JP2886452B2 - 変形量検出手段付き直線運動装置 - Google Patents
変形量検出手段付き直線運動装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえばボールねじ装
置，ボールスプライン装置，転がり接触形の直線運動案
内装置等の直線運動装置に関し、特に直線軸部材の絶対
的な変形量を検出可能とする変形量検出手段付きの直線
運動装置に関する。
置，ボールスプライン装置，転がり接触形の直線運動案
内装置等の直線運動装置に関し、特に直線軸部材の絶対
的な変形量を検出可能とする変形量検出手段付きの直線
運動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体技術に代表されるように微
細加工の高精度化の要求が高まっている。ＮＣ（数値制
御）が開発されて以来、位置制御により加工精度は飛躍
的に向上した。このような位置制御は、テーブル位置や
工具位置はすべて製品形状で決まるため、あらかじめ加
工テーブルや工具の送り量および手順を決め、駆動機構
側、すなわち送る側の位置をロータリエンコーダ等によ
って監視しながら制御するものがほとんどであった。
細加工の高精度化の要求が高まっている。ＮＣ（数値制
御）が開発されて以来、位置制御により加工精度は飛躍
的に向上した。このような位置制御は、テーブル位置や
工具位置はすべて製品形状で決まるため、あらかじめ加
工テーブルや工具の送り量および手順を決め、駆動機構
側、すなわち送る側の位置をロータリエンコーダ等によ
って監視しながら制御するものがほとんどであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように送
る側の位置を監視しているものは、実際に送られている
工具やテーブル位置を推測しているにすぎず、工具やテ
ーブルの本当の位置情報はでてこない。たとえば、送る
側の制御系は雷等の外乱で誤動作する場合があり、誤動
作すると実際の位置と駆動系の制御が合わなくなってし
まう。
る側の位置を監視しているものは、実際に送られている
工具やテーブル位置を推測しているにすぎず、工具やテ
ーブルの本当の位置情報はでてこない。たとえば、送る
側の制御系は雷等の外乱で誤動作する場合があり、誤動
作すると実際の位置と駆動系の制御が合わなくなってし
まう。
【０００４】また、送る側をいくら高精度で制御したと
しても、工具やテーブルの送り機構のバックラッシュ、
たとえばボールスクリュの逆転時のバックラッシュ等に
よって、工具やテーブルの実際の位置は変化してしま
う。特に、大荷重になればなるほど、バックラッシュの
影響は大きくなる。
しても、工具やテーブルの送り機構のバックラッシュ、
たとえばボールスクリュの逆転時のバックラッシュ等に
よって、工具やテーブルの実際の位置は変化してしま
う。特に、大荷重になればなるほど、バックラッシュの
影響は大きくなる。
【０００５】さらに、機械的なバックラッシュ等を完全
にゼロにできたとしても、環境温度の変化や作業時の機
械各部の摩擦発熱により、工具やテーブルの実際の位置
は変化してしまう。
にゼロにできたとしても、環境温度の変化や作業時の機
械各部の摩擦発熱により、工具やテーブルの実際の位置
は変化してしまう。
【０００６】かかる見地から、工具やテーブル等の送ら
れる側の絶対位置を知ることが要請されている。
れる側の絶対位置を知ることが要請されている。
【０００７】絶対位置を知るためには各部の変形量を知
る必要があるが、すべての構造部材が熱と力で変形して
おり、各部の絶対的な変形量を逐次検出しなければ絶対
位置を知ることができない。
る必要があるが、すべての構造部材が熱と力で変形して
おり、各部の絶対的な変形量を逐次検出しなければ絶対
位置を知ることができない。
【０００８】本発明は上記した従来技術の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、位置精度に特に
影響の大きいボールねじやボールスプラインあるいは直
線案内装置等の直線運動装置の直線軸部材に軸方向の絶
対的な変形量検出手段を設けて、実際の軸方向の変形量
を監視可能とすることにある。
るためになされたもので、その目的は、位置精度に特に
