JP3308041B2 - ステージ装置のストロークエンド検出装置 - Google Patents
ステージ装置のストロークエンド検出装置Info
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- JP3308041B2 JP3308041B2 JP13400993A JP13400993A JP3308041B2 JP 3308041 B2 JP3308041 B2 JP 3308041B2 JP 13400993 A JP13400993 A JP 13400993A JP 13400993 A JP13400993 A JP 13400993A JP 3308041 B2 JP3308041 B2 JP 3308041B2
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- stage
- stroke end
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＸＹステージ装置等の
移動機構におけるステージのストロークエンド検出装置
に関するものである。
移動機構におけるステージのストロークエンド検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種のワークの位置合わせ等に使用され
るＸＹステージ装置においては、そのステージの移動限
界を検出するためのストロークエンド検出装置が組み込
まれている。一般的に使用されているこの種の装置は、
ベースおよびテーブルの一方の側に近接センサであるエ
ンドリミットセンサを取付け、他方の側にエンドリミッ
トセンサ・ドグを取付け、これらによりステージのスト
ロークエンドの検出を行う構成となっている。
るＸＹステージ装置においては、そのステージの移動限
界を検出するためのストロークエンド検出装置が組み込
まれている。一般的に使用されているこの種の装置は、
ベースおよびテーブルの一方の側に近接センサであるエ
ンドリミットセンサを取付け、他方の側にエンドリミッ
トセンサ・ドグを取付け、これらによりステージのスト
ロークエンドの検出を行う構成となっている。
【０００３】図５には、この形式のスロトークエンド検
出装置が取付けられたＸＹステージ装置の例を示してあ
る。まず、図示のＸＹステージ装置１の構造を説明す
る。この装置１は、ベース２と、この上に、一対のボー
ルガイド機構９を介してＸ軸方向に移動可能に支持され
たＸ軸ステージ３と、このＸ軸ステージ３の上に、一対
のボールガイド機構１０を介してＹ軸方向に移動可能に
支持されたＹ軸ステージ４から構成され、このＹ軸ステ
ージ４の上面がワーク載置面４ａとなっている。ベース
２の側面にはＸ軸方向に向けてＸ軸アクチュエータ５が
固定され、このアクチュエータ５の作動ロッド５１の先
端５１ａは、Ｘ軸ステージ３の側面に固定した係合部材
３１に当接している。ベース２とＸ軸ステージ３の間に
はコイルばね等の弾性部材３ｃが連結されており、この
弾性部材の弾性力によって、Ｘ軸ステージ３はアクチュ
エータの作動ロッドの先端５１ａに当接した状態に保持
されている。アクチュエータ５を駆動すると、その作動
ロッド５１の伸縮に応じてＸ軸ステージ３はＸ軸方向に
移動する。
出装置が取付けられたＸＹステージ装置の例を示してあ
る。まず、図示のＸＹステージ装置１の構造を説明す
る。この装置１は、ベース２と、この上に、一対のボー
ルガイド機構９を介してＸ軸方向に移動可能に支持され
たＸ軸ステージ３と、このＸ軸ステージ３の上に、一対
のボールガイド機構１０を介してＹ軸方向に移動可能に
支持されたＹ軸ステージ４から構成され、このＹ軸ステ
ージ４の上面がワーク載置面４ａとなっている。ベース
２の側面にはＸ軸方向に向けてＸ軸アクチュエータ５が
固定され、このアクチュエータ５の作動ロッド５１の先
端５１ａは、Ｘ軸ステージ３の側面に固定した係合部材
３１に当接している。ベース２とＸ軸ステージ３の間に
はコイルばね等の弾性部材３ｃが連結されており、この
弾性部材の弾性力によって、Ｘ軸ステージ３はアクチュ
エータの作動ロッドの先端５１ａに当接した状態に保持
されている。アクチュエータ５を駆動すると、その作動
ロッド５１の伸縮に応じてＸ軸ステージ３はＸ軸方向に
移動する。
【０００４】一方、このＸ軸ステージ３上に支持されて
いるＹ軸ステージ４の側面にはＹ軸方向に向けてＹ軸ア
