JP2008178960A - スライドテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のスライドテーブル装置からサイズを大幅に大きくすることなく、複数のステージを移動させることが可能な多軸スライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】スライドテーブル装置10は、複数のテーブルとしてのステージ3a〜3dとリニアガイド2a、2bと駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよびボールねじである駆動軸1a〜1d)とを備える。リニアガイド2a、2bは、複数のステージ3a〜3dが同一の移動軸に沿って移動するように、複数のステージ3a〜3dを案内する。駆動部材は、複数のステージ3a〜3dを移動させる。
【選択図】図1
【解決手段】スライドテーブル装置10は、複数のテーブルとしてのステージ3a〜3dとリニアガイド2a、2bと駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよびボールねじである駆動軸1a〜1d)とを備える。リニアガイド2a、2bは、複数のステージ3a〜3dが同一の移動軸に沿って移動するように、複数のステージ3a〜3dを案内する。駆動部材は、複数のステージ3a〜3dを移動させる。
【選択図】図1
Description
この発明は、スライドテーブル装置に関し、より特定的には、複数のテーブルを有するスライドテーブル装置に関する。
従来、ステージを直線運動させるスライドテーブル装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。図4は、従来のスライドテーブル装置を示す平面模式図である。図4を参照して、従来のスライドテーブル装置を説明する。
図4を参照して、従来のスライドテーブル装置110は、ベース104と、ベース104上に平行に配置された2本のリニアガイド102と、リニアガイド102に接続されるとともにリニアガイド102に沿って移動可能なテーブルとしてのステージ103と、ステージ103を駆動するための駆動軸101と、駆動軸101にカップリング106を介して接続されたモータ105とを備える。駆動軸101としてはたとえばボールねじを用いることができる。駆動軸101はリニアガイド102と平行に配置され、駆動軸101をモータ105によって回転させることでステージ103をリニアガイド102の延在方向において移動させる。
特開2006−29385号公報
上述したスライドテーブル装置110を用いて、たとえば複数のステージを平行な方向に移動可能に配置したスライドテーブル装置(多軸スライドテーブル装置)を実現する場合、図5に示すようにスライドテーブル装置110を並列に配置して構成することが考えられる。図5は、図4に示したスライドテーブル装置110を並列に配置して構成された多軸スライドテーブル装置を示す模式図である。図5を参照して、多軸スライドテーブル装置は、3つのスライドテーブル装置110a〜110cを、それぞれのステージ103a〜103cの移動方向が平行となるように並列に配置されることにより構成されている。このようにすることで、同じ方向にそれぞれ独立して移動可能な複数のステージ103a〜103cを備えるスライドテーブル装置を得ることができる。
しかし、図5に示した多軸スライドテーブル装置では、スライドテーブル装置110a〜110cを並列に並べるため、多軸スライドテーブル装置の幅Wは、スライドテーブル装置110a〜110cの個々の幅W1の3倍となる。つまり、図5に示した多軸スライドテーブル装置は、従来のスライドテーブル装置110a〜110cよりその平面サイズが大きくなる。このため、スライドテーブル装置を組込む装置や設備のスペースの関係から、図5に示したような多軸スライドテーブル装置を当該設備などに設置できない、あるいは設置できたとしてもその適用できる場所が限られる。さらに、図5に示したスライドテーブル装置では、複数のステージ103a〜103cはそれぞれ異なる軸に沿って移動するので、結果的に適用できる作業用途が限定される、といった問題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するために成されたものであり、この発明の目的は、従来のスライドテーブル装置からサイズを大幅に大きくすることなく、複数のステージを移動させることが可能な多軸スライドテーブル装置を提供することである。
この発明に従ったスライドテーブル装置は、複数のテーブルと案内部材と駆動部材とを備える。案内部材は、複数のテーブルが同一の移動軸に沿って移動するように、複数のテーブルを案内する。駆動部材は、複数のテーブルを移動させる。
