JP4725171B2 - 回転位置決め装置 - Google Patents
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Description
従来、回転テーブルの回転角度の制御は、回転テーブルを回転駆動するダイレクトドライブモータに装備されたロータリーエンコーダ(回転角度検出器)で行う場合が多かった。また、特許文献1のように、モータとボールねじとを用いて回転テーブルを回転させ、回転角度を位置決めする回転位置決め装置もあった。すなわち、回転テーブルから突出するアームがボールねじのナットに連結されていて、モータによりボールねじのねじ軸を回転駆動し、ねじ軸に螺着するナットを直線移動させることにより、回転テーブルを回転させていた。
また、特許文献1に記載の回転位置決め装置の場合は、ボールねじのガタが影響して、高精度での回転角度の制御が困難であった。また、ボールねじがあるため、回転位置決め装置のサイズが大きくなる傾向があった。
そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、高精度での回転角度の制御が可能であり、しかもサイズの小さな回転位置決め装置を提供することを課題とする。
さらに、本発明に係る請求項4の回転位置決め装置は、請求項3に記載の回転位置決め装置において、前記板バネは、前記回転テーブルとの固定部と前記移動子との固定部との間にくびれ部を有することを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項5の回転位置決め装置は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の回転位置決め装置において、前記回転駆動部が超音波モータであることを特徴とする。
この回転位置決め装置は、平板状の基台1と、基台1上に垂直に設けられた回転軸2に転がり軸受3を介して回転自在に支持された略円盤状の回転テーブル4と、回転テーブル4を回転駆動する超音波モータ5(本発明の構成要件である回転駆動部に相当する)と、回転テーブル4の回転を制御する回転制御部6と、を備えている。
さらに、本実施形態においては、回転変位の検出にボールねじ等を用いていないので、ボールねじのガタ等の影響がなく、回転角度の高精度での制御が可能である。また、ボールねじを用いていないので、回転位置決め装置のサイズが小さい。
なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、超音波モータで回転テーブル4を回転駆動したが、ダイレクトドライブモータ等の超音波モータ以外の駆動装置で回転テーブル4を回転駆動してもよい。ただし、超音波モータは、一般的なモータとは異なり磁性を有しておらず、またゴミ等の異物の発生も少ないので、本実施形態の回転位置決め装置は、高真空,非磁性等の特殊環境下においても好適に使用可能である。
さらに、リニアスケール12の直線移動の案内は、直線案内軸受に限定されるものではない。さらに、回転テーブル4を支持する転がり軸受3の種類は特に限定されるものではなく、玉軸受でもころ軸受でもよい。また、図2においては転がり軸受3の個数は2個であるが、転がり軸受3の個数は特に限定されるものではない。
5 超音波モータ
6 回転制御部
12 リニアスケール
13 読み取りヘッド
20 板バネ
20a くびれ部
Claims (5)
- 回転テーブルと、前記回転テーブルを回転駆動する回転駆動部と、前記回転テーブルの回転を制御する回転制御部と、を備え、前記回転テーブルを所定角度回転させる回転位置決め装置において、
前記回転制御部は、前記回転テーブルが回転した角度に応じて直線的に移動する移動子と、前記移動子の移動距離を検出する検出部と、を備え、検出された移動距離に基づいて前記回転テーブルの回転角度を制御するようになっているとともに、
前記回転テーブルと前記移動子とが連結部材を介して連結されており、この連結部材は、前記回転テーブルの回転に伴う前記移動子の径方向内方への移動を吸収して、前記移動子を前記回転の接線方向のみに移動させるようになっていることを特徴とする回転位置決め装置。 - 前記連結部材が弾性部材であり、前記移動子の径方向内方への移動が前記連結部材の弾性変形によって吸収されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の回転位置決め装置。
- 前記弾性部材が板バネであることを特徴とする請求項2に記載の回転位置決め装置。
- 前記板バネは、前記回転テーブルとの固定部と前記移動子との固定部との間にくびれ部を有することを特徴とする請求項3に記載の回転位置決め装置。
- 前記回転駆動部が超音波モータであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の回転位置決め装置。
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