JP2001004891A - 対物レンズおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１のレンズと第２のレンズとの距離を変化
させることなく傾きと偏芯を調整できる対物レンズとそ
の製造方法を提供する。 【解決手段】 第１のホルダ１２に第１のレンズ１０を
取付ける工程と、球面１３ａに第２のレンズ１１を摺動
させながら第１のレンズ１０の光軸に対して第２のレン
ズ１１の光軸がなす角度を調整して、その角度が０とな
るように第２のレンズ１１を第２のホルダ１３に取付け
る工程と、第１の面１２ｂと第２の面１３ｂとを接触さ
せる工程と、第１の面１２ｂと第２の面１３ｂとを接触
させた状態で第２のホルダ１３を第１のホルダ１２に対
して摺動させることにより、第１のレンズ１０の光軸と
第２のレンズ１１の光軸とを一致させて偏芯調整を行な
う工程と、偏芯調整された第２のホルダ１３を第１のホ
ルダ１２に対して固定する工程とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、対物レンズおよ
びその製造方法に関し、特に、光ディスク、光磁気ディ
スクなどの光学記録媒体からの情報の書込や読出を行な
う光学ピックアップレンズとしての対物レンズおよびそ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、情報の記録媒体として、いわゆる
光ディスク、光磁気ディスクまたは光カードのような種
々の光学記録媒体が提案されている。この光学記録媒体
への情報の書込や読出を行なう方法として、光学記録媒
体に光を照射する、いわゆる光学ピックアップが用いら
れている。

【０００３】この光学ピックアップにおいては、光学記
録媒体に照射される光は対物レンズにより集光され、そ
の焦点が光学記録媒体の面上に位置する。この方法で
は、対物レンズの開口数（ＮＡ）を大きくすることによ
り、集光された光のビーム径を小さくすることができ、
光学記録媒体の信号の記録密度を向上させることができ
る。

【０００４】しかし、単一のレンズで構成される対物レ
ンズである、いわゆる単玉レンズでは、開口数を大きく
しようとした場合、屈折パワーを大きくする必要があ
る。屈折パワーを大きくすると対物レンズの曲率が小さ
くなり、屈折面同士の位置決め精度を向上させる必要が
ある。そのため、単玉レンズでは開口数を０．６程度に
するのが限界であった。

【０００５】この単玉レンズに対して、２つのレンズで
構成されるいわゆる２群レンズでは開口数を大きくする
ことが可能である。ここで、２群レンズについて説明す
る。

【０００６】図９は、従来の２群レンズで構成される対
物レンズの模式図である。図９を参照して、対物レンズ
は、２群レンズ６０により構成される。２群レンズ６０
は、第１のレンズ６１と第２のレンズ６２により構成さ
れている。第１のレンズ６１は、半導体レーザから発射
されたレーザ光が入射される第１の面６３と第２のレン
ズ６２に向かい合う第２の面６４とからなる。第２のレ
ンズ６２は、第１のレンズ６１を透過してきたレーザ光
が入射される第３の面６５と光学記録媒体に向かい合う
第４の面６６とを有する。

【０００７】このように構成された２群レンズ６０にお
いては、レーザ光の屈折パワーを分散させることができ
るので、容易に開口数を大きくできる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図９で示すような対物
レンズにおいては、第１のレンズ６１および第２のレン
ズ６２を支持するレンズホルダの加工精度やレンズ固定
時の固定誤差により第１のレンズ６１と第２のレンズ６
２との間に相対的な傾きやレンズ軸のずれが生じる。そ
のため、これらを調整するための方法が必要となる。

【０００９】ここで、特開平７−２２０２８６号公報に
は、いわゆる単玉レンズでのレンズの傾きを調整する方
法が記載されている。しかしながら、この方法では、１
つのレンズの傾きは調整できても、２つのレンズ間の傾
きや、２つのレンズのレンズ軸間のずれの調整（偏芯調
整）はできない。

