JPH0376844B2 - - Google Patents
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- JPH0376844B2 JPH0376844B2 JP2798085A JP2798085A JPH0376844B2 JP H0376844 B2 JPH0376844 B2 JP H0376844B2 JP 2798085 A JP2798085 A JP 2798085A JP 2798085 A JP2798085 A JP 2798085A JP H0376844 B2 JPH0376844 B2 JP H0376844B2
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- interferometer
- lens
- optical axis
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 3
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02061—Reduction or prevention of effects of tilts or misalignment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はレンズ検査に用いられる干渉計調整
マウントに関する。
マウントに関する。
フイゾー型の干渉計において、レンズを検査す
る場合、被検物を３本の互いに直交する方向に置
く必要がある。即ち、光軸方向と、光軸に直角で
互いに直交する２方向の調整が必要である。第６
図に従来技術として、３軸調整マウントを示して
いる。すなわち、かかる３軸調整マウント１は、
光軸方向（以下ｚ方向とする）と、光軸に直角な
２方向（以下ｘ・ｙ方向とする）をｚ方向微動ツ
マミ２、及びｘ方向微動ツマミ３、ｙ方向微動ツ
マミ４により直線的に微動できる。この３軸調整
マウント１には、自動軸出しホルダ５が具備され
ていて、クランプツマミ６を第６図に示す矢印方
向に引き寄せることによりクランプ７が、開き、
いかなる径の円形の被検物でも自動的に軸出しで
きる機構となつている。
る場合、被検物を３本の互いに直交する方向に置
く必要がある。即ち、光軸方向と、光軸に直角で
互いに直交する２方向の調整が必要である。第６
図に従来技術として、３軸調整マウントを示して
いる。すなわち、かかる３軸調整マウント１は、
光軸方向（以下ｚ方向とする）と、光軸に直角な
２方向（以下ｘ・ｙ方向とする）をｚ方向微動ツ
マミ２、及びｘ方向微動ツマミ３、ｙ方向微動ツ
マミ４により直線的に微動できる。この３軸調整
マウント１には、自動軸出しホルダ５が具備され
ていて、クランプツマミ６を第６図に示す矢印方
向に引き寄せることによりクランプ７が、開き、
いかなる径の円形の被検物でも自動的に軸出しで
きる機構となつている。
このような３軸調整マウント１を用いて実際に
干渉計で測定する場合を第７図に示している。
干渉計で測定する場合を第７図に示している。
第７図は、フイゾー干渉計本体８に取り付けら
れた参照レンズ９と被検レンズ１０の位置関係を
示す平面図である。フイゾー干渉計では参照レン
ズ９より集光点０にて可干渉光が集光し、被検レ
ンズ１０に達するが干渉縞が生じる為には前記可
干渉光の集光点と被検レンズ１０の曲率中心を一
致させなければならない。これを上述の３軸調整
マウントで行なうわけであるが、第７図に示すご
とく被検レンズ１０の開口が参照レンズ９の開口
より大きい場合、被検レンズ１０の周辺部は光が
到達しない為干渉計で観察できない。従つてこの
ような場合は第８図に示すごとく被検レンズ１０
を曲率中心すなわち可干渉光の集光点０を中心に
傾ける必要がある。
れた参照レンズ９と被検レンズ１０の位置関係を
示す平面図である。フイゾー干渉計では参照レン
ズ９より集光点０にて可干渉光が集光し、被検レ
ンズ１０に達するが干渉縞が生じる為には前記可
干渉光の集光点と被検レンズ１０の曲率中心を一
致させなければならない。これを上述の３軸調整
マウントで行なうわけであるが、第７図に示すご
とく被検レンズ１０の開口が参照レンズ９の開口
より大きい場合、被検レンズ１０の周辺部は光が