影響の大きいボールねじやボールスプラインあるいは直
線案内装置等の直線運動装置の直線軸部材に軸方向の絶
対的な変形量検出手段を設けて、実際の軸方向の変形量
を監視可能とすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、直線軸部材と、該直線軸部材に
沿って移動可能に設けられる移動部材と、を備えた直線
運動装置において、前記直線軸部材の軸方向の絶対的な
変形量を検出する変形量検出手段を設けたことを特徴と
する。
に、本発明にあっては、直線軸部材と、該直線軸部材に
沿って移動可能に設けられる移動部材と、を備えた直線
運動装置において、前記直線軸部材の軸方向の絶対的な
変形量を検出する変形量検出手段を設けたことを特徴と
する。
【００１０】変形量検出手段を、直線軸部材の変形量を
検出すべき部分と平行に設けられ、かつ力が作用しない
状態で保持される基準部材と、該基準部材と直線軸部材
の相対変位量を検出する変位センサと、から構成し、前
記基準部材の一端を前記直線軸部材の変形量を検出すべ
き部分の一端に固定して固定端以外は自由状態に保持す
る片持ち状態とし、さらに変位検出手段により基準部材
の自由端と直線軸部材の変形量を検出すべき部分の他端
との相対変位を検出し、検出した相対変位に基づいて直
線軸部材の絶対的な変形量を求めることを特徴とする。
検出すべき部分と平行に設けられ、かつ力が作用しない
状態で保持される基準部材と、該基準部材と直線軸部材
の相対変位量を検出する変位センサと、から構成し、前
記基準部材の一端を前記直線軸部材の変形量を検出すべ
き部分の一端に固定して固定端以外は自由状態に保持す
る片持ち状態とし、さらに変位検出手段により基準部材
の自由端と直線軸部材の変形量を検出すべき部分の他端
との相対変位を検出し、検出した相対変位に基づいて直
線軸部材の絶対的な変形量を求めることを特徴とする。
【００１１】基準部材は熱膨張のない部材であることを
特徴とする。
特徴とする。
【００１２】また、基準部材は熱膨張率が既知の部材で
あり、検出時の基準部材の温度から基準部材の長さを求
め、当該基準部材の基準長さから直線軸部材の絶対的な
変形量を求めることを特徴とする。
あり、検出時の基準部材の温度から基準部材の長さを求
め、当該基準部材の基準長さから直線軸部材の絶対的な
変形量を求めることを特徴とする。
【００１３】変位センサは近接センサによって構成され
ることを特徴とする。
ることを特徴とする。
【００１４】また、変位センサは、軸方向に弾性変形可
能な弾性部材と、弾性部材の軸方向変位または歪みを電
気信号に変換して検出する変位または歪み検出手段と、
を具備してなることを特徴とする。
能な弾性部材と、弾性部材の軸方向変位または歪みを電
気信号に変換して検出する変位または歪み検出手段と、
を具備してなることを特徴とする。
【００１５】弾性部材を軸方向に弾性変形可能で他の方
向には剛な構造とし、軸方向に変位可能な薄肉部を備え
ていることが好ましい。また、歪み検出手段として薄肉
部に歪みゲージを貼着することが好適である。
向には剛な構造とし、軸方向に変位可能な薄肉部を備え
ていることが好ましい。また、歪み検出手段として薄肉
部に歪みゲージを貼着することが好適である。
【００１６】
【作用】上記構成の変形量検出手段付き直線運動装置に
あっては、変形量検出手段を設けたことによって、直線
軸部材の絶対的変形量を検出情報として得ることができ
る。
あっては、変形量検出手段を設けたことによって、直線
軸部材の絶対的変形量を検出情報として得ることができ
る。
【００１７】より具体的には、基準部材と直線軸部材の
相対変位を検出することによって、直線軸部材の絶対的
な変形量を検出する。
相対変位を検出することによって、直線軸部材の絶対的
な変形量を検出する。
【００１８】さらに、基準部材を熱膨張のない部材によ
って構成しておくことによって、熱による絶対変形量に
ついても検出することができる。
って構成しておくことによって、熱による絶対変形量に
ついても検出することができる。
【００１９】また、基準部材として熱膨張率が既知の部
材を用いることにより、基準部材が熱膨張したとして
も、検出時の温度がわかっていれば当該検出時の絶対変
形量を検出することができる。