【００１０】また、特開平１０−２５５３０４号公報で
は、対物レンズとして用いられる２つのレンズ間の傾き
調整と偏芯調整について記載されている。しかしなが
ら、ここに記載された方法では、傾きや偏芯を調整して
いる間にレンズ間の距離が変わり２つのレンズにより構
成される焦点の位置が変化する恐れがある。この場合、
球面収差が発生し、対物レンズ性能を劣化させてしまう
ことになる。

【００１１】そこで、この発明は、上述のような問題点
を解決するためになされたものであり、２つのレンズ間
の距離を変えることなく、傾き調整および偏芯調整を行
なうことができ、データを確実に書込み、かつ読取るこ
とができる対物レンズとその製造方法を提供することを
目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に従った対物レ
ンズの製造方法は以下の工程を備える。

【００１３】（１） 第１のホルダに第１のレンズを取
付ける工程。 （２） 第２のホルダのレンズ装着面に第２のレンズを
摺動させながら第１のレンズの光軸に対して第２のレン
ズの光軸がなす角度を調整して、その角度が０になるよ
うに第２のレンズを第２のホルダに取付ける工程。

【００１４】（３） 第１のホルダの、基準軸に対して
垂直な第１の面と、第２のホルダの、基準軸に対して垂
直な第２の面とを互いに接触させる工程。

【００１５】（４） 第１の面と第２の面とを互いに接
触させた状態で第２のホルダを第１のホルダに対して摺
動させることにより、第１のレンズの光軸と第２のレン
ズの光軸とが一致するように偏芯調整を行なう工程。

【００１６】（５） 偏芯調整された第２のホルダを第
１のホルダに対して固定する工程。このような工程を備
えた対物レンズの製造方法に従えば、第１のホルダを第
２のホルダに対して摺動させて偏芯調整を行なう。摺動
面としての第１の面と第２の面とが基準軸に対して垂直
であるので、第１のレンズと第２のレンズのそれぞれ
が、基準軸に対して垂直な方向に移動する。そのため、
第１のレンズと第２のレンズとの摺動面からの距離は偏
芯調整の際に変化しない。その結果、第１と第２のレン
ズの光軸のなす角度が０、すなわち平行になっていれ
ば、上述の摺動だけで偏心調整を行なえる。

【００１７】また、第２のレンズを取付ける際には、第
２のレンズは第２のホルダのレンズ装着面上で摺動する
ため、第２のレンズと第１のレンズとの距離は第２のレ
ンズの取付けの際に変化することがない。そのため、第
２のレンズの傾きの調整の際にも第１のレンズと第２の
レンズとの距離が変化しない。

【００１８】その結果、第１と第２のレンズ間の距離が
常に一定になる。したがって、データを確実に読取るこ
とができ、さらにデータを確実に書込むことができる対
物レンズが提供できる。

【００１９】また、第２のホルダに第２のレンズを取付
ける工程は、好ましくは、第１のレンズに設けられた基
準面にレーザ光を照射し、反射したレーザ光を観測する
ことにより第１のレンズの光軸と基準軸とのなす第１の
角度を測定することと、第２のレンズに設けられた基準
面にレーザ光を照射し、反射したレーザ光を観測するこ
とにより第２のレンズの光軸と基準軸のなす第２の角度
を測定することと、第１の角度と第２の角度との差が０
となるように第２のホルダのレンズ装着面上で第２のレ
ンズを摺動させることにより位置決めして第２のレンズ
を第２のホルダに取付けることを含む。

【００２０】この場合、第１のレンズの光軸と基準軸と
のなす角度をレーザ光で測定し、さらに、第２のレンズ
の光軸と基準軸とのなす角度をレーザ光で測定するた
め、これらの角度を精密に測定することができる。その
ため、第２のレンズをさらに精密に位置決めすることが
できる。その結果、データを確実に読取ることができ、
かつデータを確実に書込むことができる対物レンズを提
供できる。