到達しない為干渉計で観察できない。従つてこの
ような場合は第８図に示すごとく被検レンズ１０
を曲率中心すなわち可干渉光の集光点０を中心に
傾ける必要がある。
一方干渉計は研磨途中のレンズも測定すること
がある。通常レンズ研磨においては、第９図に示
す多数貼皿１１を用い複数個のレンズ１０を一度
に研磨する。第１０図はこの多数貼皿１１の断面
図である。またこの多数貼皿１１にレンズを貼つ
たまま干渉計で測定する場合の干渉計本体８に取
り付けられた参照レンズ９と被検レンズ１０の位
置関係を示すものが第１１図である。しかして第
１１図に示すごとく、参照レンズ９の開口が多数
貼皿１１の被検レンズ１０のすべてをカバーしな
い時、多数貼皿１１の周辺のレンズは干渉計で観
察することができない。従つてこの場合も第１２
図に示すごとく、被検レンズ１０の貼つてある多
数貼皿１１を曲率中心、すなわち可干渉光の集光
点０を中心に傾ける必要がある。
がある。通常レンズ研磨においては、第９図に示
す多数貼皿１１を用い複数個のレンズ１０を一度
に研磨する。第１０図はこの多数貼皿１１の断面
図である。またこの多数貼皿１１にレンズを貼つ
たまま干渉計で測定する場合の干渉計本体８に取
り付けられた参照レンズ９と被検レンズ１０の位
置関係を示すものが第１１図である。しかして第
１１図に示すごとく、参照レンズ９の開口が多数
貼皿１１の被検レンズ１０のすべてをカバーしな
い時、多数貼皿１１の周辺のレンズは干渉計で観
察することができない。従つてこの場合も第１２
図に示すごとく、被検レンズ１０の貼つてある多
数貼皿１１を曲率中心、すなわち可干渉光の集光
点０を中心に傾ける必要がある。
ところが、これら第８図、第１２図に示す様な
測定を上述の３軸マウント１で達成しようとする
と、第１３図に示すごとく干渉計本体８に取り付
けられている参照レンズ９の光軸方向に対し、３
軸調整マウント１を傾ける必要があるがこの３軸
調整マウント１を傾ける際、回転機構を持たない
為、適当に傾けなければならず、また３軸調整マ
ウント１のｘ及びｚ方向の移動軸が光軸及び光軸
に直角な一方向に一致しなくなるため前記被検レ
ンズ１０の曲率中心を前記参照レンズ９からの可
干渉光の集光点と一致させる調整が複雑になり工
数を要する欠点があつた。
測定を上述の３軸マウント１で達成しようとする
と、第１３図に示すごとく干渉計本体８に取り付
けられている参照レンズ９の光軸方向に対し、３
軸調整マウント１を傾ける必要があるがこの３軸
調整マウント１を傾ける際、回転機構を持たない
為、適当に傾けなければならず、また３軸調整マ
ウント１のｘ及びｚ方向の移動軸が光軸及び光軸
に直角な一方向に一致しなくなるため前記被検レ
ンズ１０の曲率中心を前記参照レンズ９からの可
干渉光の集光点と一致させる調整が複雑になり工
数を要する欠点があつた。
この発明は上記欠点を除去するためなされたも
ので、レンズ検査を行なう際の被検レンズの位置
調整を簡単に行なうことができる干渉計調整マウ
ントを提供することを目的とする。
ので、レンズ検査を行なう際の被検レンズの位置
調整を簡単に行なうことができる干渉計調整マウ
ントを提供することを目的とする。
この発明にかかる干渉計調整マウントは互に直
交する２方向に移動自在な微動ステージに回転ス
テージを塔載し、この回転ステージに直線スライ
ドを介して上記の２方向と直交する方向に移動自
在な微動ステージを設けるとともにこのステージ
に自動軸出しホルダを設けたもので、上記回転ス
テージの回転中心をフイゾー型干渉計に取付けら
れた参照レンズからの可干渉の集光点に一致する
ように配置している。
交する２方向に移動自在な微動ステージに回転ス
テージを塔載し、この回転ステージに直線スライ
ドを介して上記の２方向と直交する方向に移動自
在な微動ステージを設けるとともにこのステージ
に自動軸出しホルダを設けたもので、上記回転ス
テージの回転中心をフイゾー型干渉計に取付けら
れた参照レンズからの可干渉の集光点に一致する
ように配置している。
以下、この発明の一実施例に従い説明する。
第１図において２１は微動ステージで、このス
テージ２１はｚ方向微動ツマミ２１１とｘ方向微
動ツマミ２１２によりｚおよびｘ方向に直線的に
微動できるようになつている。
テージ２１はｚ方向微動ツマミ２１１とｘ方向微