材を用いることにより、基準部材が熱膨張したとして
も、検出時の温度がわかっていれば当該検出時の絶対変
形量を検出することができる。
【００２０】
【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。
する。
【００２１】図１（ａ）は本発明の一実施例に係る直線
運動装置を示すもので、この実施例は転がり接触型直線
運動用案内装置１０に適用したものである。転がり接触
型直線運動用案内装置１０は、直線軸部材としての軌道
レール１１と、軌道レール１１にボールやコロ等の転動
体１２を介して移動自在に設けられる移動部材としての
摺動台１３と、から構成されている。そして、直線軸部
材としての軌道レール１１に軌道レール１１の絶対的な
変形量を検出する変形量検出手段１が設けられている。
運動装置を示すもので、この実施例は転がり接触型直線
運動用案内装置１０に適用したものである。転がり接触
型直線運動用案内装置１０は、直線軸部材としての軌道
レール１１と、軌道レール１１にボールやコロ等の転動
体１２を介して移動自在に設けられる移動部材としての
摺動台１３と、から構成されている。そして、直線軸部
材としての軌道レール１１に軌道レール１１の絶対的な
変形量を検出する変形量検出手段１が設けられている。
【００２２】図１（ｂ）に示す例は、変形量検出手段１
を、軌道レール１１の変形量を検出すべき部分と平行に
設けられかつ力が作用しない状態で保持される基準部材
２と、この基準部材２と軌道レール１１の相対変位量を
検出する変位センサ３と、から構成されている。
を、軌道レール１１の変形量を検出すべき部分と平行に
設けられかつ力が作用しない状態で保持される基準部材
２と、この基準部材２と軌道レール１１の相対変位量を
検出する変位センサ３と、から構成されている。
【００２３】基準部材２は軌道レール１１の設けた貫通
孔１４に挿入され、その一端が軌道レール１１の変形量
を検出すべき部分、この実施例では軌道レール１１の全
長の一端に固定し、固定端以外は自由状態に保持する片
持ち状態としている。そして、変位センサ３を軌道レー
ル２の他端側に取付けて基準部材２と変位センサ３との
間の相対変位を検出するようになっている。
孔１４に挿入され、その一端が軌道レール１１の変形量
を検出すべき部分、この実施例では軌道レール１１の全
長の一端に固定し、固定端以外は自由状態に保持する片
持ち状態としている。そして、変位センサ３を軌道レー
ル２の他端側に取付けて基準部材２と変位センサ３との
間の相対変位を検出するようになっている。
【００２４】基準部材２としては、検出時点での長さが
既知の部材を用いるが、熱膨張の影響を考慮すれば、熱
膨張率がないか無視できる程度に極めて小さいスーパー
インバー棒を用いることが好ましい。
既知の部材を用いるが、熱膨張の影響を考慮すれば、熱
膨張率がないか無視できる程度に極めて小さいスーパー
インバー棒を用いることが好ましい。
【００２５】また、スーパーインバー棒を用いないで
も、検出時点での基準部材２の長さがわかっていればよ
く、所定温度での長さと熱膨張率が既知であれば、検出
時の温度が分かれば、検出時点での基準部材の熱膨張量
がわかる。この熱膨張量分を補正すれば、軌道レール１
１の絶対的な変形量を知ることができる。
も、検出時点での基準部材２の長さがわかっていればよ
く、所定温度での長さと熱膨張率が既知であれば、検出
時の温度が分かれば、検出時点での基準部材の熱膨張量
がわかる。この熱膨張量分を補正すれば、軌道レール１
１の絶対的な変形量を知ることができる。
【００２６】さらに、基準部材２と軌道レール１１の熱
膨張率を異ならせておけば、所定温度での両部材の長さ
が予め分かっていれば、変位センサ３によって検出され
た相対変位から、温度を求めることも可能である。した
がって、このような基準部材２と軌道レール１１を平行
に配置してその相対変位を検出するだけで、軌道レール
１１の軸方向の絶対的な変形量を知ることが可能であ
る。
膨張率を異ならせておけば、所定温度での両部材の長さ
が予め分かっていれば、変位センサ３によって検出され
た相対変位から、温度を求めることも可能である。した
がって、このような基準部材２と軌道レール１１を平行
