KR101792543B1 - 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 검사 장치는 검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서, 플레이트; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;을 포함하여, X축, Y축 및 Z축 방향으로의 구동이 단일 구동부의 구동에 의해 이동이 가능하여 정밀한 이동 제어가 가능하며, X축, Y축 및 Z축 방향의 각 구동부를 개별적 또는 동시에 제어 가능하여 검사모듈이 검사 위치로 신속하게 이동 가능한 기판 검사 장치가 제공된다.

Description

기판 검사 장치{SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 형성된 각종 구조물 특히 스페이서를 광학적으로 검사하는 검사유닛과, 검사유닛이 결합된 이동모듈의 간격을 최소화하여 기판 검사시 검사유닛의 진동을 최소화시킬 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 소형 전자 또는 기계 부품의 가공과 불량 유무를 판단하기 위하여 고정밀도의 측정 및 이상 유무 검사가 이루어져야 하며, 이러한 측정 및 이상 유무 검사에는 광학을 많이 이용한다.
특히. 컴퓨터, 가전제품 등에 사용되는 반도체 소자 또는 TV 및 휴대폰 등에 사용되는 LCD 및 OLED와 회로 기판 등은 생산 과정 또는 생산 후 출하 전에 반드시 정밀 검사를 거쳐 이상 유무를 판단하게 된다.
이러한 정밀 검사의 방법으로 가장 널리 사용되는 것이 광학을 이용한 방법이며, 이러한 광학을 이용한 검사 방법은 빛의 산란과 빛이 반사되어 나타나는 문양 등의 영상을 컴퓨터를 이용하여 처리함으로써 제품의 이상 유무를 판단하게 된다.
한편, 이러한 광학을 이용한 검사 장치와 검사 방법은 이미 널리 사용되고 있는 방법으로서 도 1에서와 같이 스테이지(100) 상에 측정 대상물(110)의 검사 목적에 따라 그 상부에 검사 장치(120)를 설치하여, 2차원 뿐 아니라 3차원 측정 검사도 가능하고 사용되는 조명의 갯수 및 종류와 사용되는 카메라의 갯수 및 종류를 달리하여 측정 검사의 정확성과 속도를 높혀가고 있다.
도 2는 종래 기판 검사 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 분해사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 종래 기판 검사 장치는 카메라 모듈 등의 검사 장치를 X축, Y축 및 Z축으로 각 이동부에 의해 이동시키도록 구성된다.
X축 이동부(200)는 X축 가이드(210), X축 구동모터(미도시) 및 베이스블럭(220)을 포함하여 구성되며, 베이스블럭(220)은 X축 가이드(210)를 따라 X축 구동모터에 의해 이동가능하도록 설치된다.
Y축 이동부(300)는 Y축 구동부(310), 경사블럭(320) 및 경사가이드(330)를 포함하여 구성된다. 상기 Y축 구동부(310)는 모터와 볼-스크류를 포함하여 베이스블럭(220)의 중앙부에 설치되며, 그 스크류의 축 방향이 베이스블럭(220)의 외측면과 경사지도록 설치되고, 경사블럭(320)의 제2경사부(322)는 Y축 구동부(310)의 스크류 축을 따라 이동하도록 결합된다.
경사블럭(320)은 제1경사부(321)와 제2경사부(322)의 2개로 분할 형성되며, 분할면은 일정 각도로 경사진 경사면으로 형성되고, 그 경사각은 Y축 구동부(310)의 경사각과 동일하게 형성된다.
또한, 제1경사부(321)와 제2경사부(322)의 사이에는 한 쌍의 경사가이드(330)가 개재되어, Y축 구동부(310)의 구동에 의해 제2경사부(322)는 Y축 구동부(310)의 스크류 축을 따라 이동하게 된다.
제1경사부(321)는 베이스블럭(220)에 결합된 Z축 이동부(400)의 수직가이드를 따라 이동하도록 결합되고, 제2가이드의 외측에는 카메라 모듈 등의 검사 장치가 결합된다.
Z축 이동부(400)는 Z축 구동부(410)와 수직가이드(420)를 포함하여 구성된다. Z축 구동부(410)는 모터와 볼-스크류를 포함하여 베이스블럭(220)에 결합고정되며, 그 스크류 축이 경사블럭(320)의 측부에 나란하게 위치하도록 설치되고, 스크류 축에는 제2경사부(322)가 스크류 축의 회전에 따라 이동하도록 결합된다.
