JP2008130850A - 投影光学系および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 鏡筒内に配置され保持部材を介して前記鏡筒に所定間隔を置いて保持される複数のミラーと、それぞれの前記ミラーの前記保持部材に対する位置を調整するミラー位置調整手段と、前記鏡筒に一端を固定される被測定部材と、前記鏡筒に固定され前記被測定部材の他端までの距離を測定する距離センサとを有することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
このようなEUV露光装置では、投影光学系の鏡筒の温度変化による伸び縮みが、鏡筒内に配置されるミラーの間隔を変化させ光学性能に無視できない影響を与える。従って、このような影響を出来る限り抑制するために、鏡筒部材を低熱膨張の合金であるインバーやスーパーインバー等の部材で構成し、さらに鏡筒自身を直接的あるいは間接的に温調して温度変化と温度分布を小さく抑えることが行われている。
一方、鏡筒内に配置されるミラーの間隔の変化を高精度に測定することが可能になれば、ミラーの間隔を制御等することにより、所定の光学性能を確保することが可能になる。
第3の発明の投影光学系は、第1または第2の発明の投影光学系において、前記被測定部材は、前記鏡筒の光軸方向に長い棒状をしていることを特徴とする。
第5の発明の投影光学系は、第1ないし第4のいずれか1の発明の投影光学系において、前記被測定部材は、前記ミラーの間隔に対応する長さを有していることを特徴とする。
第6の発明の露光装置は、第1ないし第5のいずれか1の発明の投影光学系を有することを特徴とする。
図1は、本発明の投影光学系の実施形態を模式的に示している。この実施形態では、本発明がEUV光を使用したEUV露光装置に適用される。
この投影光学系11は、レチクルステージ13のレチクルRで反射されたEUV光ELを順次反射する第1ミラーM1、第2ミラーM2、第3ミラーM3、第4ミラーM4の合計4枚のミラー(反射光学素子)を有している。また、これらのミラーM1〜M4を保持する鏡筒15を有している。そして、第4ミラーM4で反射されたEUV光ELが、ウエハステージ17のウエハWを露光する。
この実施形態では、第1ミラーM1で反射された光が第2ミラーM2に到達できるように、第4ミラーM4には穴が空けられている。同様に第4ミラーM4で反射された光がウエハWに到達できるよう第1ミラーM1には穴が設けられている。勿論、穴を空けるのでなく、ミラーの外形を光束が通過可能な切り欠きを有する形状としても良い。
第1ミラーM1と第2ミラーM2とは、保持部材19およびミラー位置調整機構21を介して鏡筒15に保持されている。保持部材19は、例えば低熱膨張合金であるスーパーインバーにより製造されている。保持部材19は、鏡筒15の3箇所に所定角度を置いて強固に固定されている。各保持部材19には、ミラー位置調整機構21を介して第1ミラーM1、第2ミラーM2が支持されている。ミラー位置調整機構21は、ピエゾ素子等を用いた周知のミラー位置調整機構からなり、ミラーの姿勢を6自由度で精密に制御可能である。
すなわち、鏡筒15の熱膨張係数をα1、被測定部材H1の熱膨張係数をα2、被測定部材H1の長さをx、鏡筒15および被測定部材H1の温度変化をΔt、鏡筒15の温度変化Δtによる鏡筒15の熱膨張をΔL1、被測定部材H1の熱膨張をΔL2、被測定部材H1と距離センサSとの距離の変化をΔxとすると、
Δx=ΔL1−ΔL2
=(x・α1・Δt)−(x・α2・Δt)=x・(α1−α2)・Δtとなる。
ΔL1=x・α1・Δt
=x・α1・Δx/x・(α1−α2)=α1・Δx/(α1−α2)…(1)
となる。
ここで、ΔL1は、鏡筒15の温度変化Δtによる鏡筒15の熱膨張、すなわち、第1ミラーM1と第2ミラーM2との間隔の変化であり、被測定部材H1と距離センサSとの距離の変化Δxを測定することにより、第1ミラーM1と第2ミラーM2の間隔の変化を求めることができる。
例えば低熱膨張ガラスからなる被測定部材H1の熱膨張係数を0.02ppm/K、スーパーインバーからなる鏡筒15の熱膨張係数を1ppm/K、被測定部材H1の長さを0.3mとする。第1ミラーM1と第2ミラーM2との間の鏡筒15部分の温度変化が+0.01Kだけ発生すると、鏡筒15は3nm伸張し、被測定部材H1は0.06nm伸張するので、距離センサSにより被測定部材H1が2.94nm離れるのが測定できる。被測定部材H1が2.94nm離れた場合は、熱膨張率の差から、鏡筒15の0.3mの部分が3nm伸張したことが分かるので、第1ミラーM1と第2ミラーM2との間隔が3nm離れたことが分かる。そこで、制御装置23は、第1ミラーM1または第2ミラーM2のミラー位置調整機構21を制御して、第1ミラーM1と第2ミラーM2の間隔が3nm縮む方向に駆動することにより、第1ミラーM1と第2ミラーM2の間隔を精密に修正することができる。