に配置してその相対変位を検出するだけで、軌道レール
１１の軸方向の絶対的な変形量を知ることが可能であ
る。
【００２７】図１（ｃ）〜（ｆ）は、基準部材２を力が
作用しない状態で保持するための保持手段の各種変形例
を示している。
作用しない状態で保持するための保持手段の各種変形例
を示している。
【００２８】同図（ｃ）は板ばね４１により、同図
（ｄ）はシリコンゴム等の弾性部材４２により、基準部
材２が上下には変位せず軸方向にのみ変位可能となるよ
うに保持したものである。板ばね４１としては、同図
（ｅ）に示すように、薄肉の環状平板構造として外端部
４１ａを軌道レール１１の貫通孔１４内周に固定し、内
端部４１ｂを基準部材２外周に固定している。
（ｄ）はシリコンゴム等の弾性部材４２により、基準部
材２が上下には変位せず軸方向にのみ変位可能となるよ
うに保持したものである。板ばね４１としては、同図
（ｅ）に示すように、薄肉の環状平板構造として外端部
４１ａを軌道レール１１の貫通孔１４内周に固定し、内
端部４１ｂを基準部材２外周に固定している。
【００２９】同図（ｆ）は貫通孔１４内部に液体４３を
入れて、この液体４３にパイプ状の基準部材２を浮かし
て軸方向にのみ変位可能に保持するようにしたものであ
る。
入れて、この液体４３にパイプ状の基準部材２を浮かし
て軸方向にのみ変位可能に保持するようにしたものであ
る。
【００３０】変位センサ３としては、近接センサの他
に、図１（ｇ）に示すような、弾性部材３ａと、弾性部
材３ａ表面に貼着される歪みゲージ３ｂとを組み合わせ
た変位センサを用いることもできる。すなわち、弾性部
材３ａは図１（ｃ）に示した板ばね４１と同様の環状平
板構造であり、基準部材２と軌道レール２間の相対変位
に対応して変形する弾性部材３ａの歪み量を歪みゲージ
３ｂによって検出することによって、相対変位量を求め
るものである。
に、図１（ｇ）に示すような、弾性部材３ａと、弾性部
材３ａ表面に貼着される歪みゲージ３ｂとを組み合わせ
た変位センサを用いることもできる。すなわち、弾性部
材３ａは図１（ｃ）に示した板ばね４１と同様の環状平
板構造であり、基準部材２と軌道レール２間の相対変位
に対応して変形する弾性部材３ａの歪み量を歪みゲージ
３ｂによって検出することによって、相対変位量を求め
るものである。
【００３１】図２は、図１（ｆ）に示した変位センサの
基本的な構成を示す模式図である。すなわち、この変位
センサ３は、軸方向に弾性変形可能な弾性部材３ａと、
この弾性部材３ａの軸方向変位または歪みを電気振動に
変換して検出する検出手段１０２と、を具備しており、
弾性部材３ａは互いに対向して配置される固定部材１０
０と可動部材１０１の間に介在され、固定部材１００と
可動部材１０１を連結するようになっている。固定部材
１００は基準部材２の一端に固定され、可動部材１０１
は軌道レール１１に固定されている。そして、基準部材
２と軌道レール１１との相対的変位に応じて弾性部材３
ａが弾性変形し、この弾性部材３ａの歪みや変位を検出
手段１０２によって電気信号に変換されて変位が検出さ
れる。
基本的な構成を示す模式図である。すなわち、この変位
センサ３は、軸方向に弾性変形可能な弾性部材３ａと、
この弾性部材３ａの軸方向変位または歪みを電気振動に
変換して検出する検出手段１０２と、を具備しており、
弾性部材３ａは互いに対向して配置される固定部材１０
０と可動部材１０１の間に介在され、固定部材１００と
可動部材１０１を連結するようになっている。固定部材
１００は基準部材２の一端に固定され、可動部材１０１
は軌道レール１１に固定されている。そして、基準部材
２と軌道レール１１との相対的変位に応じて弾性部材３
ａが弾性変形し、この弾性部材３ａの歪みや変位を検出
手段１０２によって電気信号に変換されて変位が検出さ
れる。
【００３２】この弾性部材３ａとして、図１（ｃ）に示
したような基準部材２を保持する板ばね４１を利用する
こともできる。すなわち、この板ばね４１の変位や歪み
を検出ことによって、基準部材２と軌道レール１１間の
相対的な変位を知ることができる。
したような基準部材２を保持する板ばね４１を利用する
こともできる。すなわち、この板ばね４１の変位や歪み
を検出ことによって、基準部材２と軌道レール１１間の
相対的な変位を知ることができる。
