JP6323069B2 - テーブル装置、測定装置、及び工作機械 - Google Patents
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Description
イド機構及び第2ガイド機構)で第1テーブルを安定してガイドでき、第2ガイド装置は、一対のガイド機構(第3ガイド機構及び第4ガイド機構)で第2テーブルを安定してガイドできる。また、第2軸方向に関して、第1ガイド機構、第2ガイド機構、第3ガイド機構、及び第4ガイド機構が配置されることにより、第1ガイド装置の構造と第2ガイド装置の構造とを実質的に等しくすることができる。これにより、第1テーブル及び第2テーブルのそれぞれを等しい移動精度で移動させることができる。
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るテーブル装置100を+Z側から見た平面図である。図2は、本実施形態に係るテーブル装置100を−Y側から見た側面図である。図3は、本実施形態に係るテーブル装置100を+X側から見た側面図である。
とガイド機構401のレール42との距離D3と、ガイド機構302のレール32とガイド機構402のレール42との距離D4とは、等しい。ガイド機構401のレール42とガイド機構302のレール32との距離D5は、距離D3及び距離D4よりも大きい。
じ軸541がθX方向に回転することにより、ナット542及びそのナット542が接続されている第1テーブル1がX軸方向に移動(直線移動)する。
置されている。本実施形態において、第1テーブル1及びスライダ31は、スライダ41及びレール42を含む第2ガイド装置4と接触しないように移動可能である。第2テーブル2及びスライダ41は、スライダ31及びレール32を含む第1ガイド装置3と接触しないように移動可能である。
02がY軸方向に配置されることにより、第1テーブル1は、一対のガイド機構301及びガイド機構302によって安定してガイドされる。第2テーブル2は、一対のガイド機構401及びガイド機構402によって安定してガイドされる。また、第1ガイド装置3の構造と第2ガイド装置4の構造とは実質的に等しい。これにより、第1テーブル1及び第2テーブル2のそれぞれは、等しい移動精度で移動可能である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
ニアモータ55がムービングコイル型のリニアモータでもよい。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
図である。測定装置700は、半導体製造装置500によって製造された物体(半導体デバイス)S2を測定する。測定装置700は、物体S2を搬送可能な搬送装置600Bを含む。搬送装置600Bは、本実施形態に係るテーブル装置100を含む。
1A 上面
1B 下面
2 第2テーブル
2A 上面
2B 下面
3 第1ガイド装置
4 第2ガイド装置
5 駆動システム
31 スライダ
32 レール
41 スライダ
42 レール
60 検出システム
61 エンコーダヘッド
62 エンコーダヘッド
63 リニアスケール
100 テーブル装置
301 ガイド機構
302 ガイド機構
401 ガイド機構
402 ガイド機構
500 半導体製造装置
600 搬送装置
700 測定装置
800 工作機械
Claims (10)
- 第1上面を有する第1テーブルと、
前記第1上面に垂直な方向から見た場合に、前記第1テーブルと第1方向に隣り合って配置され、第2上面を有する第2テーブルと、
前記第1テーブルを前記第1方向にガイドする第1ガイド装置と、
前記第2テーブルを前記第1方向にガイドする第2ガイド装置と、を備え、
前記第1テーブルの前記第1上面と、前記第2テーブルの前記第2上面とは同一平面内に並んでおり、
前記第1ガイド装置と前記第2ガイド装置とは、前記第1方向と直交し、かつ前記第1上面と平行な第2方向に並んで少なくとも一部が同一平面内に配置されるテーブル装置。 - 前記第1ガイド装置は、前記第1テーブルの前記第2方向の一端部を支持する第1ガイド機構と、前記第1テーブルの前記第2方向の他端部を支持する第2ガイド機構と、を含み、
前記第2ガイド装置は、前記第2テーブルの前記第2方向の一端部を支持する第3ガイド機構と、前記第2テーブルの前記第2方向の他端部を支持する第4ガイド機構と、を含み、
前記第2方向において、前記第1ガイド機構、前記第3ガイド機構、前記第2ガイド機構、前記第4ガイド機構の順に配置される請求項1に記載のテーブル装置。 - 前記第1テーブルと前記第2テーブルとは、前記第1方向に隣り合う前記第1上面の一側の端部と前記第2上面の他側の端部とが接近又は接触するように移動される請求項1又は請求項2に記載のテーブル装置。
- 前記第1ガイド装置は、前記第1テーブルの第1下面に接続される第1スライダと、前記第1スライダが移動する第1レールと、を有し、
前記第2ガイド装置は、前記第2テーブルの第2下面に接続される第2スライダと、前記第2スライダが移動する第2レールと、を有し、
前記第1レールと前記第2レールとは、前記第2方向に平行に配置され、
前記第1スライダと前記第2スライダとは、前記第1スライダと前記第2スライダの少なくとも一部とが前記第2方向に配置されるように前記第1方向に相対移動可能である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のテーブル装置。 - 前記第1スライダと前記第2スライダの少なくとも一部とが前記第2方向に配置された状態において、前記第1スライダと前記第2スライダとは離れている請求項4に記載のテーブル装置。
- 前記第1テーブルの前記第1方向の寸法は前記第1スライダの前記第1方向の寸法よりも小さく、前記第2テーブルの前記第1方向の寸法は前記第2スライダの前記第1方向の寸法よりも小さい請求項4又は請求項5に記載のテーブル装置。
- 前記第1スライダ及び前記第2スライダはそれぞれ、直動型軸受を含む請求項4から請求項6のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 前記第1レール及び前記第2レールと平行に配置されるリニアスケールと、
前記第1テーブルに配置され、前記リニアスケールを検出可能な第1エンコーダヘッドと、
前記第2テーブルに配置され、前記リニアスケールを検出可能な第2エンコーダヘッドと、
前記第1エンコーダヘッドの検出値及び前記第2エンコーダヘッドの検出値に基づいて、前記第1テーブル及び前記第2テーブルの少なくとも一方を前記第1方向に移動する
駆動システムと、を備える請求項4から請求項7のいずれか一項に記載のテーブル装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える測定装置。
- 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える工作機械。
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