KR101193532B1 - 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 높은 정밀도가 요구되는 생산장비나 실험장비 또는 측정대상 샘플 등의 물체를 소정의 위치에 정확하게 위치시켜 놓거나 상기 물체의 수평도를 비교적 정확하게 조절할 수 있도록 하는 스테이지에 관한 것이다.
본 발명의 스테이지는 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지로서, 위치나 수평도를 조절하려는 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않는 베이스몸체; 상기 베이스몸체의 상부에 위치되고 각종 물체를 올려놓을 수 있도록 되어 있는 테이블; 상기 베이스몸체에 회전 가능하도록 고정되어 있되 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 고정되어 있고, 길이방향으로 중공이 형성되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제1핸들몸체; 및 상기 제1핸들몸체의 중공에 삽입된 상태로 연장, 설치되어 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 설치되어 있되 회전 가능하도록 설치되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제2핸들몸체;를 포함하여 구성된다.
본 발명은 핸들몸체의 방향이 편중되게 설치되어 있으므로 핸들몸체를 움직여주는 것이 용이할 뿐만 아니라 복수 개의 스테이지를 근접시켜 배열하는 것도 용이한 특징이 있다.

Description

핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지{THE STAGE}
본 발명은 높은 정밀도가 요구되는 생산장비나 실험장비 또는 측정대상 샘플 등의 물체를 소정의 위치에 정확하게 위치시켜 놓거나 상기 물체의 수평도를 비교적 정확하게 조절할 수 있도록 하는 스테이지에 관한 것이다.
각종 산업현장에서 물품의 생산, 측정 등의 작업을 위해 물체의 위치나 수평도에 대한 높은 정밀도가 요구되는 경우가 있다.
이를 위하여 한국 실용신안출원 제20-2004-0028523호 등의 스테이지가 안출되었다.
구체적인 예로 설명하면, TFT-LCD, EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)를 제조함에 있어서 용해된 유리물을 성형 및 절단하여 제조하고 있는데, 이러한 유리기판에는 여러 가지 원인에 의한 다양한 결함이 발생된다.
따라서 평판디스플레이를 위한 고품질의 유리기판을 얻기 위해서는 유리기판의 두께, 평탄도, 휘어짐의 정도, 스크래치, 투과율, 피티클 등의 결함에 대한 검사와 측정을 실시하여 불량품 및 불량의 원인을 찾고 있다.
이러한 검사 및 측정작업에는 높은 정밀도가 요구되는 장비가 사용되고 있는데 이러한 장비를 설치함에 있어서 매우 정밀한 설치가 요구된다.
또, 유리기판 등의 가공시에도 고정밀도의 가공이 요구된다.
이러한 높은 정밀도를 충족시키기 위해 스테이지가 사용되고 있는 것이다.
이러한 스테이지는 다양한 형태로 구현되고 있는데 대부분 측정장비나 유리기판 등의 물체를 소정의 위치에 정확하게 위치시키고 수평도를 조절할 수 있도록 되어 있다.
또, 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않는 베이스몸체를 가지고 있다.
또, 물체의 위치나 수평도를 조절하기 위해 베이스몸체와 연결된 테이블을 움직여주는 복수 개의 핸들몸체를 가지고 있다.
그런데 종래의 스테이지에 구비된 핸들몸체는 도 1과 같이 각각 다른 방향을 항해 연장되어 있기 때문에 복수 개의 스테이지를 근접시켜 배열하는 것에 어려움이 있고, 각각의 핸들몸체를 움직여주는 것에도 불편한 문제점이 있었다.
또, 각각의 핸들몸체는 그 설치 위치가 서로 영향을 주지 않으면서 테이블을 움직일 수 있도록 되어 있는데 그 구조가 매우 복잡하고 많은 부품수를 발생시키는 구조이어서 생산원가가 상당히 높고, 크기가 크며, 많은 부품이 조립되어 있는 특성상 오차의 범위가 비교적 커 정밀도를 높이는데 한계가 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하려는 것으로서, 더욱 상세하게는 복수 개의 핸들몸체를 움직여주는 것이 용이할 뿐만 아니라 복수 개를 근접시켜 배열하는 것도 용이한 스테이지를 제공하려는데 목적이 있다.