クチュエータ６が固定され、このアクチュエータ６の作
動ロッド６１の先端６１ａは、Ｘ軸ステージ３の側面に
固定した係合部材３２に当接している。Ｙ軸ステージ４
とＸ軸ステージ３の間にはコイルばね等の弾性部材４ｃ
が連結されており、この弾性部材の弾性力によって、Ｙ
軸ステージ４の側のアクチュエータ先端６１ａはＸ軸ス
テージ３の側の係合部材３２に当接した状態に保持され
ている。アクチュエータ６を駆動すると、その作動ロッ
ド６１の伸縮に応じて、Ｙ軸ステージ４はアクチュエー
タ６と共に、Ｘ軸ステージ３に対してＹ軸方向に移動す
る。
いるＹ軸ステージ４の側面にはＹ軸方向に向けてＹ軸ア
クチュエータ６が固定され、このアクチュエータ６の作
動ロッド６１の先端６１ａは、Ｘ軸ステージ３の側面に
固定した係合部材３２に当接している。Ｙ軸ステージ４
とＸ軸ステージ３の間にはコイルばね等の弾性部材４ｃ
が連結されており、この弾性部材の弾性力によって、Ｙ
軸ステージ４の側のアクチュエータ先端６１ａはＸ軸ス
テージ３の側の係合部材３２に当接した状態に保持され
ている。アクチュエータ６を駆動すると、その作動ロッ
ド６１の伸縮に応じて、Ｙ軸ステージ４はアクチュエー
タ６と共に、Ｘ軸ステージ３に対してＹ軸方向に移動す
る。
【０００５】このように、双方のアクチュエータ５、６
を駆動することにより、ワーク載置面４ａを、ＸＹ平面
上の所定の範囲内における任意の位置に移動することが
できる。
を駆動することにより、ワーク載置面４ａを、ＸＹ平面
上の所定の範囲内における任意の位置に移動することが
できる。
【０００６】このＸＹステージ装置１に取り付けたスト
ロークエンド検出装置の構造を説明する。この装置は、
Ｘ軸方向のストロークエンドの検出部７と、Ｙ軸方向の
ストロークエンドの検出部８から構成されている。図５
（Ｃ）から分かるように、Ｘ軸方向のストロークエンド
検出部７は、Ｘ軸アクチュエータ５とは反対側のステー
ジ装置側面に取付けられており、アクチュエータ５の突
出側のストロークエンド（以下、＋側のストロークエン
ドという。）を検出するための検出機構７１と、アクチ
ュエータ５の引っ込み側のストロークエンド（以下、−
側のストロークエンドという。）を検出するための検出
機構７２を備えている。各検出機構７１、７２は、ベー
ス側面に固定したエンドリミットセンサ７１ａ、７２ａ
と、Ｘ軸ステージ３の側面に取り付けたエンドリミット
センサ・ドグ７１ｂ、７２ｂから構成されている。Ｘ軸
ステージ３の移動に伴って、これらのドグ７１ｂ、７２
ｂが、ベース側のセンサ７１ａ、７２ａに重なった位置
に至ると、この状態がセンサ７１ａ、７２ａによって検
出される。これにより、Ｘ軸ステージのストロークエン
ドが検出される。
ロークエンド検出装置の構造を説明する。この装置は、
Ｘ軸方向のストロークエンドの検出部７と、Ｙ軸方向の
ストロークエンドの検出部８から構成されている。図５
（Ｃ）から分かるように、Ｘ軸方向のストロークエンド
検出部７は、Ｘ軸アクチュエータ５とは反対側のステー
ジ装置側面に取付けられており、アクチュエータ５の突
出側のストロークエンド（以下、＋側のストロークエン
ドという。）を検出するための検出機構７１と、アクチ
ュエータ５の引っ込み側のストロークエンド（以下、−
側のストロークエンドという。）を検出するための検出
機構７２を備えている。各検出機構７１、７２は、ベー
ス側面に固定したエンドリミットセンサ７１ａ、７２ａ
と、Ｘ軸ステージ３の側面に取り付けたエンドリミット
センサ・ドグ７１ｂ、７２ｂから構成されている。Ｘ軸
ステージ３の移動に伴って、これらのドグ７１ｂ、７２
ｂが、ベース側のセンサ７１ａ、７２ａに重なった位置
に至ると、この状態がセンサ７１ａ、７２ａによって検
出される。これにより、Ｘ軸ステージのストロークエン
ドが検出される。
【０００７】Ｙ軸方向のストロークエンド検出部８も同
様な構造であり、図５（Ｂ）から分かるように、アクチ
ュエータ６の突出側のストロークエンドを検出する検出
機構８１と、その引っ込み側のストロークエンドを検出
する検出機構８２を備えている。各検出機構８１、８２
は、Ｙ軸ステージ側面に固定したエンドリミットセンサ
８１ａ、８２ａと、Ｘ軸ステージ側面に固定したエンド
リミットセンサ・ドグ８１ｂ、８２ｂから構成されてい
る。Ｙ軸ステージ４の移動に伴って、これらのドグ８１
ｂ、８２ｂが、Ｘ軸側のセンサ８１ａ、８２ａに重なっ
