP2869977B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 半導体集積回路の断面観察用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63222966A JP2869977B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 半導体集積回路の断面観察用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0271542A true JPH0271542A (ja) | 1990-03-12 |
| JP2869977B2 JP2869977B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16790677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63222966A Expired - Lifetime JP2869977B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 半導体集積回路の断面観察用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2869977B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118743U (ja) * | 1982-02-05 | 1983-08-13 | 日本電気株式会社 | 結晶評価装置 |
| JPS6033685U (ja) * | 1983-04-19 | 1985-03-07 | 株式会社ニコン | 傾角ステージ |
| JPS61277143A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
-
1988
- 1988-09-06 JP JP63222966A patent/JP2869977B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118743U (ja) * | 1982-02-05 | 1983-08-13 | 日本電気株式会社 | 結晶評価装置 |
| JPS6033685U (ja) * | 1983-04-19 | 1985-03-07 | 株式会社ニコン | 傾角ステージ |
| JPS61277143A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2869977B2 (ja) | 1999-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1998028640A3 (de) | Optische anordnung zum scannen eines strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden achsen | |
| FR2460762A1 (fr) | Dispositif pour la commande de l'orientation d'un outil ou d'un element analogue par rapport a une piece | |
| JPH0271542A (ja) | 半導体集積回路の断面観察用治具 | |
| FR2902683A1 (fr) | Procede et machine d'usinage pour objet optique. | |
| TW577049B (en) | Tilt angle adjustment device for the spindle motor of a compact disk drive | |
| JP3763619B2 (ja) | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 | |
| JPS62272207A (ja) | 定偏波光フアイバの融着接続装置 | |
| JP2004118190A (ja) | 調整可能なピンホール | |
| JPS634267Y2 (ja) | ||
| KR0161493B1 (ko) | 광학 결정 연마 장치 | |
| JPH0216326Y2 (ja) | ||
| JP2556098Y2 (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH0552657A (ja) | 偏光測定器 | |
| JP4271103B2 (ja) | 大型望遠鏡用イメージロテータ装置の光学系駆体の組み立て調整方法および大型望遠鏡用イメージロテータ装置の製造方法 | |
| JPH07301724A (ja) | 入射位置調整機構付き光ビーム入射装置 | |
| JPS5973621A (ja) | 軸保持装置 | |
| SU1760327A1 (ru) | Поворотный стенд | |
| JPH0743674Y2 (ja) | ｒθステージ | |
| JPH0376844B2 (ja) | ||
| JP3711265B2 (ja) | 位置変位機構 | |
| JPS61244432A (ja) | 回動装置 | |
| JPS6356386A (ja) | レ−ザ−カツト装置 | |
| JP2518654Y2 (ja) | 角型ガラス基板の検査台 | |
| JPH06109668A (ja) | Ｘ線回折装置のセッティング方法 | |
| JP2732311B2 (ja) | Ｘ線トポグラフィ装置 |