또, 핸들몸체를 움직여 주었을 때 테이블이 움직이도록 하기 위한 구조가 간단하여 크기가 작고 부품수가 적은 등의 이유로 생산원가도 저렴하며, 정밀도가 매우 향상된 스테이지를 제공하려는 목적도 가지고 있다.
본 발명에서는 복수 개의 핸들몸체가 한 방향으로 연장되어 있는 등 핸들몸체의 방향이 편중되어 있어 핸들몸체를 움직여주는 것이 용이할 뿐만 아니라 복수 개를 근접시켜 배열하는 것도 용이하도록 한다.
물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있도록 된 본 발명의 스테이지는, 위치나 수명도를 조절하려는 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않는 베이스몸체를 갖는다.
또, 베이스몸체의 상부에 위치되고 각종 물체를 올려 놓을 수 있도록 되어 있는 테이블을 갖는다.
또, 베이스몸체에 회전 가능하도록 고정되어 있되 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 고정되어 있고, 길이방향으로 중공이 형성되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제1핸들몸체를 갖는다.
또, 제1핸들몸체의 중공에 삽입된 상태로 연장, 설치되어 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 설치되어 있되 회전 가능하도록 설치되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제2핸들몸체를 갖는다.
상기와 같은 구조에 있어서, 어느 한쪽은 상기 제1핸들몸체의 나선부와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블의 좌측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀을 갖는 제1나선결합체;
어느 한쪽은 상기 제2핸들몸체의 나선부와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블의 우측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀을 갖는 제2나선결합체;
어느 한쪽은 상기 베이스몸체의 전방에 위치된 고정홈에 삽입되고 다른 한쪽은 베이스몸체의 후방에 위치된 고정홈에 삽입되며, 중앙부는 제2나선결합체의 장홀과 상기 테이블을 경유하고 있는 제2상하이동핀; 및
중앙부는 제1나선결합체의 장홀과 상기 테이블을 경유하고 있으며, 제1핸들몸체의 회전시 제2상하이동핀을 회전중심으로 하는 원주를 그리며 상, 하로 움직이는 제1상하이동핀;을 통해 제1핸들몸체와 제2핸들몸체의 회전 여부에 따라 테이블이 움직이도록 함으로써 크기가 작고 생산원가도 저렴하며, 정밀도가 매우 향상된 스테이지가 되도록 한다.
본 발명의 스테이지는, 제1핸들몸체와 제2핸들몸체 등 테이블을 움직여주기 위한 복수 개의 핸들몸체가 한 방향으로 연장되어 있어 핸들몸체의 방향이 편중되게 설치되어 있으므로 핸들몸체를 움직여주는 것이 용이할 뿐만 아니라 복수 개의 스테이지를 근접시켜 배열하는 것도 용이한 특징이 있다.
또, 제1나선결합체, 제2나선결합체, 제2상하이동핀, 제1상하이동핀을 통해 제1핸들몸체와 제2핸들몸체의 움직임을 테이블에 전달하여 테이블이 움직이도록 구현된 스테이지는 크기가 작고 생산원가도 저렴하며, 정밀도가 매우 높은 특징이 있다.
또, 제1상하이동핀의 양쪽 끝단부가 베이스몸체의 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 되어 있거나 베이스몸체의 내벽에 인접되어 제1나선결합체가 베이스몸체의 전, 후로 흔들리지 않도록 된 경우 높은 정밀도를 얻을 수 있는 특징이 있다.
또, 제1나선결합체나 제2나선결합체는 베이스몸체의 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 되어 있거나 베이스몸체의 내벽에 인접되어 있어 베이스몸체의 전, 후로 흔들리지 않도록 된 경우에도 높은 정밀도를 얻을 수 있는 특징이 있다..