た位置に至ると、この状態がセンサ８１ａ、８２ａによ
って検出される。これにより、Ｙ軸ステージのストロー
クエンドが検出される。
様な構造であり、図５（Ｂ）から分かるように、アクチ
ュエータ６の突出側のストロークエンドを検出する検出
機構８１と、その引っ込み側のストロークエンドを検出
する検出機構８２を備えている。各検出機構８１、８２
は、Ｙ軸ステージ側面に固定したエンドリミットセンサ
８１ａ、８２ａと、Ｘ軸ステージ側面に固定したエンド
リミットセンサ・ドグ８１ｂ、８２ｂから構成されてい
る。Ｙ軸ステージ４の移動に伴って、これらのドグ８１
ｂ、８２ｂが、Ｘ軸側のセンサ８１ａ、８２ａに重なっ
た位置に至ると、この状態がセンサ８１ａ、８２ａによ
って検出される。これにより、Ｙ軸ステージのストロー
クエンドが検出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のス
トロークエンド検出装置は、ステージ装置の外周面に取
り付けられた構造となっている。したがって、この取付
けのためにステージ装置の寸法がその分大きくなってし
まうという問題がある。また、設置場所等の関係によ
り、ステージ装置の側面に、このような機構を取り付け
るスペースが無い場合や、他の機器のレイアウトの関係
でステージ装置の外周にこのような機構を取り付けるこ
とが困難な場合がある。
トロークエンド検出装置は、ステージ装置の外周面に取
り付けられた構造となっている。したがって、この取付
けのためにステージ装置の寸法がその分大きくなってし
まうという問題がある。また、設置場所等の関係によ
り、ステージ装置の側面に、このような機構を取り付け
るスペースが無い場合や、他の機器のレイアウトの関係
でステージ装置の外周にこのような機構を取り付けるこ
とが困難な場合がある。
【０００９】本発明の課題は、このような問題点を解消
可能なストロークエンド検出装置を提案することにあ
る。
可能なストロークエンド検出装置を提案することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明においては、ステージ装置においてステー
ジをベースに対して移動可能に支持するために一般的に
組み込まれているボールガイド機構などのガイド機構に
着目し、このガイド機構を利用して、ステージのストロ
ークエンドを検出するようにしている。
めに、本発明においては、ステージ装置においてステー
ジをベースに対して移動可能に支持するために一般的に
組み込まれているボールガイド機構などのガイド機構に
着目し、このガイド機構を利用して、ステージのストロ
ークエンドを検出するようにしている。
【００１１】すなわち、本発明のストロークエンド検出
装置は、ボールガイド機構などのガイド機構を構成して
いる転動体あるいはそのセパレータの移動を検出するこ
とにより、ステージのストロークエンドを検出するよう
にしている。転動体を検出対象とする場合には、＋側お
よび−側のストロークエンドを検出するための２個の転
動体を磁性材から形成し、他の転動体を非磁性材から形
成しておき、この２個の転動体の移動を渦電流式の近接
センサを用いて検出すればよい。
装置は、ボールガイド機構などのガイド機構を構成して
いる転動体あるいはそのセパレータの移動を検出するこ
とにより、ステージのストロークエンドを検出するよう
にしている。転動体を検出対象とする場合には、＋側お
よび−側のストロークエンドを検出するための２個の転
動体を磁性材から形成し、他の転動体を非磁性材から形
成しておき、この２個の転動体の移動を渦電流式の近接
センサを用いて検出すればよい。
【００１２】セパレータを検出対象とする場合には、そ
の両端に突起等を形成しておき、これを機械的な接触型
のセンサによって検出すればよい。あるいは、セパレー
タの両端に光通過部分あるいは光反射部分を形成してお
き、この移動を、光学式の非接触型センサによって検出
してもよい。
の両端に突起等を形成しておき、これを機械的な接触型
のセンサによって検出すればよい。あるいは、セパレー
タの両端に光通過部分あるいは光反射部分を形成してお
き、この移動を、光学式の非接触型センサによって検出
してもよい。
【００１３】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１４】図１には、本発明を適用したＸＹステージ