【００２１】また、偏芯調整を行なう工程は、好ましく
は、第１のレンズと第２のレンズとを通過したレーザ光
のビームスポットの形状が点対称の図形となるように第
２のホルダを摺動させて第２のホルダを位置決めするこ
とを含む。

【００２２】この発明に従った対物レンズは、第１のホ
ルダと、第１のレンズと、第２のホルダと、第２のレン
ズを備える。第１のホルダは、基準軸に対して垂直な第
１の面を有する。第１のレンズは、光軸を有し、第１の
ホルダに取付けられている。第２のホルダは、基準軸に
対して垂直な第２の面を有し、第１の面と第２の面とが
接触した状態で第１のホルダに対して固定されている。
第２のレンズは第１のレンズの光軸と同一軸の光軸を有
し、かつ第２のホルダに取付けられている。

【００２３】このように構成された対物レンズにおいて
は、第１のレンズが第１のホルダに取付けられ、第２の
レンズが第２のホルダに取付けられているので、第２の
レンズの傾きを第２のホルダ上で調整することにより、
傾きの調整の際に第１のレンズと第２のレンズとの距離
が変化することがない。

【００２４】また、基準軸に対して垂直な第１の面と第
２の面とが接しているため、この第１の面に対して第２
の面を摺動させることにより偏芯調整をすれば、偏芯調
整の際に第１のレンズと第２のレンズとの間の距離が変
化することがない。このため、第１のレンズと第２のレ
ンズとの距離が一定となり、焦点の位置が変化しない。
その結果データを確実に読取ることができ、かつデータ
を確実に書込むことができる対物レンズを提供できる。

【００２５】また、好ましくは、第２のホルダは球面状
の凹部を有する。第２のレンズは球面状の凹部の曲率半
径と同一の曲率半径を有する球面状の凸部を有する。第
２のホルダの凹部に第２のレンズの凸部がはまり合うよ
うに第２のレンズが位置決めされている。

【００２６】この場合、第２のホルダの凹部の曲率半径
と第２のレンズの凸部の曲率半径が同一であるため、こ
れらは隙間なくはまり合う。そのため、第２のホルダに
第２のレンズが確実に位置決めされることができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００２８】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に従った対物レンズを示す断面図である。図１
を参照して、対物レンズ１は、第１のレンズ１０と、第
１のホルダ１２と、第２のレンズ１１と、第２のホルダ
１３とを備える。

【００２９】第１のホルダ１２は、第１のレンズ１０を
載置するための面である平面１２ａと、第２のホルダ１
３を載置するための面である第１の面としての平面１２
ｂとを有する。平面１２ａおよび１２ｂは、一点鎖線で
示す基準軸２に対して垂直な平面である。また、平面１
２ａおよび１２ｂは、他の部材と接触するため、高精度
に加工されている。

【００３０】第１のレンズ１０は第１のホルダ１２の平
面１２ａに載置されている。第１のレンズ１０と第１の
ホルダ１２とは接着剤により固定されている。第１のレ
ンズ１０には、その傾きを計測するための基準面として
の平面１０ａが形成されている。

【００３１】第２のホルダ１３は第２のレンズ１１を載
置するためのレンズ装着面としての球面１３ａと第１の
ホルダ１２と接触する第２の面としての平面１３ｂとを
有する。平面１３ｂは平面１２ｂと接触しており基準軸
２に対して垂直に形成されている。この平面１３ｂも平
面１２ｂとともに高い精度で形成されている。球面１３
ａの中心点ＣＰは光軸２上にあり、球面１３ａの曲率半
径はｒである。

【００３２】第２のホルダ１３の球面１３ａには第２の
レンズ１１が載置されている。第２のレンズ１１は球面
１３ａと接触する球面１１ｂの曲率半径はｒであり、球
面１３ａの曲率半径と同一である。そのため、球面１１
ｂを有する。球面１１ｂのすべての部分が球面１３ａと
接触している。第１および第２のレンズ１０および１１
の光軸は、基準軸２と同一軸であることが望ましい。