このようにすれば、複数のテーブルを同一の移動軸に沿って移動させることになるので、従来のように並行に配置された複数の移動軸に沿って複数のテーブルを移動させる構成のスライドテーブル装置より占有面積を小さくできる。また、案内部材を複数のテーブルで共用するので、図5に示したような多軸スライドテーブル装置より装置構成を簡略化できるとともに部品点数を削減できる。
なお、テーブルとしては、平板状など任意の形状のテーブルを用いることができる。また、テーブルの材質についても、任意の材料を用いることができる。また、複数のテーブルのそれぞれは同じ形状であってもよいが、個々のテーブルがそれぞれ異なる形状を備えていてもよい。
上記スライドテーブル装置において、駆動部材は、複数のテーブルのそれぞれを移動させるために複数設置されてもよい。複数の駆動部材のうち、複数のテーブルの中で移動軸に沿った方向において互いに隣接する2つのテーブルにそれぞれ接続された2つの駆動部材は、移動軸に沿った方向から見て互いに重ならない位置に配置されていてもよい。
この場合、隣接する2つのテーブルにそれぞれ接続された2つの駆動部材の設置スペースが干渉することを防止できる。このため、移動軸に沿った方向における駆動部材の位置が重なるようにすることができる。この結果、移動軸に沿った方向におけるテーブルの設置間隔を狭めることができるので、隣接するテーブルを互いに接触する直前まで近接させることが可能になる。
上記スライドテーブル装置において、駆動部材は、モータとボールねじとを含んでいてもよい。ボールねじは、開口部を有するナットと、当該ナットの開口部にはめ込まれるとともにモータの回転軸に接続されたねじ軸と、ナットとねじ軸との間に介在する転動体とを有していてもよい。ナットはテーブルに接続されていてもよい。この場合、ボールねじによってモータの回転力によりテーブルをねじ軸(移動軸)に沿った方向に容易に移動させることができる。
上記スライドテーブル装置において、駆動部材は、ボールねじおよびシャフトモータのいずれか一方を含んでいてもよい。案内部材は、リニアガイドおよびローラーガイドのいずれか一方を含んでいてもよい。このようにすれば、本発明によるスライドテーブル装置を容易に構成することができる。
ここで、シャフトモータとは、永久磁石を内蔵したシャフトと、当該シャフトの外周側面上にシャフトを囲むように配置されたムービングコイル(コイルを内蔵したスライダ)との組合せによるリニアモータである。また、リニアガイドとは、レールと、当該レールに沿って移動可能なガイドブロックと、レールとガイドブロックとの間に介在する転動体とからなり、転動体である複数の球がレール側軌道面とガイドブロック側軌適面の間を転がり運動をし、転がり運動を終えた転動体がガイドブロック内のリターンパイプ内を戻って、再び軌道面間に戻るように構成されたものである。また、ローラーガイドとは、上述したリニアガイドの構成と基本的には同様の構成を有するが、転動体としてころを用いたものである。
上記スライドテーブル装置において、駆動部材は、複数のテーブルを個別に移動可能になっていてもよい。この場合、複数のテーブルについて個別にその位置を変更することができるので、スライドテーブル装置の適用範囲を広げることができる。
上記スライドテーブル装置は、センサと制御部材とを備えていてもよい。センサは、複数のテーブル間の距離が予め定められた基準値以下になることを検出してもよい。制御部材は、センサからの出力データに基づいて駆動部材を制御してもよい。この場合、センサからの出力に基づいてテーブルの移動を制御することができるので、隣接するテーブル間の距離が上記基準値以下になる(つまり、隣接するテーブルが接近しすぎる)ことを防止できる。このため、隣接するテーブル同士が衝突するといった不具合の発生を防止できる。
上記スライドテーブル装置は、複数のテーブルの位置を特定するためのリニアスケールをさらに備えていてもよい。この場合、リニアスケールを用いてテーブルの位置を正確に把握することができる。
なお、リニアスケールとしては、光電方式、レーザ式、磁気方式、静電容量の変化をとらえる方式や、電気的導通をとらえる接点方式など任意の方式のリニアスケールを用いることができる。
このように、本発明によれば、占有面積の増大を極力抑制しながら複数のテーブルを備えるスライドテーブル装置を実現できる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
図1は、本発明に従ったスライドテーブル装置を示す平面模式図である。図2は、図1に示したスライドテーブル装置の部分拡大平面模式図である。図1および図2を参照して、本発明によるスライドテーブル装置を説明する。