動ツマミ２１２によりｚおよびｘ方向に直線的に
微動できるようになつている。
微動ステージ２１上面には回転ステージ２２を
設けこの回転ステージ２２に直線スライド２３を
設けている。またこの直線スライド２３にはｙ方
向微動ツマミ２４１によりｙ方向に微動する微動
ステージ２４を設けこのステージ２４に自動軸出
しホルダ２５を塔載している。ここでかかる自動
軸出しホルダ２５の機能は上述したものと同じで
あり、ここでの説明は省略する。
設けこの回転ステージ２２に直線スライド２３を
設けている。またこの直線スライド２３にはｙ方
向微動ツマミ２４１によりｙ方向に微動する微動
ステージ２４を設けこのステージ２４に自動軸出
しホルダ２５を塔載している。ここでかかる自動
軸出しホルダ２５の機能は上述したものと同じで
あり、ここでの説明は省略する。
これにより干渉計調整マウント２０が完成す
る。
る。
このような干渉計調整マウント２０は回転ステ
ージ２２の回転軸を干渉計本体２６に取り付けら
れた参照レンズ２７より出る可干渉光の集光点０
に一致させて配置する。この際、回転ステージ２
１のｚ方向を干渉計の光軸方向に一致させる。こ
れにより、自動軸出しホルダ２５を光軸方向に対
し第１図に示すごとく傾けても干渉計調整マウン
ト２０のｚ及びｘ、ｙの調整方向は干渉計の光軸
及び光軸に直角で互いに直交する２方向と一致し
たままとなる。
ージ２２の回転軸を干渉計本体２６に取り付けら
れた参照レンズ２７より出る可干渉光の集光点０
に一致させて配置する。この際、回転ステージ２
１のｚ方向を干渉計の光軸方向に一致させる。こ
れにより、自動軸出しホルダ２５を光軸方向に対
し第１図に示すごとく傾けても干渉計調整マウン
ト２０のｚ及びｘ、ｙの調整方向は干渉計の光軸
及び光軸に直角で互いに直交する２方向と一致し
たままとなる。
次にかかる干渉計調整マウント２０を用いて、
実際に干渉計で測定する場合を第２図および第３
図に従い説明する。
実際に干渉計で測定する場合を第２図および第３
図に従い説明する。
第２図は干渉計本体２６に取り付けられた参照
レンズ２７と、干渉計調整マウント２０の自動軸
出しホルダー２５にクランプされた被検レンズ２
８の位置関係を示す図である。被検レンズ２８の
曲率中心を干渉計本体２６の可干渉光の集光点０
とを一致させる操作は干渉計調整マウント２０の
微動ステージ２１，２４及び直線スライド２３に
より行なうが、第２図にて示すごとく被検レンズ
２８の開口が参照レンズ２７の閉口より大きい場
合、被検レンズ２８の周辺部は光が到達しない
為、干渉計で観察できない。このような場合第３
図に示すごとく干渉計調整マウント２０の回転ス
テージ２２により曲率中心すなわち、干渉計の可
干渉光の集火点０を中心に被検レンズ２８を傾け
れば被検レンズ２８の曲率中心は干渉計の可干渉
光の集光点０からずれない為に、調整はまつたく
不要である。仮に、干渉計調整マウント２０の回
転ステージ２２の回転軸がわずかに干渉計の可干
渉光の集光点０からずれている為に、被検レンズ
２８を傾けた際、被検レンズ２８の曲率中心が干
渉計本体２６の可干渉光からずれて、それを一致
させる調整が必要な場合でも干渉計調整マウント
２０のｚ及びｘ、ｙの調整方向が干渉計の光軸及
び光軸に直角で互いに直交する２方向と一致して
いる為に、調整は容易に行なえる。
レンズ２７と、干渉計調整マウント２０の自動軸
出しホルダー２５にクランプされた被検レンズ２
８の位置関係を示す図である。被検レンズ２８の
曲率中心を干渉計本体２６の可干渉光の集光点０
とを一致させる操作は干渉計調整マウント２０の
微動ステージ２１，２４及び直線スライド２３に
より行なうが、第２図にて示すごとく被検レンズ
２８の開口が参照レンズ２７の閉口より大きい場
合、被検レンズ２８の周辺部は光が到達しない
為、干渉計で観察できない。このような場合第３
図に示すごとく干渉計調整マウント２０の回転ス
テージ２２により曲率中心すなわち、干渉計の可
干渉光の集火点０を中心に被検レンズ２８を傾け
れば被検レンズ２８の曲率中心は干渉計の可干渉
光の集光点０からずれない為に、調整はまつたく
不要である。仮に、干渉計調整マウント２０の回
転ステージ２２の回転軸がわずかに干渉計の可干
渉光の集光点０からずれている為に、被検レンズ