수직가이드(420)는 한 쌍으로 마련되어 Y축 구동부(310)의 양측에 각각 배치되며, 제2경사부(322)와 베이스블럭(220)의 사이에 개재된다.
또한, 제2경사부(322)는 수직가이드(420)의 개재하에 베이스블럭(220)에 결합된다. 아울러, 기판을 검사하는 검사모듈은 제2경사부(322)의 외측에 결합된다.
상기와 같은 종래 기판 검사 장치를 이용하여 Y축으로 검사모듈(500)을 이동하기 위해, 도 4와 같이 Y축 구동부(310)의 구동에 의해 제2경사부(322)가 제1경사부(321)에 대해 경사진 방향으로 이동하면, 검사모듈은 좌하향 대각선 방향으로 이동하게 된다. 즉, Y축 방향 뿐만 아니라 Z축 방향으로의 이동도 같이 병행하게 된다. 이로 인해, 기판과 매우 근접한 상황에서 Y축 방향으로의 이동을 위해 Y축 구동부(310)를 구동하는 경우, 기판과 검사모듈이 충돌하는 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 이를 보정하기 위하여, 도 5에서와 같이, Z축 구동부(410)의 구동에 의해 Z축 방향으로 제1경사부(321)를 상향으로 이동시킴으로써 기판과의 충돌을 회피할 수 있다.
결과적으로, 상술한 바와 같은 종래 기판 검사 장치를 이용하면, Y축 단일 방향으로의 이동을 위하여, 2개의 구동부를 동시에 구동해야 함으로써 검사모듈의 정밀한 이동 제어에 어려움이 있었다.
공개실용신안 제2008-0006520호 웨이퍼 3축 정밀이송스테이지
본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, X축, Y축 및 Z축 방향으로의 구동이 단일 구동부의 구동에 의해 이동이 가능하여 정밀한 이동 제어가 가능한 기판 검사 장치를 제공함에 있다.
또한, X축, Y축 및 Z축 방향의 각 구동부를 개별적 또는 동시에 제어 가능하여 검사모듈이 검사 위치로 신속하게 이동 가능한 기판 검사 장치를 제공함에 있다.
상기 과제는, 본 발명에 따라, 검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서, 플레이트; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;을 포함하는 기판 검사 장치에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 플레이트에 결합되며, 중앙부를 중심으로 양측 가장자리 방향으로 하향 경사진 제1경사면과 제2경사면이 형성된 베이스블럭을 포함하는 베이스모듈;을 더 포함하고, 상기 제1이동모듈은, 모터와, 상기 베이스블럭의 중앙부에 축방향이 Z축 방향으로 위치하도록 배치되는 스크류와, 상기 스크류의 회전에 따라 이동하며 서로 가까워지도록 이동하거나 서로 멀어지도록 이동하는 제1이동부재 및 제2이동부재를 포함하는 제1구동부; 일 측은 상기 제1이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제1경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제1경사부; 및, 일 측은 상기 제2이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제2경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제2경사부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1구동부의 스크류는, 상기 모터에 의해 회전하도록 설치되는 제1스크류; 상기 제1스크류와 동일한 축방향을 가지도록 연결되는 제2스크류; 및, 상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 사이에 개재되어 상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 회전방향이 서로 반대방향이 되도록 회전방향을 변환하는 회전변환부재;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1이동모듈은, 상기 제1경사부와 상기 베이스블럭의 제1경사면 사이에 개재되는 제1경사가이드; 및, 상기 제2경사부와 상기 베이스블럭의 제2경사면 사이에 개재되는 제2경사가이드;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스블럭의 제1경사면과 제2경사면은 동일한 경사각을 갖도록 형성되며, 상기 제1경사부 및 상기 제2경사부는 상기 베이스블럭의 각 경사면과 마주보는 면이 마주보는 베이스블럭의 경사면과 대응되는 경사각을 갖도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 제2이동모듈은, 상기 제1경사부 및 상기 제2경사부의 외측면에 결합되어 상기 제1구동부의 구동에 따라 Y축 방향으로 이동하는 수직이동블럭; 상기 플레이트에 설치되며, 상기 수직이동블럭의 일 측과 결합되어 상기 수직이동블럭을 Z축 방향으로 이동시키는 제2구동부; 및, 상기 제2구동부와 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되어 상기 수직이동블럭의 Y축 방향 이동시 상기 제2구동부로터 슬라이딩 이동하면서 Y축 방향으로 이동하게 하는 y가이드;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2이동모듈은, 상기 제1경사부의 외측면과 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되는 제1수직가이드; 및, 상기 제2경사부의 외측면과 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되는 제2수직가이드;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 플레이트는 X축 방향으로 이동가능하도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 검사유닛은 기판의 스페이서 높이를 측정하기 위한 영상을 획득하는 카메라일 수 있다.