도 1은 종래의 스테이지 이미지
도 2는 본 발명의 스테이지 단면도
도 3은 본 발명의 스테이지 분해 사시도
도 4는 본 발명의 스테이지 사시도
도 5는 도 3에서의 B-B 단면도와 C-C 단면도를 설명하기 위한 개략도
A : B-B 단면도
B : C-C 단면도
도 6은 도 2 내지 도 5와 같은 구조의 스테이지에서 테이블이 베이스몸체의 좌, 우, 전, 후로 움직이는 것을 설명하기 위한 개략도
A : 테이블이 베이스몸체의 좌, 우로 움직이는 것을 설명하기 위한 정면 개략도
B : 테이블이 베이스몸체의 전, 후로 움직이는 것을 설명하기 위한 좌측면 개략도
본 발명의 목적 달성을 위한 스테이지는, 위치나 수평도를 조절하려는 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않으며, 우측 전방과 후방에 상, 하로 연장된 장홀 형태의 고정홈이 형성되어 있는 베이스몸체;
상기 베이스몸체의 상부에 위치되고 각종 물체를 올려놓을 수 있도록 되어 있는 테이블;
상기 베이스몸체에 회전 가능하도록 고정되어 있되 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 고정되어 있고, 길이방향으로 중공이 형성되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제1핸들몸체; 및
상기 제1핸들몸체의 중공에 삽입된 상태로 연장, 설치되어 베이스몸체의 좌, 우로 연장된 형태로 설치되어 있되 회전 가능하도록 설치되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제2핸들몸체;를 포함하여 구성된다.
본 발명을 첨부의 도면을 사용해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
그러나 첨부의 도면은 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 예시를 도시한 것에 불과하므로 본 발명이 첨부된 도면의 형태로 한정되는 것은 아니며, 청구범위를 기재함에 있어서도 첨부된 도면의 형태로 한정하여 기재한 것이 아님을 밝힌다.
본 발명은 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 스테이지에 관한 것이므로 베이스몸체(10), 테이블(20) 및 테이블(20)을 움직이기 위한 복수 개의 핸들몸체(제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40))를 갖는다.
상기 베이스몸체(10)는 위치나 수평도를 조절하려는 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않도록 되어 있다.
테이블(20)은 베이스몸체(10)의 상부에 위치되고 각종 물체를 올려놓을 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 베이스몸체(10)와 테이블(20) 및 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)는 스테이지의 용도나 형태 등에 따라 다양한 형태로 구현 가능하고, 공지기술을 통해 이미 공지된 것이므로 이 부분에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
그런데 본 발명은 복수 개의 핸들몸체를 움직여주는 것이 용이할 뿐만 아니라 스테이지를 복수 개 근접시켜 배열하는 것도 용이한 스테이지를 제공하려는 목적을 갖는다.
이를 위하여 본 발명에서는 복수 개의 핸들몸체(제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40))가 한 방향으로 편중되어 있도록 한다.
즉, 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)가 한 방향으로 편중되어 있기 때문에 복수 개의 스테이지를 근접시키더라도 스테이지와 또 다른 스테이지 사이에 제1핸들몸체(30)나 제2핸들몸체(40) 등의 핸들몸체가 위치되지 않으므로 스테이지와 스테이지가 근접되도록 배치하는 것이 가능한 것이다.
또, 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)가 한 방향에 위치되어 있어 테이블(20)을 움직여줄 때 사용자는 여러 방향으로 손과 눈을 이동시킬 필요가 없으므로 사용이 편리한 것이다.
이러한 본 발명의 스테이지는 도 2 내지 도 3과 같은 형태이다.
즉, 복수 개의 핸들몸체 중 제1핸들몸체(30)는, 베이스몸체(10)에 회전 가능하도록 고정되어 있되 베이스몸체(10)의 좌, 우로 연장된 형태로 고정되어 있고, 길이방향으로 중공(31)이 형성되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있도록 구현되어 있다.
또, 복수 개의 핸들몸체 중 제2핸들몸체(40)는, 제1핸들몸체(30)의 중공(31)에 삽입된 상태로 연장, 설치되어 베이스몸체(10)의 좌, 우로 연장된 형태로 설치되어 있되 회전 가능하도록 설치되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있도록 구현되어 있다.
이러한 구조는 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)가 차지하는 공간이 작고 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)를 각각 회전시키는 것도 용이할 뿐만 아니라 함께 회전시키는 것도 가능한 구조이다.
한편, 본 발명은 핸들몸체를 움직여 주었을 때 테이블(20)이 움직이도록 하기 위한 구조가 간단하여 크기가 작고, 부품수가 적어 생산원가도 저렴하며, 정밀도가 매우 향상된 스테이지를 제공하려는 목적도 가지고 있다.
이를 위하여 본 출원의 발명자는 도 2 내지 도 4와 같은 구조의 스테이지를 안출하였다.