２８を傾けた際、被検レンズ２８の曲率中心が干
渉計本体２６の可干渉光からずれて、それを一致
させる調整が必要な場合でも干渉計調整マウント
２０のｚ及びｘ、ｙの調整方向が干渉計の光軸及
び光軸に直角で互いに直交する２方向と一致して
いる為に、調整は容易に行なえる。
勿論上述した多数貼皿に貼られたレンズの検査
に関しても測定方法及び調整手段は上記と全く同
様である。
に関しても測定方法及び調整手段は上記と全く同
様である。
次に、第４図はこの発明の他実施例を示す概略
的構成図である。
的構成図である。
この場合微動ステージ２４に回転ステージ２９
を取り付け、この回転ステージ２９に自動軸出し
ホルダ２５を設けている。その他は第１図と同様
なので同一部分には同符号を付している。
を取り付け、この回転ステージ２９に自動軸出し
ホルダ２５を設けている。その他は第１図と同様
なので同一部分には同符号を付している。
このようにすると、ホルダ２５に保持された被
検レンズはクランプし直すことなく回転できるの
でレンズ全面について干渉計で観察できる利点が
ある。
検レンズはクランプし直すことなく回転できるの
でレンズ全面について干渉計で観察できる利点が
ある。
次に、第５図はこの発明のさらに他実施例を示
す概略的構成図である。
す概略的構成図である。
この場合干渉計調整マウント２０全体を直線ス
ライド３０上に塔載するようにしている。
ライド３０上に塔載するようにしている。
その他は第１図と同一であり同一部分には同符
号を付している。
号を付している。
このようにすると開口の違う参照レンズ２７と
交換してもその交換したレンズ２７の可干渉光の
集光点位置に容易にスライドして位置合せするこ
とができる。
交換してもその交換したレンズ２７の可干渉光の
集光点位置に容易にスライドして位置合せするこ
とができる。
なお、この発明は上記実施例にのみ限定されず
要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施でき
る。
要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施でき
る。
この発明によれば一度被検レンズの曲率中心を
干渉計に取り付けられた参照レンズからの可干渉
光の集光点に一致させるよう調整をしておけば、
被検レンズを干渉計の光軸に対し傾けても、被検
レンズの曲率中心が可干渉光の集光点からずれな
いようにできるので、被検レンズの位置調整を極
めて簡単にでき、かかるレンズ検査の工数を著し
く少なくできる。
干渉計に取り付けられた参照レンズからの可干渉
光の集光点に一致させるよう調整をしておけば、
被検レンズを干渉計の光軸に対し傾けても、被検
レンズの曲率中心が可干渉光の集光点からずれな
いようにできるので、被検レンズの位置調整を極
めて簡単にでき、かかるレンズ検査の工数を著し
く少なくできる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略的構成
図、第２図および第３図は夫々同実施例を説明す
るための図、第４図および第５図は夫々この発明
の他実施例を示す概略的構成図、第６図は従来の
調整マウントの一例を示す概略的構成図、第７図
乃至第１３図は夫々同調整マウントを説明するた
めの図である。 １……３軸調整マウント、２……ｚ方向微動ツ
マミ、３……ｘ方向微動ツマミ、４……ｙ方向微
動ツマミ、５……自動軸出しホルダ、６……クラ
ンプツマミ、７……クランプ、８……フイゾー干
渉計本体、９……参照レンズ、１０……被検レン
ズ、１１……多数貼皿、２０……干渉計調整マウ
ント、２１……微動ステージ、２１１……ｚ方向
微動ツマミ、２１２……ｘ方向微動ツマミ、２２
……回転ステージ、２３……直線スライド、２４
……微動ステージ、２４１……ｙ方向微動ツマ
ミ、２５……自動軸出しホルダ、２６……干渉計
本体、２７……参照レンズ、２８……被検レン
ズ、２９……回転ステージ、３０……直線スライ
ド。
図、第２図および第３図は夫々同実施例を説明す
るための図、第４図および第５図は夫々この発明
の他実施例を示す概略的構成図、第６図は従来の
調整マウントの一例を示す概略的構成図、第７図
乃至第１３図は夫々同調整マウントを説明するた
めの図である。 １……３軸調整マウント、２……ｚ方向微動ツ