【００３３】図３（ａ）〜（ｅ）には、上記変位センサ
３の検出手段１０２の各種変形例が示されている。
３の検出手段１０２の各種変形例が示されている。
【００３４】図３（ａ）に示すものは、図１（ｇ）と同
様に、検出手段１０２として歪みゲージ３ｂを用いて弾
性部材３ａの歪みを検出するようにしたものである。
様に、検出手段１０２として歪みゲージ３ｂを用いて弾
性部材３ａの歪みを検出するようにしたものである。
【００３５】図３（ｂ）に示すものは、検出手段として
圧電素子や電歪素子を用いて変位を電圧変化として検出
する電圧式センサ３ｃを用いて弾性部材３ａの変位を検
出するようにしたものである。
圧電素子や電歪素子を用いて変位を電圧変化として検出
する電圧式センサ３ｃを用いて弾性部材３ａの変位を検
出するようにしたものである。
【００３６】図３（ｃ）に示すものは、検出手段として
差動トランスやうず電流センサ等の電磁誘導式センサ３
ｄを利用して弾性部材３ａの変位を検出するようにした
ものである。
差動トランスやうず電流センサ等の電磁誘導式センサ３
ｄを利用して弾性部材３ａの変位を検出するようにした
ものである。
【００３７】図３（ｄ）に示すものは、検出手段として
静電容量式ギャップセンサ３ｅを用い弾性部材３ａの変
位を電気容量に変換して検出するようにしたものであ
る。
静電容量式ギャップセンサ３ｅを用い弾性部材３ａの変
位を電気容量に変換して検出するようにしたものであ
る。
【００３８】図３（ｅ）に示すものは、検出手段として
光干渉方式の光りファイバ式センサ３ｆを利用して弾性
部材３ａの変位を検出するようにしたものである。
光干渉方式の光りファイバ式センサ３ｆを利用して弾性
部材３ａの変位を検出するようにしたものである。
【００３９】なお、上記実施例では直線運動装置として
転がり接触型直線運動用案内装置に適用した場合を例に
とって説明したが、転がり接触型直線運動用案内装置に
限定されるものではなく、たとえば図４に示すようなス
プライン装置２０や、図５に示すような送りねじ装置３
０についても同様に適用できる。
転がり接触型直線運動用案内装置に適用した場合を例に
とって説明したが、転がり接触型直線運動用案内装置に
限定されるものではなく、たとえば図４に示すようなス
プライン装置２０や、図５に示すような送りねじ装置３
０についても同様に適用できる。
【００４０】すなわち、スプライン装置２０は、直線軸
部材としてのスプライン軸２１と、このスプライン軸２
１にボールやコロ等の転動体２２を介して外筒２３を移
動自在に嵌合したもので、ボールねじ装置３０は、直線
軸部材としてのねじ軸３１と、このねじ軸にボール等の
転動体３２を介してナット３３を移動自在に嵌合したも
のである。
部材としてのスプライン軸２１と、このスプライン軸２
１にボールやコロ等の転動体２２を介して外筒２３を移
動自在に嵌合したもので、ボールねじ装置３０は、直線
軸部材としてのねじ軸３１と、このねじ軸にボール等の
転動体３２を介してナット３３を移動自在に嵌合したも
のである。
【００４１】そして、変形量検出手段を直線軸部材とし
てのスプライン軸２１およびねじ軸３１に設けたもので
ある。
てのスプライン軸２１およびねじ軸３１に設けたもので
ある。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、直線軸部材の軸方向の
絶対的な変形量を検出する変形量検出手段を設けること
により、環境温度変化やモータの発熱あるいは作業時の
各部の摩擦発熱による直線軸部材の軸方向の絶対的な変
形量を情報として得ることができ、工具やテーブル等の
位置決めをより精密に行うことが可能となる。
絶対的な変形量を検出する変形量検出手段を設けること
により、環境温度変化やモータの発熱あるいは作業時の
各部の摩擦発熱による直線軸部材の軸方向の絶対的な変
形量を情報として得ることができ、工具やテーブル等の
位置決めをより精密に行うことが可能となる。
【図１】図１は転がり接触型直線運動用案内装置を例に
とって変形量検出手段の各種構成例を示すもので、同図
（ａ）は基本構成図、同図（ｂ）は変形量検出手段を設
けた軌道レールの具体的な構成例を示す断面図、同図
（ｃ），（ｄ）は基準部材の保持手段の一例を示す断面