【００３３】次に、球面１１ｂと球面１３ａとの接触部
分について詳細に説明する。図２は、第２のホルダ１３
と第２のレンズ１１との接触部分を拡大して示す断面図
である。図２を参照して、第２のホルダ１３の球面１３
ａと第２のレンズ１１の球面１１ｂとが同一の曲率半径
ｒを有する。球面１３ａは凹部を形成しており、球面１
１ｂは凸部を形成している。

【００３４】次に、図１で示す対物レンズの製造方法に
ついて説明する。図３〜６は、対物レンズの製造工程を
示す図である。

【００３５】まず、図１を参照して、第１のホルダ１２
の平面１２ａに第１のレンズ１０を載置して第１のレン
ズ１０を第１のホルダ１２に接着固定する。

【００３６】図３を参照して、レーザ光源１０１から発
射したレーザ光１０２を第１のレンズ１０の平面（コバ
面）１０ａに照射する。これにより、反射したレーザ光
１０３が到達する位置を測定する。第１のレンズ１０の
光軸が基準軸２に対して傾いている場合には、レーザ光
源１０１と、反射光１０３との間の距離ｄｘより、第１
のレンズ１０の光軸と基準軸２とのなす角度を算出す
る。

【００３７】また、図４を参照して、第１のレンズ１０
の光軸と基準軸とのなす角度が０度である場合には、レ
ーザ光源１０１から照射されたレーザ光１０２はコバ面
１０ａで反射してレーザ光源１０１へ帰る。

【００３８】図５を参照して、第２のホルダ１３上に第
２のレンズ１１を載置する。第２のレンズ１１の平面
（コバ面）１１ａに図３に示す方法と同様にしてレーザ
光を照射する。このレーザ光が平面１１ａで反射するの
で、反射したレーザ光と入射したレーザ光とのずれから
基準軸２と第２のレンズ１１の光軸とのなす角度を求め
る。

【００３９】次に、第２のレンズ１１上方に治具５０を
位置決めする。治具５０は第１のレンズ１１の平面１１
ａに接触する平面５０ａを有する。治具５０はアームを
介して位置決めされており図５で示すｘ軸に平行な方
向、ｙ軸に平行な方向、ｚ軸に平行な方向に平行移動す
ることが可能である。また、治具５０は、ｘ軸を中心と
した回動運動、ｙ軸を中心とした回動運動をすることが
可能である。

【００４０】この治具５０の平面５０ａと基準軸２との
なす角度が第１のレンズ１０の光軸と基準軸２とのなす
角度と一致するように、治具５０をｘ軸を中心とした回
動運動、ｙ軸を中心とした回動運動させる。

【００４１】その後、治具５０をｘ軸方向とｙ軸方向に
動かして治具５０を第２のレンズ１１の真上に位置決め
する。そして、治具５０をｚ軸方向に移動させて平面５
０ａを平面１１ａに接触させる。これにより第２のレン
ズ１１は第２のホルダ１３の球面１３ａ上で摺動して第
２のレンズ１１の平面１１ａが治具５０の平面５０ａと
完全に接触する。

【００４２】これにより、第２のレンズ１１の光軸と基
準軸２とのなす角度は、平面５０ａと基準軸２とのなす
角度に等しくなり、さらに、第１のレンズ１０の光軸と
基準軸２とのなす角度と等しくなる。このように第２の
レンズ１１の傾きの調整が終了した時点で第２のレンズ
１１と第２のホルダ１３とを接着剤で固定する。

【００４３】以上の図３〜図５で示す工程に従えば、基
準軸２と第１のレンズ１０の光軸とのなす角度と、基準
軸２と第２のレンズ１１の光軸とのなす角度が等しくな
り、第１のレンズ１０の光軸と第２のレンズ１１の光軸
は平行となる。この２つの光軸を一致させるために以下
の偏芯調整を行なう。

