JP6442831B2 - テーブル装置、及び搬送装置 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るテーブル装置100の一例を示す正面図である。図2は、図1のテーブル装置100を+Z側から見た平面図である。図3は、図1のテーブル装置100を−X側から見た側面図である。図4は、図1のテーブル装置100を+X側から見た側面図である。図5は、図1の一部を拡大した図である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
2 第2部材
4 ガイド装置
5 ガイド装置
6 支持部材
7 アクチュエータ
8 ベース部材
9 ガイド装置
10 テーブル
10P 部分
10R 部分
11 動力伝達装置
41 レール
42 スライダ
51 レール
52 スライダ
91 レール
92 スライダ
100 テーブル装置
200 半導体製造装置
300 搬送装置
400 検査装置
Claims (7)
- 所定面内において移動可能な第1部材と、
前記第1部材に対して相対移動可能な第2部材と、
少なくとも一部が前記第1部材に配置され、前記第1部材の移動により前記所定面と直交する第1軸と平行な方向に前記第2部材が移動するように前記第2部材をガイドする第1ガイド装置と、
前記第2部材に支持される第1部分を有するテーブルと、
前記第1部分を囲むように配置される前記テーブルの複数の第2部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、前記第1軸と平行な方向に前記テーブルが移動するように前記テーブルをガイドする複数の第2ガイド装置と、
前記第1部材が前記所定面内の第2軸と平行な方向に移動するように動力を発生するアクチュエータと、
前記第2軸と平行な方向に前記第1部材をガイドする第3ガイド装置と、
を備え、
前記第1ガイド装置は、前記第1部材の斜面及び前記第2部材の斜面に設けられ、第1レールと、前記第1レールと相対移動可能な第1スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第1スライダは、前記第1レールの延在方向に沿って直列に2つ以上配置されており、
前記第3ガイド装置は、第3レールと、前記第3レールと相対移動可能な第3スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第1部材に対し前記第2部材の反対側に設けられたベース部材を有し、
前記第3レールは、前記第1部材に配置され、前記第3スライダは、前記ベース部材に固定され、
前記第3スライダは、前記第3レールの延在方向に沿って直列に2つ配置されており、
直列に配置された2つの前記第3スライダのうち、一方の前記第3スライダの前記第2軸と平行な方向での位置は、直列に配置された2つの前記第1スライダのうち、一方の前記第1スライダの前記第2軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第3スライダの前記第2軸と平行な方向での位置は、他方の前記第1スライダの前記第2軸と平行な方向での位置と重なって設けられている、テーブル装置。 - 前記第1部分は、前記所定面内において前記テーブルの中央部を含み、
前記第2部分は、前記所定面内において前記テーブルの周縁部に配置され、
前記第2ガイド装置は、第2レールと、前記第2レールと相対移動可能な第2スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第2スライダは、前記第2レールの延在方向に沿って直列に2つ以上配置されている、請求項1に記載のテーブル装置。 - 前記所定面内において前記テーブルは矩形状であり、
前記第2ガイド装置は、前記テーブルの4つのコーナーのそれぞれに接続される請求項1又は請求項2に記載のテーブル装置。 - 前記第1部分は、前記テーブルの重心を含み、
前記第1部分と前記コーナーに規定される複数の前記第2部分のそれぞれとの距離は、等しい請求項3に記載のテーブル装置。 - 前記第1部材に対し前記第2部材の反対側に設けられたベース部材と、前記ベース部材に固定された支持部材と、を有し、
直列に配置された2つの前記第2スライダは前記支持部材に固定され、
直列に配置された2つの前記第2スライダのうち、一方の前記第2スライダの前記第1軸と平行な方向での位置は、前記第1部材の斜面の下端部の、前記第1軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第2スライダの前記第1軸と平行な方向での位置は、前記第1部材の斜面の上端部の、前記第1軸と平行な方向での位置と重なって設けられる請求項2に記載のテーブル装置。 - 所定面内において移動可能な第1部材と、
前記第1部材に対して相対移動可能な第2部材と、
少なくとも一部が前記第1部材に配置され、前記第1部材の移動により前記所定面と直交する第1軸と平行な方向に前記第2部材が移動するように前記第2部材をガイドする第1ガイド装置と、
前記第2部材に支持される第1部分を有するテーブルと、
前記第1部分を囲むように配置される前記テーブルの複数の第2部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、前記第1軸と平行な方向に前記テーブルが移動するように前記テーブルをガイドする複数の第2ガイド装置と、
を備え、
前記第1ガイド装置は、前記第1部材の斜面及び前記第2部材の斜面に設けられ、第1レールと、前記第1レールと相対移動可能な第1スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第1スライダは、前記第1レールの延在方向に沿って直列に2つ以上配置されており、
前記第1部分は、前記所定面内において前記テーブルの中央部を含み、
前記第2部分は、前記所定面内において前記テーブルの周縁部に配置され、
前記第2ガイド装置は、第2レールと、前記第2レールと相対移動可能な第2スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第2スライダは、前記第2レールの延在方向に沿って直列に2つ以上配置され、
前記第1部材に対し前記第2部材の反対側に設けられたベース部材と、前記ベース部材に固定された支持部材と、を有し、
直列に配置された2つの前記第2スライダは前記支持部材に固定され、
直列に配置された2つの前記第2スライダのうち、一方の前記第2スライダの前記第1軸と平行な方向での位置は、前記第1部材の斜面の下端部の、前記第1軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第2スライダの前記第1軸と平行な方向での位置は、前記第1部材の斜面の上端部の、前記第1軸と平行な方向での位置と重なって設けられるテーブル装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える搬送装置。
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