すなわち、制御装置23は、先ず、第2ミラーM2の位置を基準にして、第1ミラーM1のミラー位置調整機構21を駆動することにより第1ミラーM1と第2ミラーM2の間隔を予め定められた所定間隔に修正する。次に、第2ミラーM2の位置を基準にして、第3ミラーM3のミラー位置調整機構21を駆動することにより第2ミラーM2と第3ミラーM3の間隔を予め定められた所定間隔に修正する。そして、第3ミラーM3の位置を基準にして、第4ミラーM4のミラー位置調整機構21を駆動することにより第3ミラーM3と第4ミラーM4の間隔を予め定められた所定間隔に修正する。
上述した投影光学系11では、鏡筒15に被測定部材H1,H2,H3の一端を固定し、鏡筒15に固定される距離センサSにより被測定部材H1,H2,H3の他端までの距離を測定するようにしたので、鏡筒15内に配置されるミラーM1〜M4の間隔の変化を高精度で測定することができる。
さらに、被測定部材H1,H2,H3の長さを、各ミラーM1〜M4間の間隔に対応する長さにしたので、各ミラーM1〜M4間の間隔の修正を高い精度で行うことができる。
(露光装置の実施形態)
図3は、EUV光リソグラフィシステムを模式化して示している。なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。
ウエハW上に照射されるパターンは、レチクルステージ13の下側に静電チャック103を介して配置されている反射型のレチクルRにより決められる。また、ウエハWはウエハステージ17の上に載せられている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではない。
(2)上述した実施形態では、被測定部材H1,H2,H3の長さを各ミラーM1〜M4間の間隔に対応する長さにした例について説明したが、必ずしも対応する長さにする必要はない。また、各ミラー間に被測定部材を配置することなく、鏡筒の全体的な熱膨張を測定するようにしても良い。
(5)上述した実施形態では、EUV光を用いた露光装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明は、投影光学系を備えた露光装置に広く適用することができる。
Claims (6)
- 鏡筒内に配置され保持部材を介して前記鏡筒に所定間隔を置いて保持される複数のミラーと、
それぞれの前記ミラーの前記保持部材に対する位置を調整するミラー位置調整手段と、
前記鏡筒に一端を固定される被測定部材と、
前記鏡筒に固定され前記被測定部材の他端までの距離を測定する距離センサと、
を有することを特徴とする投影光学系。 - 請求項1記載の投影光学系において、
前記距離センサで測定された前記距離に基づいて前記鏡筒の熱膨張を演算し、前記複数のミラーの間隔が前記所定間隔になるように前記ミラー位置調整手段を制御する制御手段を有することを特徴とする投影光学系。 - 請求項1または請求項2記載の投影光学系において、
前記被測定部材は、前記鏡筒の光軸方向に長い棒状をしていることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の投影光学系において、
前記被測定部材は、低熱膨張材からなることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載の投影光学系において、
前記被測定部材は、前記ミラーの間隔に対応する長さを有していることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載の投影光学系を有することを特徴とする露光装置。
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JP2006314740A JP2008130850A (ja) | 2006-11-21 | 2006-11-21 | 投影光学系および露光装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013506277A (ja) * | 2009-09-30 | 2013-02-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システム |
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2006
- 2006-11-21 JP JP2006314740A patent/JP2008130850A/ja active Pending
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