装置を示してある。この例のＸＹステージ装置２０の構
造は、前述したＸＹステージ装置１（図５参照）と同一
であるので、対応する部分には同一の符号を付し、それ
らの部分の説明は省略する。この図に示すように、ボー
ルガイド機構９は、ベース２の側に形成したボール軌道
面９１と、Ｘ軸ステージ３の側に取り付けたレール９２
に形成したボール軌道面９３との間に、多数個のボール
９４が転動自在に配列され、これらのボール９４は、セ
パレータ９５によって等間隔に保持されている。
装置を示してある。この例のＸＹステージ装置２０の構
造は、前述したＸＹステージ装置１（図５参照）と同一
であるので、対応する部分には同一の符号を付し、それ
らの部分の説明は省略する。この図に示すように、ボー
ルガイド機構９は、ベース２の側に形成したボール軌道
面９１と、Ｘ軸ステージ３の側に取り付けたレール９２
に形成したボール軌道面９３との間に、多数個のボール
９４が転動自在に配列され、これらのボール９４は、セ
パレータ９５によって等間隔に保持されている。
【００１５】本例のストロークエンド検出装置４０は次
のように構成されている。多数個のボール９４のうち、
両端から２個目のボール９４ａ、９４ｂのみを磁性材か
ら形成してあり、それ以外のボールは非磁性材から形成
してある。通常は、ボール９４ａ、９４ｂを鋼球とし、
その他のボールをセラミック製とする。この２個のボー
ルのうち、一方のボール９４ａは＋側のストロークエン
ド検出用のものであり、他方のボール９４ｂは−側のス
トロークエンド検出用のものである。ベース２の側に
は、双方のストロークエンド位置に、それぞれ渦電流式
の近接センサ４１、４２が取付けられ、それらの検出面
は、ボール軌道面９１から露出している。これらのボー
ル９４ａ、９４ｂと、近接センサ４１、４２とによっ
て、本例のストロークエンド検出装置４０が構成されて
いる。
のように構成されている。多数個のボール９４のうち、
両端から２個目のボール９４ａ、９４ｂのみを磁性材か
ら形成してあり、それ以外のボールは非磁性材から形成
してある。通常は、ボール９４ａ、９４ｂを鋼球とし、
その他のボールをセラミック製とする。この２個のボー
ルのうち、一方のボール９４ａは＋側のストロークエン
ド検出用のものであり、他方のボール９４ｂは−側のス
トロークエンド検出用のものである。ベース２の側に
は、双方のストロークエンド位置に、それぞれ渦電流式
の近接センサ４１、４２が取付けられ、それらの検出面
は、ボール軌道面９１から露出している。これらのボー
ル９４ａ、９４ｂと、近接センサ４１、４２とによっ
て、本例のストロークエンド検出装置４０が構成されて
いる。
【００１６】次に、本例のストロークエンド検出動作を
説明する。ＸＹステージ装置２０の初期状態において
は、図１、図２（Ｂ）に示すように、ベース２に対して
Ｘ軸およびＹ軸テーブル３、４は一致した状態にある。
この状態において、ボール９４ａおよび９４ｂは、図に
示すように、近接センサ４１、４２の外側に位置してい
る。
説明する。ＸＹステージ装置２０の初期状態において
は、図１、図２（Ｂ）に示すように、ベース２に対して
Ｘ軸およびＹ軸テーブル３、４は一致した状態にある。
この状態において、ボール９４ａおよび９４ｂは、図に
示すように、近接センサ４１、４２の外側に位置してい
る。
【００１７】この状態で、Ｘ軸アクチュエータ５を駆動
してその作動ロッド５１を引っ込ませると、これに応じ
てＸ軸ステージ３も−ストロークエンド側に移動する。
このステージ３の移動に対して、ボールガイド機構９の
ボールおよびセパレータは、半分の移動速度で同一方向
に移動する。この移動によって、図２（Ａ）に示すよう
に、−ストロークエンド検出用のボール９４ｂが、近接
センサ４２に最も接近した位置に至ると、このボール９
４ｂがセンサ４２によって検出される。これにより−側
ストロークエンドが検出される。
してその作動ロッド５１を引っ込ませると、これに応じ
てＸ軸ステージ３も−ストロークエンド側に移動する。
このステージ３の移動に対して、ボールガイド機構９の
ボールおよびセパレータは、半分の移動速度で同一方向
に移動する。この移動によって、図２（Ａ）に示すよう
に、−ストロークエンド検出用のボール９４ｂが、近接
センサ４２に最も接近した位置に至ると、このボール９
４ｂがセンサ４２によって検出される。これにより−側
ストロークエンドが検出される。
【００１８】この状態において、Ｘ軸アクチュエータ５