【００４４】図６を参照して、偏芯調整を行なうには、
第１のホルダ１２と第２のホルダ１３とを接触させた状
態でこれらをベース板４１上に載置する。ベース板４１
の下方に、コリメートされたレーザ光を射出するレーザ
光源４０を設ける。第２のホルダ１３の上方に記録媒体
の透明保護層に対応した厚みを有するカバーガラス４２
を設ける。

【００４５】カバーガラス４２の上方に、集光されたビ
ームスポットを拡大するためのビームスポット観測計用
の対物レンズ４３を設ける。対物レンズ４３の上方に
は、像を結像させるための結像レンズ４４を設ける。結
像レンズ４４の上方には結像レンズ４４を通過すること
により得られる撮像面を観測するためのＣＣＤ（Chareg
e coupled device）４５を設ける。ビームスポット観測
用計の対物レンズ４３の倍率は１００倍とし、結像レン
ズ４４の倍率は２０倍とする。

【００４６】このような装置を用いて、レーザ光源４０
からコリメートされたレーザ光を第１のレンズ１０に向
かって射出する。第１のレンズ１０で集光されたレーザ
光はさらに第２のレンズ１１で集光される。そして、カ
バーガラス４２上でレーザ光が結像する。

【００４７】レーザ光はカバーガラス４２から離れるに
従って発散し、対物レンズ４３に入る。対物レンズ４３
を通過した後、レーザ光はさらに集光し、結像レンズ４
４内に入る。結像レンズ４４を通過したレーザ光はＣＣ
Ｄ４５上で集光し、その集光して得られた像をＣＣＤ４
５が観測する。

【００４８】ここで、第１のホルダ１２に対して第２の
ホルダ１３を摺動させてＣＣＤ４５上で得られる像を観
測する。ＣＣＤ４５上で得られる像が輪帯を含み、点対
称な形状（点対称の図形）となれば第１のレンズ１０の
光軸と第２のレンズ１１の光軸とが一致したことを示す
ため、この時点で第２のホルダ１３を摺動させるのをや
め第２のホルダ１３を第１のホルダ１２に接着固定す
る。なお、第２のホルダ１３を摺動させる際には、マイ
クロメータなどの微少送り機構を利用することにより、
高精度な位置決めが可能となる。

【００４９】以上の工程に従い、対物レンズの傾きの調
整と偏芯調整が終了し、高精度に位置決めされた対物レ
ンズ（対物レンズ保持装置）が完成する。

【００５０】このような対物レンズとその製造方法に従
えば、まず、第２のレンズ１１の傾きを調整する際に、
第２のレンズ１１を第２のホルダ１３に載置した状態で
調整を行なう。このとき、第２のレンズ１１は第２のホ
ルダ１３上に載置されており、球面１３ａ上で摺動する
ため、第２のレンズ１１と、その下に設けられた第１の
レンズ１０との間の距離が変化することがない。

【００５１】また、偏芯調整を行なう際には、図６で示
すように、第１のホルダ１２に対して第２のホルダ１３
を摺動させる。ここで、第１のホルダ１２の平面１２ａ
と第２のホルダ１３の平面１３ａとが接触しており、こ
れらは互いに基準軸２に対して垂直であるため、摺動の
際には、第２のレンズ１１は基準軸２に対して垂直な面
上を動く。そのため、第１のレンズ１０と第２のレンズ
１１との間の距離が変化することがない。

【００５２】したがって、いずれの工程でも第１のレン
ズ１０と第２のレンズ１１との間の距離が変化すること
がなく、合成焦点の位置が変わらない。その結果、情報
を正確に読取ることができ、かつ書込むことができる高
精度な対物レンズを提供することができる。

【００５３】具体的には、この２群レンズを用いれば、
レンズ単体として要求される誤差の許容範囲、たとえば
０．０４ｒｍｓ（root mean square）を超えた収差が発
生することがない。