図1および図2を参照して、本発明に従ったスライドテーブル装置10は、ベース4と、複数のテーブルとしてのステージ3a〜3dと、案内部材としてのリニアガイド2a、2bと、駆動部材としてのモータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよびボールねじである駆動軸1a〜1dと、複数のセンサ11と、制御部12とを備える。リニアガイド2a、2bは、ベース4の上部表面上に配置されている。リニアガイド2a、2bは、互いに並行に延びるように位置が決定されている。リニアガイド2a、2bは、複数のステージ3a〜3dが同一の移動軸(駆動軸1a〜1dの延在方向に延びる軸、あるいはリニアガイド2a、2bの延在方向に延びる軸)に沿って移動するように、複数のステージ3a〜3dを案内する。具体的には、複数のステージ3a〜3dは、それぞれの両端が、並行に配置されたリニアガイド2a、2bの上に載るように配置されている。それぞれのステージ3a〜3dの下面には、リニアガイド2a、2bに沿って摺動可能なガイドブロックが接続されている。駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよびボールねじである駆動軸1a〜1d)は、複数のステージ3a〜3dをそれぞれ移動させる。具体的には、駆動軸1a〜1dのそれぞれがはめ込まれるナット(図示せず)がステージ3a〜3dのそれぞれの下面に接続されている。そして、モータ5a〜5dの回転軸が回転することにより、カップリング6a〜6dを介して駆動軸1a〜1dが回転する。この結果、ステージ3a〜3dはリニアガイド2a、2bの延在方向に沿って移動可能になっている。
また、複数のセンサ11は、ステージ3a〜3dのそれぞれに設置されている。センサ11は、当該センサ11が設置された1つのステージ(たとえばステージ3a)に隣接する他のステージ(たとえばステージ3b)と、当該1つのステージ3aとの間の距離が予め定められた基準値以下になることを検出可能になっている。なお、センサ11としては従来周知の任意の形式のセンサを用いることができる。そして、この複数のセンサ11からの出力データは制御部12に入力される。当該制御部12は、センサ11からのデータに基づいて、隣接するステージ(たとえばステージ3aとステージ3b)が接触しないようにモータ5a〜5dを制御する。
次に、図1に示したスライドテーブル装置10の動作について説明する。スライドテーブル装置10では、複数のステージ3a〜3dがそれぞれ別個に移動可能になっている。複数のステージ3a〜3dは、制御部12によってモータ5a〜5dの回転動作(たとえば回転数や回転方向)が制御されることにより、リニアガイド2a、2bの延在方向においてそれぞれ移動する。また、上述のようにステージ3a〜3dのそれぞれにはセンサ11が設置されており、当該センサ11によって隣接するステージ同士の衝突が防止される。
上記のようなスライドテーブル装置10によれば、複数のステージ3a〜3dを同一の移動軸に沿って移動させることになるので、従来のように並行に配置された複数の移動軸に沿って複数のステージを移動させる構成のスライドテーブル装置より占有面積を小さくできる。また、リニアガイド2a、2bを複数のステージ3a〜3dで共用するので、従来の(ステージを複数備える)多軸スライドテーブル装置より装置構成を簡略化できるとともに部品点数を削減できる。
なお、ステージ3a〜3dとしては、平板状など任意の形状の部材を用いることができる。また、ステージ3a〜3dの材質についても、任意の材料を用いることができる。また、複数のステージ3a〜3dのそれぞれは同じ形状であってもよいが、個々のステージ3a〜3dがそれぞれ異なる形状を備えていてもよい。
上記スライドテーブル装置10において、駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよびボールねじである駆動軸1a〜1d)は、複数のステージ3a〜3dのそれぞれを移動させるために複数設置されている。複数の駆動部材のうち、複数のステージ3a〜3dの中で移動軸に沿った方向(たとえばリニアガイド2a、2bの延在方向)において互いに隣接する2つのステージ(たとえばステージ3a、3b)にそれぞれ接続された2つの駆動部材(たとえばモータ5a、5b、カップリング6a、6b、および駆動軸1a、1b)は、移動軸に沿った方向から見て互いに重ならない位置に配置されている。特に、駆動部材を構成する駆動軸1a、1bは移動軸に沿った方向から見て互いに重ならないように配置されている。異なる観点から言えば、隣接する2つのステージ3a、3bに接続される駆動部材(モータ5a、5b、カップリング6a、6b、および駆動軸1a、1b)は、リニアガイド2aからの距離が異なる位置に配置されている。また、さらに別の観点から言えば、複数の駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6dおよび駆動軸1a〜1d)は、2つのリニアガイド2a、2bの間に配置されるとともに、隣接する駆動部材については一方のリニアガイド2aからの距離が互いに異なるように配置されている。また、一方のリニアガイド2a側(つまり移動軸に沿った方向と交差する方向)から見た場合、隣接する駆動部材は互いに一部が重なるように配置されている。