マミ、３……ｘ方向微動ツマミ、４……ｙ方向微
動ツマミ、５……自動軸出しホルダ、６……クラ
ンプツマミ、７……クランプ、８……フイゾー干
渉計本体、９……参照レンズ、１０……被検レン
ズ、１１……多数貼皿、２０……干渉計調整マウ
ント、２１……微動ステージ、２１１……ｚ方向
微動ツマミ、２１２……ｘ方向微動ツマミ、２２
……回転ステージ、２３……直線スライド、２４
……微動ステージ、２４１……ｙ方向微動ツマ
ミ、２５……自動軸出しホルダ、２６……干渉計
本体、２７……参照レンズ、２８……被検レン
ズ、２９……回転ステージ、３０……直線スライ
ド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 互いに直交する２方向に移動自在な第１の微
動ステージと、このステージに搭載された回転ス
テージと、この回転ステージに設けられた直線ス
ライドと、この直線スライド上に設けられ上記の
２方向と直交する方向に移動自在な第２の微動ス
テージと、このステージに取り付けられ被検レン
ズを保持する自動軸出しホルダとを備えたことを
特徴とする干渉計調整マウント。 ２ 上記第１の微動ステージ、回転ステージ、直
線スライド、第２の微動ステージおよび自動軸出
しホルダ全体を干渉計の参照レンズの可干渉光の
集光点位置に移動自在にしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の干渉計調整マウント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2798085A JPS61187605A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 干渉計調整マウント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2798085A JPS61187605A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 干渉計調整マウント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187605A JPS61187605A (ja) | 1986-08-21 |
| JPH0376844B2 true JPH0376844B2 (ja) | 1991-12-06 |
Family
ID=12236003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2798085A Granted JPS61187605A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 干渉計調整マウント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61187605A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7245361B2 (en) | 2002-06-04 | 2007-07-17 | Nikon Corporation | Method for evaluating refractive index homogeneity of optical member |
| WO2003102529A1 (fr) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Nikon Corporation | Procede de mesure de l'homogeneite de l'indice de refraction d'un element optique |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP2798085A patent/JPS61187605A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61187605A (ja) | 1986-08-21 |
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