CN103887216A - 一种设有安全挡板的oht系统 - Google Patents

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CN103887216A CN201410060153.5A CN201410060153A CN103887216A CN 103887216 A CN103887216 A CN 103887216A CN 201410060153 A CN201410060153 A CN 201410060153A CN 103887216 A CN103887216 A CN 103887216A
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oht system
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秦贵明
裴雷洪
俞玮
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Shanghai Huali Microelectronics Corp
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

本发明提供一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车、搬运轨道、装载台和可开合的安全挡板。搬运车可滑动的设于搬运轨道上，搬运轨道的一端位于装载台的上方。安全挡板设于装载台的外侧，当安全挡板闭合时，安全挡板将OHT系统的工作区域与外界区域隔开，当安全挡板打开时，安全挡板将OHT系统的工作区域与外界区域连通。本发明的技术方案成本较低，简便易行，变被动防护为主动防护，解决OHT作业时的安全隐患，避免人员误入造成伤害。

Description

一种设有安全挡板的OHT系统
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种设有安全挡板的OHT系统。
背景技术
目前，现有300mm fab（芯片厂）广泛采用OHT（天井式搬运车，OVER-HEAD HOIST TRANSPORTATION)系统作业，用小车代替人工将foup（晶圆传送盒，Front Opening Unified Pod)搬送到process tool（工装）。自动作业在节约人力和提高搬送速度的同时，也带来了一定的安全隐患，比如在小车将foup放置到load port（装载台）的过程中，如果小车look down sensor（下视传感器）出现故障，而恰好有人员此时进入OHT工作区域，下落的foup会直接撞到人员，存在很大的安全隐患。
Look down sensor发射特定频率的红外线至机台load port，正常无障碍物的情况下，接收器不会收到反射的红外线信号，若有物体进入该区域，则接收器会接收到物体反射回来的红外线信号，从而判断有物体在下方。look down sensor是搬送小车在工作过程中一个保证制品和人身安全的重要保障。但如果小车look down sensor（下视传感器）出现故障，而恰好有人员此时进入OHT工作区域，就会造成人员伤亡。
现有技术中的部分机台已经在load port两侧安装安全光栅，通过光电传感器检测是否有人员和物体进入OHT区域。但安全光栅和所有光电传感器一样，使用时间久后会出现偶尔反应不灵敏的状况，所以还是存在一定的安全隐患，另外有的机台没有自带安全光栅，改造加装成本也相对较高。
专利CN1505836公开了一种被处理体的搬运系统、无人搬运车系统、无人搬运车及被处理体的搬运方法，具有：管理半导体装置生产的主计算机；在该主计算机的管理下，从被处理体制造半导体装置的多个半导体制造装置；为按照各自的要求向这些半导体制造装置一片一片地传递所述被处理体，沿同一轨道自动搬运被处理体的多个自动搬运装置；以及与所述主计算机协作运行这些自动搬运装置的搬运运行装置，所述搬运运行装置具有控制部，该控制部具有根据所述各个半导体制造装置和所述各个自动搬运装置各自的位置关系，作成所述各个自动搬运装置的运行程序，同时确定各自最佳的搬运路线，并把所述各个自动搬运装置分配到各自最佳的搬运路线上的调度程序及分配程序。但该专利存在安全性能不好的问题。
专利CN101677075公开了一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统。利用物料控制系统分别将第一与第二虚拟仓储代码赋予自动化输送带搬运装置的第一与第二虚拟缓冲仓储。利用传输系统控制器将晶片盒搬运至并载入该第一虚拟缓冲仓储。将该晶片盒载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒。经由该自动化输送带搬运装置的轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒搬运至并载入该第二虚拟缓冲仓储。将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除，并且利用该传输系统控制器自该第二虚拟缓冲仓储取走该晶片盒。但该专利任存在安全性能不佳的问题。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种设有安全挡板的OHT系统。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车、搬运轨道和装载台，所述搬运车可滑动的设于所述搬运轨道上，所述搬运轨道的一端位于所述装载台的上方，其中，还包括可开合的安全挡板，所述安全挡板设于所述装载台的外侧，当所述安全挡板闭合时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域隔开，当所述安全挡板打开时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域连通。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述安全挡板包括可相互滑动并形成开合的第一移门和第二移门。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述安全挡板还包括滑轮和导轨，所述第一移门和第二移门通过所述滑轮可滑动的设于所述导轨上。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述第一移门和第二移门由透明的亚克力板制成。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述装载台的外侧还设有挡板，当所述安全挡板闭合时，所述挡板和安全挡板配合将所述OHT系统的工作区域与外界区域隔开。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述安全挡板的长度高度与所述挡板的长度和高度相匹配。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述装载台外侧的挡板上还设有安全光栅。
所述的设有安全挡板的OHT系统，其中，所述搬运车上还设有下视传感器。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
本发明的成本较低，简便易行，变被动防护为主动防护，解决OHT作业时的安全隐患，避免人员误入造成伤害。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1是本发明实施例的结构示意图；
图2是本发明实施例安全挡板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明方法进行详细说明。
如图1中所示，本发明实施例的一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车1、搬运轨道2和装载台3。搬运车1可滑动的设于搬运轨道2上，搬运轨道2的一端位于装载台3的上方。其中，还包括可开合的安全挡板4。安全挡板4设于装载台3的外侧。当安全挡板4闭合时，安全挡板4将OHT系统的工作区域及装载台3与外界区域隔开，当安全挡板4打开时，安全挡板4将OHT系统的工作区域与外界区域连通。
如图2中所示，本发明实施例在load port前方加装两条导轨5，滑轮6，第一移门和第二移门。OHT作业时移门关闭，将OHT区域和外界区域彻底隔开，变被动防护为主动防护，彻底杜绝OHT作业时人员或物体进入该区域的可能，如需手动作业时可以单独移开左右两扇移门，手动在load port上取放foup。
安全移门的材料采用透明的亚克力板，可以充分发挥亚克力板安全无毒、重量轻、抗冲击力强、透光度好、维护方便、容易清洁等特点。
安全移门的长度高度和机台load port两侧的挡板的长度和高度相匹配。
本发明实施例的成本较低，简便易行，变被动防护为主动防护，解决OHT作业时的安全隐患，避免人员误入造成伤害。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (8)

1.一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车、搬运轨道和装载台，所述搬运车可滑动的设于所述搬运轨道上，所述搬运轨道的一端位于所述装载台的上方，其特征在于，还包括可开合的安全挡板，所述安全挡板设于所述装载台的外侧，当所述安全挡板闭合时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域隔开，当所述安全挡板打开时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域连通。
2.如权利要求1所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述安全挡板包括可相互滑动并形成开合的第一移门和第二移门。
3.如权利要求2所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述安全挡板还包括滑轮和导轨，所述第一移门和第二移门通过所述滑轮可滑动的设于所述导轨上。
4.如权利要求3所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述第一移门和第二移门由透明的亚克力板制成。
5.如权利要求4所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述装载台的外侧还设有挡板，当所述安全挡板闭合时，所述挡板和安全挡板配合将所述OHT系统的工作区域与外界区域隔开。
6.如权利要求5所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述安全挡板的长度高度与所述挡板的长度和高度相匹配。
7.如权利要求6所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述装载台外侧的挡板上还设有安全光栅。
8.如权利要求7所述的设有安全挡板的OHT系统，其特征在于，所述搬运车上还设有下视传感器。
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