도 2 내지 도 4의 스테이지에 구비된 베이스몸체(10)의 우측 전방과 후방에는 상, 하로 연장된 장홀 형태의 고정홈(11)이 형성되어 있다.
또, 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)는 나선(螺線)이 형성된 나선부(32, 42)를 가지고 있다.
또, 어느 한쪽은 상기 제1핸들몸체(30)의 나선부(32)와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블(20)의 좌측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀(51)을 갖는 제1나선결합체(50)를 가지고 있다.
또, 어느 한쪽은 상기 제2핸들몸체(40)의 나선부(42)와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블(20)의 우측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀(61)을 갖는 제2나선결합체(60)를 가지고 있다.
또, 어느 한쪽은 상기 베이스몸체(10)의 전방에 위치된 고정홈(11)에 삽입되고 다른 한쪽은 베이스몸체(10)의 후방에 위치된 고정홈(11)에 삽입되며, 중앙부는 제2나선결합체(60)의 장홀(61)과 상기 테이블(20)을 경유하고 있는 제2상하이동핀(80)을 가지고 있다.
또, 중앙부는 제1나선결합체(50)의 장홀(51)과 상기 테이블(20)을 경유하고 있으며, 제1핸들몸체(30)의 회전시 제2상하이동핀(80)을 회전중심으로 하는 원주를 그리며 상, 하로 움직이는 제1상하이동핀(70)을 가지고 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 도 2 내지 도 4의 스테이지 작용을 설명하면, 제2핸들몸체(40)를 좌회전시켰을 때 제2핸들몸체(40)와 나선결합되어 있는 제2나선결합체(60)는 베이스몸체(10)의 좌측으로 이동되고, 제2상하이동핀(80)은 고정홈(11)을 따라 상부로 이동되며, 이로 인해 테이블(20)의 우측이 상부로 들리는 형태가 된다.
또, 제1핸들몸체(30)를 좌회전시켰을 때 제1핸들몸체(30)와 나선결합되어 있는 제1나선결합체(50)는 베이스몸체(10)의 좌측으로 이동되고, 제1상하이동핀(70)은 제2상하이동핀(80)을 회전중심으로 하는 원주를 그리며 상부로 움직이는(회전하는) 상태가 되며, 이로 인해 테이블(20)의 좌측이 상부로 들리는 형태가 된다.
제2핸들몸체(40)나 제1핸들몸체(30)를 우회전시켰을 때 제2상하이동핀(80)이 하부로 이동되고 제1상하이동핀(70)은 제2상하이동핀(80)을 회전중심으로 하는 원주를 그리며 하부로 움직이는(회전하는) 상태가 되어 테이블(20)의 우측과 좌측이 각각 하강된다.
따라서 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)가 동시에 동일한 방향으로 회전되면 테이블(20)의 좌, 우측이 상승하거나 하강되고, 제1핸들몸체(30)나 제2핸들몸체(40)의 회전 정도에 따라 테이블(20)의 좌, 우측이 상승과 하강되는 정도에 차이가 발생된다.
그러므로 테이블(20)의 상, 하 이동과 수평 조절을 상기 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)를 사용해서 조절할 수 있다.
전술한 설명에서 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것을 방지하여야 높은 정밀도를 얻을 수 있다.
이를 위하여, 제1상하이동핀(70)의 양쪽 끝단부가 베이스몸체(10)의 안쪽 공간 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 구현할 수 있다.
또, 제1상하이동핀(70)이 베이스몸체(10)의 내벽에 인접되어 있도록 즉, 제1상하이동핀(70)의 끝단부와 베이스몸체(10)의 내벽 사이에 틈새의 크게 발생되지 않도록 하여 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 크게 흔들리는 것을 방지하도록 구현할 수도 있다.
또, 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 구현할 수도 있다.
또, 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 내벽에 인접되어 있어 제1나선결합체(50)의 끝단부와 베이스몸체(10)의 내벽 사이에 틈새의 크게 발생되지 않도록 하여 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 크게 흔들리는 것을 방지하도록 구현할 수도 있다.
상기에서는 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것을 방지하는 구조에 대해서 설명하였다.
그러나 제2나선결합체(60)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것을 방지할 필요성도 있는데 이를 위한 구조는 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것을 방지하는 전술한 구조에서와 같은 방식으로 구현 가능하다.