を駆動してその作動ロッド５１を突出させていくと、こ
れに応じてＸ軸ステージ３も＋ストロークエンド側に移
動する。また、ボールガイド機構９の各ボールおよびセ
パレータも半分の速度で同一方向に移動する。図２
（Ｂ）に示す状態を経て、図２（Ｃ）に示す状態に至る
と、＋ストロークエンド検出用のボール９４ａが、近接
センサ４１に最も接近する。このため、このボール９４
ａがセンサ４１によって検出され、＋側ストロークエン
ドが検出される。
を駆動してその作動ロッド５１を突出させていくと、こ
れに応じてＸ軸ステージ３も＋ストロークエンド側に移
動する。また、ボールガイド機構９の各ボールおよびセ
パレータも半分の速度で同一方向に移動する。図２
（Ｂ）に示す状態を経て、図２（Ｃ）に示す状態に至る
と、＋ストロークエンド検出用のボール９４ａが、近接
センサ４１に最も接近する。このため、このボール９４
ａがセンサ４１によって検出され、＋側ストロークエン
ドが検出される。
【００１９】このように、本例においては、ボールガイ
ド機構の構成要素であるボールを利用して、ストローク
エンドを検出するようにしている。したがって、ステー
ジ装置の外側に検出用の部品を取り付ける必要がない。
よって、ステージ装置をその分小型化できる。また、ボ
ールを検出用に兼用しているので、検出装置の部品点数
も少なくできる。なお、ストロークエンドの検出には高
精度が要求されないので、本例の機構は充分に実用に適
している。
ド機構の構成要素であるボールを利用して、ストローク
エンドを検出するようにしている。したがって、ステー
ジ装置の外側に検出用の部品を取り付ける必要がない。
よって、ステージ装置をその分小型化できる。また、ボ
ールを検出用に兼用しているので、検出装置の部品点数
も少なくできる。なお、ストロークエンドの検出には高
精度が要求されないので、本例の機構は充分に実用に適
している。
【００２０】なお、Ｙ軸ステージ４のストロークエンド
を検出するための機構も、同様に構成されている。した
がって、ここではその説明は省略する。
を検出するための機構も、同様に構成されている。した
がって、ここではその説明は省略する。
【００２１】ここで、本例においてはボールガイド機構
のボールをストロークエンド検出のための被検出部とし
て利用している。この代わりに、セパレータを被検出部
として利用してもよい。例えば、図２（Ａ）に示すセパ
レータ９５の両端を、それぞれ近接センサによって検出
することにより、双方向のストロークエンドを検出する
ようにしてもよい。
のボールをストロークエンド検出のための被検出部とし
て利用している。この代わりに、セパレータを被検出部
として利用してもよい。例えば、図２（Ａ）に示すセパ
レータ９５の両端を、それぞれ近接センサによって検出
することにより、双方向のストロークエンドを検出する
ようにしてもよい。
【００２２】また、検出形態としては、近接センサの代
わりに、機械的な接触型センサを利用することもでき
る。例えば、双方のストロークエンドを規定する位置に
マイクロスイッチを配置しておき、セパレータの両端
に、これらのスイッチに機械的に接触可能な突起を形成
する構成でもよい。あるいは、光学式センサを用いて、
セパレータの両端に光学的に識別可能な部分を形成して
おいてもよい。
わりに、機械的な接触型センサを利用することもでき
る。例えば、双方のストロークエンドを規定する位置に
マイクロスイッチを配置しておき、セパレータの両端
に、これらのスイッチに機械的に接触可能な突起を形成
する構成でもよい。あるいは、光学式センサを用いて、
セパレータの両端に光学的に識別可能な部分を形成して
おいてもよい。
【００２３】次に、図３には、本発明を回転テーブル装
置に適用した例を示してある。この回転テーブル５０
は、電動式マイクロメータ５１を備え、これにより、回
転テーブル５２を回転するものである。この場合、ベー
ス５３上に回転テーブル５２を回転自在に支持している
ボールガイド機構５４は、環状のボール軌道部５５と、
この中に配列された複数のボール５６と、これらのボー
ル５６を等間隔で転動自在に保持しているセパレータ５
７から構成されている。ボール５６のうちの２個のボー
ル５６ａ、５６ｂは磁性材から形成され、他のボールは
非磁性材から形成されている。また、ボール軌道部５５
に臨む状態に、ベース側には、テーブルの両方向の回転
のストロークエンドを規定する位置に、渦電流型の近接