본 발명에 따르면, X축, Y축 및 Z축 방향으로의 구동이 단일 구동부의 구동에 의해 이동이 가능하여 정밀한 이동 제어가 가능한 기판 검사 장치가 제공된다.
또한, X축, Y축 및 Z축 방향의 각 구동부를 개별적 또는 동시에 제어 가능하여 검사모듈이 검사 위치로 신속하게 이동 가능한 기판 검사 장치가 제공된다.
도 1은 종래 기판 검사 장치의 개략도이고,
도 2는 종래 기판 검사 장치의 사시도이고,
도 3은 도 1의 분해사시도,
도 4 및 도 5는 도 1의 작동상태도,
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치의 사시도,
도 7은 도 6의 분해사시도,
도 8은 도 7의 제1이동모듈의 분해사시도,
도 9는 도 8의 결합된 상태의 부분단면도,
도 10은 도 8의 부분 분해사시도
도 11은 도 10의 y가이드의 분해사시도,
도 12는 y가이드를 통한 작동상태도,
도 13 내지 도 16은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치의 작동상태도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치의 사시도이고, 도 7은 도 6의 분해사시도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치는 베이스모듈(1), 제1이동모듈(2), 제2이동모듈(3) 및 검사모듈(4)을 포함하여 구성된다.
상기 베이스모듈(1)은 플레이트(10)와 베이스블럭(11)을 포함하여 구성된다. 상기 플레이트(10)는 X축 가이드(a)를 따라 이동가능하도록 결합된다.
상기 베이스블럭(11)은 중앙부를 중심으로 양측 가장자리 방향으로 하향 경사진 경사진 제1경사면(111)과 제2경사면(112)이 형성되어, 상기 플레이트(10)에 결합된다.
상기 제1경사면(111)과 상기 제2경사면(112)의 경사각은 동일한 각도로 형성된다. 또한, 제1경사면(111)과 제2경사면(112) 각각에는 양측 가장자리에 각각 제1가이드레일(111a)과 제2가이드레일(112a)이 한 쌍씩 상호 이격되어 설치된다.
또한, 베이스블럭(11)의 중앙부에는 후술할 제1이동모듈(2)의 제1구동부(20)의 스크류(201)가 위치하는 홈(11a)이 형성된다.
도 8은 도 7의 제1이동모듈의 분해사시도, 도 9는 도 8의 결합된 상태의 부분단면도이다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 제1이동모듈(2)은 제1구동부(20), 제1경사부(21) 및 제2경사부(22)를 포함하여 구성된다.
상기 제1구동부(20)는 모터(200)와, 스크류(201) 및 스크류(201)의 축방향을 따라 이동하는 제1이동부재(202)와 제2이동부재(203)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 스크류(201)는 제1스크류인 상부스크류(201a), 상부스크류(201a)와 연결되는 제2스크류인 하부스크류(201b) 및 방향변환부재(201c)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 방향변환부재(201c)는 상부스크류(201a)와 하부스크류(201b) 사이에 개재되어 상부스크류(201a)의 회전방향과 반대방향으로 하부스크류(201b)이 회전하도록 회전방향을 변환한다.
상기 제1이동부재(202)는 볼-스크류 장치에서 스크류의 축방향을 따라 이동하는 너트와 같은 구성으로서, 상부스크류(201a)에 결합되어 축방향을 따라 이동한다. 상기 제2이동부재(203)도 제1이동부재와 같은 구성으로서, 상기 하부스크류(201b)에 결합되어 축방향을 따라 이동한다.
상기 제1경사부(21)와 상기 제2경사부(22)는 동일한 구성으로 마련되어 베이스블럭(11)의 제1경사면(111)에는 제1경사부(21)가 결합되고, 제2경사면(112)에는 제2경사부(22)가 결합된다.
제1경사부(21)와 제2경사부(22)의 구성은 동일하므로 제1경사부(21)에 대해서만 상세하게 설명하고 제2경사부(22)에 대한 설명은 생략한다.
상기 제1경사부(21)는 본체(211), 좌편(212), 우편(213) 및 결합편(214)을 포함하여 구성된다. 상기 본체(211)는 플레이트 형상으로 마련되며, 좌측 및 우측에 각각 좌편(212)과 우편(213)이 결합된다.
