CN204809199U - 一种晶圆盒运送系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，包括：晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；其中：所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种晶圆盒运送系统。
背景技术
在现今的半导体制造工艺中，晶圆从生产制造到运送，都需要在密闭无尘条件下进行。相比于传统的将生产设备设置洁净室内的晶圆生产方式，新的晶圆隔离技术则是将洁净室直接设置于生产设备中。晶圆隔离技术又称为标准机械界面(StandardMechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半导体设备中。在半导体制造工艺中，SMIF作为一个界面接口，在该界面接口中，晶圆被装进晶圆盒；接着将晶圆盒装载并封闭在SMIF，SMIF为晶圆提供一个极端洁净的净化级别的微环境。后续，装有晶圆的晶圆盒会被运输至相应的半导体设备，以完成相应制程，之后再被运输至SMIF中存储起来。
在半导体制造业中能自动对于移动部件进行清理的零件(part)并不多，而且大都结构复杂。
如图1所示，显示为现有技术中一种晶圆盒取放装置101，其通过一对机械手拿取晶圆盒102。如图2所示，显示为半导体工厂(Fab)里常见的一种自动运送晶圆盒(Pod)的小车103，这些小车每天承担着相当大的晶圆盒搬送任务。当所述小车103随传送装置运动并经过所述晶圆盒取放装置101时，所述晶圆盒取放装置101将晶圆盒放置于所述小车103上，或将所述晶圆盒从所述小车上取走。所述传送装置可以是传送带或轨道。所述小车103上有两个感应传感器104，是用来确定晶圆盒是否放置正确的，但这两个传感器时常会被颗粒(particle)所遮挡，从而引起误报警。而小车的位置都是在离地面3米左右，所以每次处理这样的警报(alarm)都需要搬梯子，并且因为是高空作业，所以是需要两个人协同处理，这样一来很是费时费力。
因此，提供一种晶圆盒运送系统，以减少信息误报的情况，减少当机(Down机)时间，提升晶圆盒运送小车的使用效率，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒运送系统，用于解决现有技术中晶圆盒运送小车上的传感器时常会被污染颗粒所遮挡，从而引起误报警的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，包括：
晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；
搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；
晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；
其中：
所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。
可选地，所述颗粒清除装置包括调节杆、吸尘部及真空气路；所述调节杆连接于所述机械手，用于调节所述颗粒清除装置的位置；所述吸尘部与所述调节杆连接；所述真空气路与所述吸尘部连接。
可选地，所述吸尘部包括入尘口，所述入尘口端部设有毛刷。
可选地，所述入尘口端部为喇叭形。
可选地，所述吸尘部内侧壁设有若干凸起部。
可选地，所述凸起部为直线条状或曲线条状。
可选地，各凸起部之间平行排列或交错排列。
可选地，所述吸尘部还包括一过滤罩。
可选地，所述吸尘部内部还设有用于感应所述吸尘部内部积尘程度的重物感应装置。
可选地，所述重物感应装置包括与所述吸尘部内侧壁连接的侧墙，所述侧墙围成一容置空间，该容置空间内设有一感应游丝弹簧，所述感应游丝弹簧一端与所述侧墙连接，另一端与一感应触头连接；所述侧墙上设有一可容许所述感应触头进出的开口。
可选地，所述颗粒清除装置连接于所述机械手外侧。
如上所述，本实用新型的晶圆盒运送系统，具有以下有益效果：本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机(Down机)时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升。使用过程中，可以根据需要，通过对机台的设定，设计两种运行模式，一种为自动(auto)的常开模式，一种为手动(manual)的遇上报警(alarm)才进行颗粒清除的模式。通过修改机台感应程序的设定，在传感器第一次探测到有异常之后，机台设定先触发所述颗粒清除装置对传感器所在区域进行颗粒清除，在完成颗粒清楚后30s～2min之后，再一次通过传感器进行判定，如果没有报警，说明颗粒清除装置实现了颗粒清除功能，如果反馈结果还是失败(failure)，则请工程师做进一步的工程判断，从而充分、灵活发挥所述颗粒清除装置的作用，提高生产效率。
附图说明
图1显示为现有技术中一种晶圆盒取放装置的结构示意图。
图2显示为一现有技术中一种自动运送晶圆盒的小车结构示意图。
图3显示为本实用新型的晶圆盒运送系统的示意图。
图4显示为颗粒清除装置的放大结构示意图。
图5显示为吸尘部的内部结构示意图。
元件标号说明
101，204晶圆盒取放装置
102晶圆盒
103小车
104,202传感器
201晶圆盒搬运车
203搬运车传送装置
2041机械手
205颗粒清除装置
2051调节杆