センサ５８、５９が取付けられている。
置に適用した例を示してある。この回転テーブル５０
は、電動式マイクロメータ５１を備え、これにより、回
転テーブル５２を回転するものである。この場合、ベー
ス５３上に回転テーブル５２を回転自在に支持している
ボールガイド機構５４は、環状のボール軌道部５５と、
この中に配列された複数のボール５６と、これらのボー
ル５６を等間隔で転動自在に保持しているセパレータ５
７から構成されている。ボール５６のうちの２個のボー
ル５６ａ、５６ｂは磁性材から形成され、他のボールは
非磁性材から形成されている。また、ボール軌道部５５
に臨む状態に、ベース側には、テーブルの両方向の回転
のストロークエンドを規定する位置に、渦電流型の近接
センサ５８、５９が取付けられている。
【００２４】この構成においても、図４に示すように、
各近接センサ５８、５９によって、対応するボール５６
ａ、５６ｂを検出することによって、テーブルの両方向
の回転のストロークエンドを検出できる。
各近接センサ５８、５９によって、対応するボール５６
ａ、５６ｂを検出することによって、テーブルの両方向
の回転のストロークエンドを検出できる。
【００２５】なお、以上の説明においては、ボールガイ
ド機構が組み込まれているステージ装置を例に挙げて説
明した。しかし、ボール以外のローラ等の転動体を用い
たガイド機構の場合にも本発明をそのまま適用できるこ
とは勿論である。したがって、本明細書におけるボール
ガイド機構は、このようなボール以外の形状の転動体を
用いたガイド機構も含む意味で使用している。
ド機構が組み込まれているステージ装置を例に挙げて説
明した。しかし、ボール以外のローラ等の転動体を用い
たガイド機構の場合にも本発明をそのまま適用できるこ
とは勿論である。したがって、本明細書におけるボール
ガイド機構は、このようなボール以外の形状の転動体を
用いたガイド機構も含む意味で使用している。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のステージ
装置のストロークエンド検出装置においては、ステージ
のガイド機構の構成部品である転動体あるいはセパレー
タを利用してストロークエンドの検出を行う構成を採用
している。したがって、本発明によれば、ステージ装置
の外側に検出用の部品を取り付ける必要がないので、そ
の分ステージ装置を小型化できる。また、ガイド機構の
構成部品を検出用に兼用しているので、検出機構を構成
する部品点数も削減することができるという利点もあ
る。
装置のストロークエンド検出装置においては、ステージ
のガイド機構の構成部品である転動体あるいはセパレー
タを利用してストロークエンドの検出を行う構成を採用
している。したがって、本発明によれば、ステージ装置
の外側に検出用の部品を取り付ける必要がないので、そ
の分ステージ装置を小型化できる。また、ガイド機構の
構成部品を検出用に兼用しているので、検出機構を構成
する部品点数も削減することができるという利点もあ
る。
【図１】本発明を適用したＸＹステージ装置を示す平面
図である。
図である。
【図２】図１の装置のストロークエンド検出動作を説明
するための図である。
するための図である。
【図３】本発明を適用した回転ステージ装置を示す平面
図である。
図である。
【図４】図３の装置のストロークエンド検出動作を説明
するための図である。
するための図である。
【図５】従来のストロークエンド検出装置が取り付けら
れたＸＹステージ装置を示す図であり、（Ａ）はその平
面図、（Ｂ）は矢印Ｂの方向から見た矢視図、（Ｃ）は
矢印Ｃの方向から見た矢視図である。
れたＸＹステージ装置を示す図であり、（Ａ）はその平
面図、（Ｂ）は矢印Ｂの方向から見た矢視図、（Ｃ）は
矢印Ｃの方向から見た矢視図である。
１、２０・・・ＸＹステージ装置 ２・・・ベース ３・・・Ｘ軸ステージ ４・・・Ｙ軸ステージ ４ａ・・・ワーク載置面 ５・・・Ｘ軸アクチュエータ ６・・・Ｙ軸アクチュエータ ９、１０・・・ボールガイド機構 ９１、９３・・・ボール軌道面 ９４・・・ボール ９４ａ、９４ｂ・・・ストロークエンド検出用のボール ９５・・・セパレータ ４０・・・ストロークエンド検出装置 ４１、４２・・・渦電流型の近接センサ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 1/40 B23Q 17/00 F16C 29/04 - 29/06