본 발명에 있어서, 테이블(20)의 전방과 후방을 각각 상, 하로 움직여 줄 수 있는 테이블전후수평조절수단(90)이 더 구비된 형태로 구현할 수 있다.
이러한 테이블전후수평조절수단(90)은 공지의 다양한 형태로 구현 가능하다.
그러나 본 발명의 목적을 고려할 때 도 2 내지 도 4와 같은 형태로 구현하는 것이 바람직하다.
도 2 내지 도 4의 테이블(20)은 상부몸체(21)와 하부몸체(22)로 이루어져 있되 상부몸체(21)의 전방과 후방은 하부몸체(22)와의 연결지점을 중심으로 상, 하 방향으로 회전하도록 되어 있다.
또, 테이블전후수평조절수단(90)은 하부몸체(22)에 고정된 상태에서 상부몸체(21)를 향해 전, 후진되어 상부몸체(21)가 후방으로 기울어지거나 전방으로 기울어지도록 할 수 있는 제3핸들몸체(91)를 가지고 있다.
첨부된 도면에서의 제3핸들몸체(91)는 상부몸체(21)와 연결되어 있지 않아 테이블(20)의 전방과 후방에 대응되어 2개 구비된 형태이지만 제3핸들몸체(91)가 상부몸체(21)와 회전 가능하게 연결되어 있는 경우 등에는 1개의 제3핸들몸체(91)만을 구비할 수도 있다.
본 발명의 스테이지는, 제1핸들몸체(30), 제2핸들몸체(40), 제3핸들몸체(91)의 움직임에 따라 테이블(20)의 기울어진 정도(수평도)와 테이블(20)의 상, 하 이동량을 확인할 수 있는 눈금자(100)가 더 구비된 형태로 구현하는 것이 바람직하다.
이러한 눈금자(100)를 구비하는 기술은 각종 공작기계나 측정기구 등 다양한 산업분야에서 널리 공지된 것이므로 이 부분에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
첨부된 도 2 내지 도 4의 스테이지에서 베이스몸체(10)는 배면형성판(13), 전면형성판(14), 좌측형성판(15a), 우측형성판(15b), 바닥형성판(15c), 고정볼트(1, 16) 등으로 이루어져 있는 구조이다.
또, 테이블(20)은 상부몸체(21), 하부몸체(22), 회전중심축(23), 가이드핀(24), 마운트고정노브(25), 고정볼트(26, 28), 무두볼트(27), 상부몸체를 이루는 마운트브라켓(21a) 및 마운트고정브라켓(21b)으로 이루어진 구조이다.
또, 제1핸들몸체(30)는 나선부(32)가 형성된 회전축(34)과 손잡이(33)로 이루어져 있고, 제2핸들몸체(40)는 나선부(42)가 형성된 회전축(44)과 손잡이(43)로 이루어져 있는 구조이다.
또, 제1나선결합체(50)와 제2나선결합체(60)는 분리, 결합 가능한 나선결합형성체(52, 62)를 통해 제1핸들몸체(30)의 나선부(32)나 제2핸들몸체(40)의 나선부(42)와 나선결합되는 구조이다.
미설명 부호 110은 베어링이고, 120은 부싱이다.