【００５４】また、第２のレンズ１１と第２のホルダ１
３とが互いに同一の曲率半径を有する球面１１ｂおよび
１３ａで接触していることにより、接触面積が大きくな
り、第２のホルダ１３に第２のレンズ１１を確実に固定
できる。さらに、これらの球面１１ｂおよび１３ａの作
用により、第１のレンズ１０と第２のレンズ１１との間
のレンズ間の距離が変化することがない。

【００５５】（実施の形態２）図７および図８は、この
発明の実施の形態２に従った第２のレンズと第２のホル
ダとの接触部分を拡大して示す図である。実施の形態１
では第１のレンズ１１は球面１１ｂを有し、第２のホル
ダ１３は球面１３ａを有し、これらが互いに接触してい
たが、図７で示す第２のレンズ１１は平面であるテーパ
面１１ｃを有し、第２のホルダ１３は実施の形態１と同
様球面１３ａを有する。この場合、第２のレンズ１１と
第２のホルダ１３とは線接触することになる。

【００５６】また、図８で示すように、第２のレンズ１
１が球面１１ｂを有し、第２のホルダ１３が平面である
テーパ面１３ｃを有していてもよい。この場合にでも、
第２のレンズ１１と第２のホルダ１３とが線接触する。

【００５７】このような構成とすることにより、実施の
形態１と同様の効果がある。以上、この発明の実施の形
態について説明したが、上述の実施の形態はさまざまな
に変形することが可能である。まず、実施の形態１およ
び２では、レンズ自身をホルダに接触させる構造として
いるが、レンズを上述の球面やテーパ面をもつ部材で保
持し、この部材と接触するようにホルダを設けてもよ
い。

【００５８】この場合、レンズを保持する部材として金
属部品を使用することができるので、この金属部品の精
度を向上させやすく、強度を大きくできる。そのため、
傾き調整を行なうために摺動した際にきずがつきにくい
という効果がある。

【００５９】また、実施の形態１において偏芯調整の際
にビームスポットの形状を見ながらレンズ間の偏芯調整
を行なう構成としているが、干渉計を用いて波面収差を
測定しながらレンズ間の偏芯調整を行なう構成としても
よい。

【００６０】さらに、上述の実施の形態では、２つのホ
ルダにそれぞれレンズを固定し、これらのホルダを接触
させるような構成としているが、第１のホルダまたは第
２のホルダに光軸方向に対する間隔調整機構を持たせる
ことも可能である。なお、この間隔調整機構については
特開平１０−２５５２９０号公報に記載されているもの
を用いることが可能である。

【００６１】これにより、球面の加工公差または接着固
定時に生じる誤差により発生するレンズ間のずれを調整
することができる。

【００６２】さらに、上述の実施の形態１では、第２の
レンズの球面と第２のホルダの球面の中心を一致させて
いるが、さらにこの中心と２つのレンズにより得られる
焦点とを一致させることが好ましい。この場合、２つの
レンズ間の偏芯が調整されていれば、傾きの調整を行な
う際に第２のレンズを回動させても、２つのレンズによ
り得られる合成焦点の位置の移動を最小にすることがで
きる。

【００６３】また、第２のレンズと第２のホルダの一方
が球面を有し、他方がテーパ面を有して双方が線接触す
る場合においても、第２のレンズの回動中心を２つのレ
ンズの合成焦点と一致させることにより同様の効果を得
ることができる。

【００６４】さらに、第２のレンズが半球形またはほぼ
半球形の形状であり、第２のホルダが、この第２のレン
ズの球面または半球面がはまる球面状の凹部を有し、第
２のレンズの球面と凹部の球面との中心がレンズの焦点
と一致する構成とすることも可能である。この場合、レ
ンズ側にレンズを載置するための球面を作る必要がなく
なる。

【００６５】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。

【００６６】

【発明の効果】この発明による対物レンズの製造方法に
従えば、データを確実に読取ることができ、さらにデー
タを確実に書込むことができる対物レンズを提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に従った対物レンズを
示す断面図である。