Claims (4)
- 【請求項１】 ベースに対してガイド機構を介してステ
ージが移動可能に支持されているステージ装置のストロ
ークエンド検出装置において、前記ガイド機構 の構成要素に形成された被検出部と、 この被検出部を検出する検出手段とを有し、 前記ガイド機構は、前記ベースおよびステージ間におい
てステージの移動方向に向けて配列された複数の転動体
と、これらの転動体を自転自在、且つ所定の間隔を保っ
た状態に保持しているセパレータとを有し、 前記転動体のうちの少なくとも１個の転動体が前記被検
出部となっていることを特徴とする ステージ装置のスト
ロークエンド検出装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記被検出部である転動体は磁性材から形成されてお
り、それ以外の前記転動体は非磁性材から形成されてお
り、 前記検出手段は前記の磁性材からなる転動体の通過を検
出する渦電流式の非接触型センサであることを特徴とす
る ステージ装置のストロークエンド検出装置。 - 【請求項３】 ベースに対してガイド機構を介してステ
ージが移動可能に支持されているステージ装置のストロ
ークエンド検出装置において、 前記ガイド機構の構成要素に形成された被検出部と、 この被検出部を検出する検出手段とを有し、 前記ガイド機構は、前記ベースおよびステージ間におい
てステージの移動方向に向けて配列された複数の転動体
と、これらの転動体を自転自在、且つ所定の間隔を保っ
た状態に保持しているセパレータとを有し、 前記セパレータの一部分に前記被検出部が形成されてい
ることを特徴とする ステージ装置のストロークエンド検
出装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のうちのいずれかの項
において、 前記ガイド機構はボールガイド機構であることを特徴と
するステージ装置のストロークエンド検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13400993A JP3308041B2 (ja) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | ステージ装置のストロークエンド検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13400993A JP3308041B2 (ja) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | ステージ装置のストロークエンド検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320369A JPH06320369A (ja) | 1994-11-22 |
| JP3308041B2 true JP3308041B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=15118252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13400993A Expired - Fee Related JP3308041B2 (ja) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | ステージ装置のストロークエンド検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308041B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109698898A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-30 | 珠海格力电器股份有限公司 | 驱动器、摄像头模组及电子设备 |
-
1993
- 1993-05-12 JP JP13400993A patent/JP3308041B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06320369A (ja) | 1994-11-22 |
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