상기 결합편(214)은, 하측면은 본체(211)의 상측에 결합되며, 상측면은 제1구동부(20)의 제1이동부재(202)에 결합된다.
상기 결합편(214)에는 판면에 스크류 축이 내입되는 안내홈(214a)이 형성된다. 여기서, 안내홈(214a)은 스크류 축(201)이 위치하는 부분으로서, 본체(211)가 Y축 방향으로 이동시, 스크류 축(201)이 안내홈(214a) 내측에 위치하면서 본체(211)가 맞닿지 않을 수 있는 길이를 가지도록 형성된다.
본 실시예에서는 본체(211), 좌편(212), 우편(213) 및 결합편(214)이 별도로 구성되어 있으나, 일체로 형성하고, 안내홈(214a)의 크기를 제1경사부(21)가 제1경사면(111)을 따라 가장 하측에 위치하는 위치까지 이동했을 때 스크류 축(201)과 맞닿지 않도록 형성할 수도 있다.
상기 좌편(212)과 우편(213)은 각각 제1경사면(111)과 맞닿는 부분은 제1경사면(111)의 경사각과 엇각을 이루는 경사각을 갖도록 형성되고, 제1경사면(111)과 맞닿는 부분의 반대면인 외측면은 Z축 방향과 평행한 면을 가지도록 형성된다.
또한, 제1경사면(111)과 맞닿는 부분에는 제1경사면(111)에 이격설치되는 한 쌍의 제1가이드레일(111a)과 각각 결합되는 한 쌍의 가이드부재(23)가 설치된다.
이때, 제1경사면(111)의 외측면에는 후술할 제2이동모듈(3)의 제1수직가이드 부재(32)와 결합되는 한 쌍의 가이드레일(24)이 이격설치된다(도 10 참조).
이때, 제1경사부(21)와 제2경사부(22)에 각각 설치되는 한 쌍의 가이드레일(24)은 Z축 방향으로 평행하게 위치하도록 설치되어, 한 쌍의 가이드레일(24)을 따라 이동하도록 결합되는 제2이동모듈(3)의 Z축 방향으로의 이동을 가이드하게 된다.
상기와 같이 제1경사부(21)는 제1이동부재(202)에 결합되고, 제2경사부(22)는 제2이동부재(203)에 결합되어, 제1구동부(20)의 모터(200)의 구동에 따라 제1경사부(21)는 상부축(201a)의 회전에 연동하여 이동하게 되며, 제2경사부(23)는 하부축(201b)의 회전에 연동하여 이동하게 된다.
이때, 제1경사부(21)와 제2경사부(23)의 이동방향은 방향변환부재(201c)에 의해 서로 반대방향으로 회전하는 상부축(201a)과 하부축(201b)에 의해 서로 가까워지는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 동시에 이동할 수 있다.
도 10은 도 8의 부분 분해사시도이다. 도 10을 참조하면, 상기 제2이동모듈(3)은 제2구동부(30)와 수직이동블럭(31)을 포함하여 베이스블럭(10)에 결합된다.
상기 제2구동부(30)는 제1구동부(20)와 같은 모터(300)와 스크류 축(301) 및 스크류 축(301)을 따라 이동하는 연동부재(302)를 포함하여 구성된다.
상기 제2구동부(30)는 제1이동모듈(2)의 측부에 스크류 축(301)이 Z축 방향으로 위치하도록 플레이트(10)에 설치된다.
상기 수직이동블럭(31)은 판면이 제1경사부(21)와 제2경사부(22)와 마주보도록 배치된다.
수직이동블럭(31)의 Y축 방향 외측면에는 기판을 검사하도록 영상을 획득하는 카메라 등의 검사모듈(4)이 결합설치된다.
상기 검사모듈(4)은 기판의 스페이서 높이를 측정하기 위한 영상을 획득하는 카메라 등 일 수 있다.
수직이동블럭(31) 중 제1경사부(21)와 마주보는 면에는 상호 이격된 제1수직가이드부재(32)와 제2수직가이드부재(33)가 설치되어, 제1경사부(21) 및 제2경사부(23)의 외측면에 각각 설치된 가이드레일(24)과 결합된다.
상기 가이드레일(24) 및 각 수직가이드부재의 결합을 통해 수직이동블럭(31)은 제1경사부(21) 및 제2경사부(23)의 외측면을 따라서 이동하게 된다.