【図２】図１で示す第２のレンズと第２のホルダとの接
触部分を拡大して示す図である。

【図３】図１で示す対物レンズの製造方法の第１工程を
示す模式図である。

【図４】図１で示す対物レンズの製造方法の第１工程を
示す模式図である。

【図５】図１で示す対物レンズの製造方法の第２工程を
示す断面図である。

【図６】図１で示す対物レンズの製造方法の第３工程を
示す断面図である。

【図７】この発明の実施の形態２に従った第２のレンズ
と第２のホルダとの接触部分を拡大して示す図である。

【図８】この発明の実施の形態２に従った第２のレンズ
と第２のホルダとの接触部分を拡大して示す図である。

【図９】従来の２群レンズで構成される対物レンズの模
式図である。

【符号の説明】

１ 対物レンズ ２ 基準軸 １０ 第１のレンズ １０ａ，１１ａ，１２ａ，１２ｂ，１３ｂ 平面 １１ 第２のレンズ １１ｂ，１３ａ 球面 １２ 第１のホルダ １３ 第２のホルダ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のホルダに第１のレンズを取付ける
   工程と、 第２のホルダのレンズ装着面に第２のレンズを摺動させ
   ながら第１のレンズの光軸に対して前記第２のレンズの
   光軸のなす角度を調整して、その角度が０になるように
   前記第２のレンズを前記第２のホルダに取付ける工程
   と、 前記第１のホルダの、基準軸に対して垂直な第１の面
   と、前記第２のホルダの、基準軸に対して垂直な第２の
   面とを互いに接触させる工程と、 前記第１の面と前記第２の面とを互いに接触させた状態
   で前記第２のホルダを前記第１のホルダに対して摺動さ
   せることにより、前記第１のレンズの光軸と前記第２の
   レンズの光軸とが一致するように偏芯調整を行なう工程
   と、 偏芯調整された前記第２のホルダを前記第１のホルダに
   対して固定する工程とを備えた、対物レンズの製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記第２のホルダに前記第２のレンズを
   取付ける工程は、前記第１のレンズに設けられた基準面
   にレーザ光を照射し、反射したレーザ光を観測すること
   により前記第１のレンズの光軸と基準軸とのなす第１の
   角度を測定することと、 前記第２のレンズに設けられた基準面にレーザ光を照射
   し、反射したレーザ光を観測することにより前記第２の
   レンズの光軸と基準軸とのなす第２の角度を測定するこ
   とと、 前記第１の角度と前記第２の角度との差が０となるよう
   に前記第２のホルダのレンズ装着面上で前記第２のレン
   ズを摺動させることにより位置決めして前記第２のレン
   ズを前記第２のホルダに取付けることを含む、請求項１
   に記載の対物レンズの製造方法。
3. 【請求項３】 前記偏芯調整を行なう工程は、前記第１
   のレンズと前記第２のレンズとを通過したレーザ光のビ
   ームスポットの形状が点対称の図形となるように前記第
   ２のホルダを摺動させて前記第２のホルダを位置決めす
   ることを含む、請求項１または２に記載の対物レンズの
   製造方法。
4. 【請求項４】 基準軸に対して垂直な第１の面を有する
   第１のホルダと、 光軸を有し、かつ前記第１のホルダに取付けられた第１
   のレンズと、 基準軸に対して垂直な第２の面を有し、前記第１の面と
   前記第２の面とが接触した状態で前記第１のホルダに対
   して固定された第２のホルダと、 前記第１のレンズの光軸と同一軸の光軸を有し、かつ前
   記第２のホルダに取付けられた第２のレンズとを備え
   た、対物レンズ。
5. 【請求項５】 前記第２のホルダは球面状の凹部を有
   し、前記第２のレンズは前記球面状の凹部の曲率半径と
   同一の曲率半径を有する球面状の凸部を有し、前記第２
   のホルダの凹部に前記第２のレンズの凸部がはまり合う
   ように前記第２のレンズが位置決めされている、請求項
   ４に記載の対物レンズ。