上述のような構成とすることにより、隣接する2つのステージ(たとえばステージ3a、3b)にそれぞれ接続された2つの駆動部材(モータ5a、5b、カップリング6a、6b、および駆動軸1a、1b)の設置スペースが干渉することを防止できる。このため、リニアガイド2aに沿った方向におけるモータ5a、5bなどの位置が部分的に重なるようにすることができる。この結果、リニアガイド2aに沿った方向におけるステージ3a、3bの設置間隔を狭めることができる。また、他のステージ3c、3dについても同様である。このため、ステージ3a〜3dにおいて隣接するステージを互いに接触する直前まで近接させることが可能になる。
上記スライドテーブル装置10において、駆動部材は、モータ5a〜5dとボールねじである駆動軸1a〜1dとを含む。ボールねじは、開口部を有するナットと、当該ナットの開口部にはめ込まれるとともにモータ5a〜5dの回転軸に接続されたねじ軸と、ナットとねじ軸との間に介在する転動体(玉)とを有している。ナットはステージ3a〜3dのそれぞれに接続されている。この場合、ボールねじによってモータ5a〜5dの回転力によりステージ3a〜3dをねじ軸(駆動軸1a〜1d)に沿った方向に容易に移動させることができる。
上記スライドテーブル装置10において、駆動部材(モータ5a〜5d、カップリング6a〜6d、および駆動軸1a〜1d)は、複数のステージ3a〜3dを個別に移動可能になっている。この場合、複数のステージ3a〜3dについて個別にその位置を変更することができる。そのため、スライドテーブル装置10の適用範囲を広げることができる。
上記スライドテーブル装置10は、図1に示すようにセンサ11と制御部材としての制御部12とを備えている。センサ11は、複数のステージ3a〜3d間の距離が予め定められた基準値(図2の距離L)以下になることを検出する。制御部12は、センサ11からの出力データに基づいて駆動部材を構成するモータ5a〜5dを制御する。この場合、図2に示すように隣接するステージ(たとえばステージ3a、3b)の間の距離が近づいた場合(基準値である距離Lにまでその間の距離が近づいた場合)に、センサ11からの出力に基づいてモータ5a、5bを制御することによりステージ3a、3bの移動を制御することができる。このため、隣接するステージ3a、3b間の距離が上記基準値以下になる(つまり、隣接するステージ3a、3bが接近しすぎる)ことを防止できる。したがって、隣接するステージ3a、3b同士が衝突するといった不具合の発生を防止できる。
図3は、図1および図2に示したスライドテーブル装置を適用した部品供給装置の模式図である。図3を参照して、本発明に従った部品供給装置を説明する。
図3を参照して、部品供給装置は、作業台8上に図1および図2に示したスライドテーブル装置10と基本的に同様の構成を備えるスライドテーブル装置が設置されている。図3に示した部品供給装置では、作業台8上においてスライドテーブル装置のベース4の表面の延在方向が作業台8の表面に対して交差する方向(具体的には垂直方向)になるように、スライドテーブル装置が設置されている。
図3に示した部品供給装置では、スライドテーブル装置にリニアスケールが設置されている。具体的には、スライドテーブル装置のベース4の端部にリニアスケールを構成する線状のスケール15が配置されている。スケール15はリニアガイド2a、2bと並行に配置されている。また、各ステージ3a〜3dのスケール15側の端部には、スケールヘッド16a〜16dがそれぞれ設置されている。スケールヘッド16a〜16dはスケール15と重なるように配置されている。
また、各ステージ3a〜3dには、シリンダ7a〜7dがそれぞれ設置されている。シリンダ7a〜7dの先端部には吸着部が形成されている。吸着部は部品9を着脱可能になっている。また、シリンダ7a〜7dは、それぞれステージ3a〜3dから作業台8に向かう方向において移動可能になっている。このため、シリンダ7a〜7dを用いて、作業台8の上の任意の位置に部品9を設置する、もしくは作業台8の上の任意の位置から部品9を移動させることができる。
また、図3に示した部品供給装置を構成するスライドテーブル装置では、複数のテーブルとしてのステージ3a〜3dの位置を特定するためのリニアスケール(スケール15およびスケールヘッド16a〜16d)を備えている。このため、リニアスケールを用いてステージ3a〜3dの位置を正確に把握することができる。
なお、リニアスケールとしては、光電方式、レーザ式、磁気方式、静電容量の変化を測定する方式や電気的導通をとらえる接点方式など任意の方式のリニアスケールを用いることができる。