図、同図（ｅ）は同図（ｃ）の板ばねの平面図、同図
（ｆ）は保持手段の他の構成例を示す断面図、同図
（ｇ）は変位センサの一例を示す概略図である。
とって変形量検出手段の各種構成例を示すもので、同図
（ａ）は基本構成図、同図（ｂ）は変形量検出手段を設
けた軌道レールの具体的な構成例を示す断面図、同図
（ｃ），（ｄ）は基準部材の保持手段の一例を示す断面
図、同図（ｅ）は同図（ｃ）の板ばねの平面図、同図
（ｆ）は保持手段の他の構成例を示す断面図、同図
（ｇ）は変位センサの一例を示す概略図である。
【図２】図２は図１（ｇ）に示す変位センサの基本的な
構成を模式的に示す断面図である。
構成を模式的に示す断面図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｅ）は、図６の変位センサの各
種変形例を示す概略断面図である。
種変形例を示す概略断面図である。
【図４】図４はスプライン装置に変形量検出手段を設け
た例を示す断面図である。
た例を示す断面図である。
【図５】図５は送りねじ装置に変形量検出手段を設けた
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
１ 変形量検出手段 ２ 基準部材 ３ 変位センサ ４１ 板ばね ４２ 弾性部材 ４３ 液体 １０ 転がり接触型直線運動案内装置 １１ 軌道レール（直線軸部材） １２ 転動体 １３ 摺動台 ２０ スプライン装置 ２１ スプライン軸（直線軸部材） ２２ 転動体 ２３ 外筒 ３０ 送りねじ装置 ３１ ねじ軸 ３２ 転動体 ３３ ナット
Claims (8)
- 【請求項１】 直線軸部材と、該直線軸部材に沿って移
動可能に設けられる移動部材と、を備えた直線運動装置
において、 前記直線軸部材の軸方向の絶対的な変形量を検出する変
形量検出手段を設け、該変形量検出手段を、直線軸部材の変形量を検出すべき
部分と平行に設けられ、かつ力が作用しない状態で保持
される基準部材と、該基準部材と直線軸部材の相対変位
量を検出する変位センサと、から構成し、 前記基準部材の一端を前記直線軸部材の変形量を検出す
べき部分の一端に固定して固定端以外は自由状態に保持
する片持ち状態とし、さらに変位検出手段により基準部
材の自由端と直線軸部材の変形量を検出すべき部分の他
端との相対変位を検出し、検出した相対変位に基づいて
直線軸部材の絶対的な変形量を求めることを 特徴とする
変形量検出手段付き直線運動装置。 - 【請求項２】 基準部材は熱膨張のない部材である請求
項１に記載の変形量検出手段付き直線運動装置。 - 【請求項３】 基準部材は熱膨張率が既知の部材であ
り、検出時の基準部材の温度から基準部材の長さを求
め、当該基準部材の基準長さから直線軸部材の絶対的な
変形量を求める請求項１に記載の変形量検出手段付き直
線運動装置。 - 【請求項４】 変位センサは近接センサによって構成さ
れる請求項１，２または３に記載の変形量検出手段付き
直線運動装置。 - 【請求項５】 変位センサは、軸方向に弾性変形可能な
弾性部材と、該弾性部材の軸方向変位または歪みを電気
信号に変換して検出する変位または歪み検出手段と、を
具備してなることを特徴とする請求項１，２または３に
記載の変形量検出手段付き直線運動装置。 - 【請求項６】 弾性部材を軸方向に弾性変形可能で他の
方向には剛な構造とした請求項５に記載の変形量検出手
段付き直線運動装置。 - 【請求項７】 弾性部材は、軸方向に変位可能な薄肉部
を備えている請求項６に記載の変形量検出手段付き直線
運動装置。 - 【請求項８】 薄肉部に歪みゲージを貼着してなる請求
項７に記載の変形量検出手段付き直線運動装置。
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|---|---|---|---|
| JP6131171A JP2886452B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 変形量検出手段付き直線運動装置 |
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-
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