한편, 연동부재(302)와 수직이동블럭(31)은 y가이드(35)의 개재하에 상호 결합된다. 도 11은 도 10의 y가이드의 분해사시도이다. 도 11을 참조하면, 제1블럭(351), 제2블럭(352) 및 한 쌍의 슬라이딩 가이드(353)를 포함하여 구성된다.
상기 제1블럭(351)은 연동부재(302)와 결합되며, 단부에는 돌출단(351a)이 형성된다. 상기 제2블럭(352)은 수직이동블럭(31)에 결합되며, 그 내측에는 돌출단(351a)와 한 쌍의 슬라이딩 가이드(353)가 수용되는 수용홈(352a)이 형성된다.
상기 한 쌍의 슬라이딩 가이드(353)는 돌출단(351a)의 양측에 각각 위치한다. 각 슬라이딩 가이드(353)는 길이방향을 따라 슬롯(353a')이 형성되는 제1가이드(353a)와, 상기 슬롯(353a')에 삽입되는 리브(353b')가 길이방향을 따라 형성되는 제2가이드(353b)를 포함하여 구성된다.
상기 제1가이드(353a)는 제1블럭(351)의 돌출단(351a) 양측에 결합되고, 상기 제2가이드(353b)는 제2블럭(352)의 수용홈(352a) 내측 벽면에 결합된다.
이를 통해, 도 12에서와 같이, 수직이동블럭(31)은 제1구동부(20)의 구동에 의해 제1경사부(21) 및 제2경사부(22)가 Y축 방향으로 이동하더라도 y가이드(35)에 의해 Y축 방향을 따라 이동할 수 있다.
결과적으로, 수직이동블럭(31)은 제1구동부(20)의 구동에 의해 Y축 방향으로만 이동 가능하며, 제2구동부(30)에 의해 Z축 방향으로만 이동이 가능할 수 있다.
다음으로, 상술한 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치의 작동상태에 대해서 설명한다. 도 13 및 도 16은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 검사 장치의 작동상태도이다.
검사모듈의 Y축 방향으로의 이동
도 13의 상태에서 제1구동부(20)의 모터(200)가 구동하면, 스크류 축(201)의 상부축(201a)과 하부축(201b)이 서로 반대방향으로 회전하여 제1이동부재(202)와 제2이동부재(203)가 서로 가까워지도록 이동한다.
이와 동시에, 도 14에서와 같이, 제1이동부재(202)에 결합된 제1경사부(21)와 제2이동부재에 결합된 제2경사부(22)는 제1경사면(111)과 제2경사면(112)을 각각 따라 이동하게 된다.
즉, 제1경사면(111)과 제2경사면(112)을 따라서 상호 가까워지도록 이동하는 각 경사부에 의해서 검사모듈(4)은 Y축 방향으로 이동하게 된다.
이때, 도시하지는 않았으나, 수직이동블럭(31)은 y가이드(35)의 슬라이딩 이동에 따라 Y축 방향으로 이동된다.
Y축 반대방향으로의 이동도 같은 원리로, 제1경사면(111)과 제2경사면(112)을 따라서 상호 멀어지도록 이동하는 각 경사부에 의해서 검사모듈(4)은 상기 Y축 방향과 반대방향으로 이동하게 된다.
검사모듈의 Z축 방향으로의 이동
도 11의 상태에서 제2구동부(30)의 모터(300)가 구동하면, 스크류 축(301)의 회전에 따라 도 13에서와 같이 수직이동블럭(31)은 Z축 방향으로 이동하게 된다.
설명하고 있는 바는 수직이동블럭(31)이 Z축 방향 중 상향으로 이동하는 경우에 대한 것이고, 스크류 축(301)의 회전이 반대방향인 경우에는 수직이동블럭(31)이 하향으로 이동하도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 단일 구동부에 의해 Y축 방향 및 Z축 방향으로의 이동이 가능하여 정밀한 위치 제어가 가능할 수 있다.
또한, 검사모듈(4)이 기판과 매우 근접해 있는 경우에 Y축 방향으로의 이동시에도 Y축 방향으로 이동시키는 제1구동부(20)만을 구동해서 이동이 가능하여 종래와 비교하여 제어가 간편해질 수 있다.
검사모듈의 Y축 및 Z축 방향으로의 동시 이동
도 12에서와 같이 Y축 방향으로 이동을 함과 동시에 도 13에서와 같이 Z축 방향으로 동시에 이동하도록 하여 검사모듈을 대각선 방향으로 이동하도록 할 수 있다. 도 14에서는 좌상향 대각선방향으로 이동하는 것을 도시하고 있다.