上記スライドテーブル装置10において、駆動部材は、上述したボールねじ以外の任意の部材を用いることができる。たとえば駆動部材としてシャフトモータを用いてもよい。案内部材としては、上述したリニアガイド2a、2bに代えて、ステージ3a〜3dの移動方向を所定の方向に規制・案内できれば他の任意の部材を用いてもよい。たとえば、案内部材としてローラーガイドを用いてもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明は、複数のステージ(テーブル)を備えるスライドテーブル装置に対して特に有利に適用される。また、本発明によるスライドテーブル装置は、機械部品や半導体装置などの製造設備において加工対象物を搬送する搬送装置に適用可能である。
1a〜1d 駆動軸、2a,2b リニアガイド、3a〜3d ステージ、4 ベース、5a〜5d モータ、6a〜6d カップリング、7a〜7d シリンダ、8 作業台、9 部品、10 スライドテーブル装置、11 センサ、12 制御部、15 スケール、16a〜16d スケールヘッド。
Claims (7)
- 複数のテーブルと、
前記複数のテーブルが同一の移動軸に沿って移動するように、前記複数のテーブルを案内する案内部材と、
前記複数のテーブルを移動させる駆動部材とを備える、スライドテーブル装置。 - 前記駆動部材は、前記複数のテーブルのそれぞれを移動させるために複数設置され、
前記複数の駆動部材のうち、前記複数のテーブルの中で前記移動軸に沿った方向において互いに隣接する2つのテーブルにそれぞれ接続された2つの前記駆動部材は、前記移動軸に沿った方向から見て互いに重ならない位置に配置されている、請求項1に記載のスライドテーブル装置。 - 前記駆動部材は、
モータと、
開口部を有するナットと、前記ナットの開口部にはめ込まれるとともに前記モータの回転軸に接続されたねじ軸と、前記ナットと前記ねじ軸との間に介在する転動体とを有するボールねじとを含み、
前記ナットは前記テーブルに接続されている、請求項1または2に記載のスライドテーブル装置。 - 前記駆動部材は、ボールねじおよびシャフトモータのいずれか一方を含み、
前記案内部材は、リニアガイドおよびローラーガイドのいずれか一方を含む、請求項1または2に記載のスライドテーブル装置。 - 前記駆動部材は、前記複数のテーブルを個別に移動可能になっている、請求項1〜4のいずれか1項に記載のスライドテーブル装置。
- 前記複数のテーブル間の距離が予め定められた基準値以下になることを検出するセンサと、
前記センサからの出力データに基づいて前記駆動部材を制御する制御部材とを備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載のスライドテーブル装置。 - 前記複数のテーブルの位置を特定するためのリニアスケールをさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載のスライドテーブル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007015842A JP2008178960A (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | スライドテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2007015842A JP2008178960A (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | スライドテーブル装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008178960A true JP2008178960A (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=39723245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007015842A Withdrawn JP2008178960A (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | スライドテーブル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008178960A (ja) |
-
2007
- 2007-01-26 JP JP2007015842A patent/JP2008178960A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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