10. 베이스몸체 11. 고정홈
12. 고정볼트 13. 배면형성판
14. 전면형성판 15a. 좌측형성판
15b. 우측형성판 15c. 바닥형성판
16. 고정볼트 20. 테이블
21. 상부몸체 21a. 마운트브라켓
21b. 마운트고정브라켓 22. 하부몸체
23. 회전중심축 24. 가이드핀
25. 마운트고정노브 26. 고정볼트
27. 무두볼트 30. 제1핸들몸체
31. 중공 32. 나선부
33. 손잡이 34. 회전축
40. 제2핸들몸체 42. 나선부
43. 손잡이 44. 회전축
50. 제1나선결합체 51. 장홀
52. 나선결합형성체 60. 제2나선결합체
61. 장홀 62. 나선결합형성체
70. 제1상하이동핀 80. 제2상하이동핀
90. 테이블전후수평조절수단 91. 제3핸들몸체
100. 눈금자 110. 베어링
120. 부싱

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 스테이지에 있어서,
    우측 전방과 후방에는 상, 하로 연장된 장홀 형태의 고정홈(11)이 형성되어 있으며, 위치나 수평도를 조절하려는 물체의 하부에 위치되고 물체의 위치와 수평도를 조절할 때 움직이지 않는 베이스몸체(10);
    상기 베이스몸체(10)의 상부에 위치되고 각종 물체를 올려놓을 수 있도록 되어 있는 테이블(20);
    상기 베이스몸체(10)에 회전 가능하도록 고정되어 있되 베이스몸체(10)의 좌, 우로 연장된 형태로 고정되어 있고, 나선(螺線)이 형성된 나선부(32)를 가지며, 길이방향으로 중공(31)이 형성되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제1핸들몸체(30);
    나선(螺線)이 형성된 나선부(42)를 가지며, 제1핸들몸체(30)의 중공(31)에 삽입된 상태로 연장, 설치되어 베이스몸체(10)의 좌, 우로 연장된 형태로 설치되어 있되 회전 가능하도록 설치되어 있어 회전 여부에 따라 물체의 위치나 수평도를 조절할 수 있는 제2핸들몸체(40);
    어느 한쪽은 상기 제1핸들몸체(30)의 나선부(32)와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블(20)의 좌측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀(51)을 갖는 제1나선결합체(50);
    어느 한쪽은 상기 제2핸들몸체(40)의 나선부(42)와 나선결합되어 있고, 다른 한쪽은 상기 테이블(20)의 우측과 연결되어 있으며, 수평선에 대해 1～89°의 각도를 형성하면서 연장 형성된 장홀(61)을 갖는 제2나선결합체(60);
    어느 한쪽은 상기 베이스몸체(10)의 전방에 위치된 고정홈(11)에 삽입되고 다른 한쪽은 베이스몸체(10)의 후방에 위치된 고정홈(11)에 삽입되며, 중앙부는 제2나선결합체(60)의 장홀(61)과 상기 테이블(20)을 경유하고 있는 제2상하이동핀(80); 및
    중앙부는 제1나선결합체(50)의 장홀(51)과 상기 테이블(20)을 경유하고 있으며, 제1핸들몸체(30)의 회전시 제2상하이동핀(80)을 회전중심으로 하는 원주를 그리며 상, 하로 움직이는 제1상하이동핀(70);을 포함하여 구성된, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1상하이동핀(70)의 양쪽 끝단부가 베이스몸체(10)의 안쪽공간 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 되어 있거나 베이스몸체(10)의 내벽에 인접되어 제1나선결합체(50)가 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것을 방지하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제1나선결합체(50)나 제2나선결합체(60)는 베이스몸체(10)의 내벽에 접촉되어 슬라이딩 이동되도록 되어 있거나 베이스몸체(10)의 내벽에 인접되어 있어 베이스몸체(10)의 전, 후로 흔들리는 것이 방지되도록 된 것을 특징으로 하는, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
  5. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테이블(20)의 전방과 후방을 각각 상, 하로 움직여 줄 수 있는 테이블전후수평조절수단(90)이 더 구비된 것을 특징으로 하는, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 테이블(20)은 상부몸체(21)와 하부몸체(22)로 이루어져 있되 상부몸체(21)의 전방과 후방은 하부몸체(22)와의 연결지점을 중심으로 상, 하 방향으로 회전하도록 되어 있고,
    상기 테이블전후수평조절수단(90)은 하부몸체(22)에 고정된 상태에서 상부몸체(21)를 향해 전, 후진되어 상부몸체(21)가 후방으로 기울어지거나 전방으로 기울어지도록 할 수 있는 제3핸들몸체(91)를 갖는 것을 특징으로 하는, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
  7. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1핸들몸체(30)와 제2핸들몸체(40)의 움직임에 따라 테이블(20)의 기울어진 정도와 테이블(20)의 상, 하 이동량을 확인할 수 있는 눈금자(100)가 더 구비된 것을 특징으로 하는, 핸들몸체의 방향이 편중된 스테이지.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6033685U (ja) * 1983-04-19 1985-03-07 株式会社ニコン 傾角ステージ
US4953840A (en) 1989-09-08 1990-09-04 Kabushiki Kaisha Nishimura Jig Vice jig
US20020129503A1 (en) * 2001-03-19 2002-09-19 Aerotech, Inc. Manually adjusted stage with nanometer digital readout

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