즉, 도 14에서와 같이 Y축 방향으로의 구동과 Z축 방향으로의 구동을 동시에 실시하여 실질적으로 검사모듈(4)이 대각선 방향으로 이동하도록 할 수 있어, 위치 이동에 따른 이동시간을 최소화할 수 있다.
아울러, Y축 방향 구동과 Z축 방향 구동이 개별적 또는 동시에 구동이 가능하여 검사모듈(4)이 검사 위치로 신속하게 이동 가능할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
1 : 베이스모듈 10 : 플레이트
11 : 베이스블럭 111 : 제1경사면
112 : 제2경사면 113 : 홈
2 : 제1이동모듈 20 : 제1구동부
200 : 모터 201 : 스크류 축
201a : 상부축 201b : 하부축
201c : 방향변환부재 202 : 제1이동부재
203 : 제2이동부재 21 : 제1경사부
211 : 본체 212 : 좌편
213 : 우편 214 : 결합편
214a : 안내홈 22 : 제2경사부
23 : 가이드부재 24 : 가이드레일
3 : 제2이동모듈 30 : 제2구동부
300 : 모터 301 : 스크류 축
302 : 연동부재 31 : 수직이동블럭
32 : 제1수직가이드부재 33 : 제2수직가이드부재
35 : y가이드 351 : 제1블럭
351a : 돌출단 352 : 제2블럭
352a : 수용홈 353 : 슬라이딩 가이드
353a : 제1가이드 353a' : 슬롯
353b : 제2가이드 353b' : 리브
4 : 검사모듈

Claims (9)

  1. 검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서,
    플레이트;
    상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈;
    상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;
    상기 플레이트에 결합되며, 중앙부를 중심으로 양측 가장자리 방향으로 하향 경사진 제1경사면과 제2경사면이 형성된 베이스블럭을 포함하는 베이스모듈을 포함하며,
    상기 제1이동모듈은,
    모터와, 상기 베이스블럭의 중앙부에 축방향이 Z축 방향으로 위치하도록 배치되는 스크류와, 상기 스크류의 회전에 따라 이동하며 서로 가까워지도록 이동하거나 서로 멀어지도록 이동하는 제1이동부재 및 제2이동부재를 포함하는 제1구동부;
    일 측은 상기 제1이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제1경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제1경사부; 및,
    일 측은 상기 제2이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제2경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제2경사부를 포함하며,
    상기 제1구동부의 스크류는,
    상기 모터에 의해 회전하도록 설치되는 제1스크류;
    상기 제1스크류와 동일한 축방향을 가지도록 연결되는 제2스크류; 및,
    상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 사이에 개재되어 상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 회전방향이 서로 반대방향이 되도록 회전방향을 변환하는 방향변환부재를 포함하는 기판 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1이동모듈은,
    상기 제1경사부와 상기 베이스블럭의 제1경사면 사이에 개재되는 제1경사가이드; 및,
    상기 제2경사부와 상기 베이스블럭의 제2경사면 사이에 개재되는 제2경사가이드;를 더 포함하는 기판 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 베이스블럭의 제1경사면과 제2경사면은 동일한 경사각을 갖도록 형성되며, 상기 제1경사부 및 상기 제2경사부는 상기 베이스블럭의 각 경사면과 마주보는 면이 마주보는 베이스블럭의 경사면과 대응되는 경사각을 갖도록 형성되는 기판 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2이동모듈은,
    상기 제1경사부 및 상기 제2경사부의 외측면에 결합되어 상기 제1구동부의 구동에 따라 Y축 방향으로 이동하는 수직이동블럭;
    상기 플레이트에 설치되며, 상기 수직이동블럭의 일 측과 결합되어 상기 수직이동블럭을 Z축 방향으로 이동시키는 제2구동부; 및,
    상기 제2구동부와 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되어 상기 수직이동블럭의 Y축 방향 이동시 상기 제2구동부로부터 슬라이딩 이동하면서 Y축 방향으로 이동하게 하는 y가이드;를 포함하는 기판 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2이동모듈은,
    상기 제1경사부의 외측면과 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되는 제1수직가이드; 및,
    상기 제2경사부의 외측면과 상기 수직이동블럭의 사이에 개재되는 제2수직가이드;를 더 포함하는 기판 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트는 X축 방향으로 이동가능하도록 마련되는 기판 검사 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 검사모듈은 기판의 스페이서 높이를 측정하기 위한 영상을 획득하는 카메라인 기판 검사 장치.
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