2052吸尘部
2053入尘口
2054毛刷
2055凸起部
2056过滤罩
2057侧墙
2058感应游丝弹簧
2059感应触头
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图3至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，请参阅图3，显示为该晶圆盒运送系统的示意图，包括：晶圆盒搬运车201、搬运车传送装置203及晶圆盒取放装置204。
具体的，所述晶圆盒搬运车201用于装载并运输晶圆盒。作为示例，所述晶圆盒搬运车201包括底部及环绕所述底部周围的侧墙，所述晶圆盒搬运车顶部开口，所述侧墙根据晶圆盒的大致尺寸在不同位置高度不一致，以方便晶圆盒的进出。此处仅为示例，在其它实施例中，所述晶圆盒搬运车201也可以为其它构造，只要能够满足装载晶圆盒的目的即可。
具体的，所述晶圆盒搬运车201上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器202。本实施例中，所述传感器202的数目以两个为例，分别位于所述晶圆盒搬运车的内底面上，并位于晶圆盒标准放置位置的一条对角线的两端。在其它实施例中，所述传感器的数目和位置可根据实际需要进行调整。
具体的，所述搬运车传送装置203用于承载所述晶圆盒搬运车201，并将所述晶圆盒搬运车201传送至预设区域。作为示例，所述搬运车传送装置203为轨道式，所述晶圆盒搬运车201放置于两条轨道之间的承载台上。
具体的，所述晶圆盒取放装置204包括一对机械手2041，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车201。所述机械手2041可在所述晶圆盒取放装置204的电机控制下前后左右移动及旋转，该技术在现有技术中已非常成熟，此处不再赘述。
特别的，本实用新型中，所述晶圆盒取放装置204的机械手2041连接有用于清洗所述传感器202所在区域的颗粒清除装置205。当所述晶圆盒搬运车201在所述搬运车传送装置203的运送下经过所述晶圆盒取放装置204，所述机械手2041在所述晶圆盒搬运车201上方运动的时候，所述颗粒清除装置205就可以清除所述传感器202所在区域的颗粒物。
本实施例中，所述颗粒清除装置205优选为连接于所述机械手外侧，使得更换的时候更为方便。
所述颗粒清除装置205优选为吸尘装置，作为示例，所述颗粒清除装置205包括调节杆2051、吸尘部2052及真空气路2053；所述调节杆2051连接于所述机械手2041，用于调节所述颗粒清除装置205的位置；所述吸尘部2052与所述调节杆2051连接；所述真空气路2053与所述吸尘部2052连接。
具体的，所述调节杆2051可相对于所述机械手2041上下调节，使得所述机械手2041位于所述晶圆盒搬运车201上方时，所述颗粒清除装置205的作用区域能够到达所述传感器202所在区域。所述调节杆2051的上下调节可通过现有方式实现，如可伸缩杆形式、纵向空槽与挂位档相配合的形式、多个定位孔与螺丝相配合的方式等，此处不应过分限制本实用新型的保护范围。所述调节杆2051还可以相对于所述机械手2041前后调节，以与所述传感器202的位置相适应。所述调节杆2051的前后调节亦可通过现有方式实现，如横向空槽与挂位档相配合的形式、多个定位孔与螺丝相配合的方式等。
由于半导体制造过程中的很多制程均需要在高真空条件下完成，真空技术在半导体领域已非常成熟，只要将所述真空气路2053接入厂务真空设备，通过机台控制所述真空气路2053的开启或关闭，即可实现所述颗粒清除装置205的吸尘功能。对所述真空气路2053的控制与现有的控制其他真空气路的方法基本相同，不需要复杂的编程。
请参阅图4，显示为所述颗粒清除装置的放大结构示意图(未示出真空气路)，如图所示，所述吸尘部2052包括入尘口2053，本实施例中，所述入尘口2053端部优选为喇叭形，可以起到集中吸尘的作用。
进一步的，所述入尘口2053端部设有毛刷2054，所述毛刷2054的存在可以提高所述颗粒清除装置205的颗粒清除效率。
请参阅图5，显示为所述吸尘部2052的内部结构示意图，如图所示，所述吸尘部2052内侧壁设有若干凸起部2055,所述凸起部2055包括但不限于直线条状或曲线条状，各凸起部2055之间可平行排列或交错排列。所述凸起部2055起到阻隔作用，可以避免所述颗粒清除装置工作过程中吸入大片物质。
进一步的，所述吸尘部2052还包括一过滤罩2056，所述过滤罩2056设置于所述吸尘部2052后端，起到收集颗粒的作用。
优选的，所述吸尘部2052内部还设有用于感应所述吸尘部内部积尘程度的重物感应装置。作为示例，所述重物感应装置包括与所述吸尘部2052内侧壁连接的侧墙2057，所述侧墙2057围成一容置空间，该容置空间内设有一感应游丝弹簧2058，所述感应游丝弹簧2058一端与所述侧墙2057连接，另一端与一感应触头2059连接；所述侧墙2057上设有一可容许所述感应触头2059进出的开口，所述吸尘部2052的侧壁的相应位置同样开有可容许所述感应触头2059进出的开口。通过改变所述游丝弹簧2058的感应质量，可以调整所述重物感应装置的灵敏程度。本实施例中，所述游丝弹簧2058的感应质量以2g为例，只要有稍重的东西吸入，或随着时间的推移，所述颗粒清除装置内的积尘增多，所述游丝弹簧2058就会顶出所述感应触头2059，使得所述感应触头2059突出，这样，就可以比较直观的知道所述颗粒清除装置内的积尘已达到设定上限，该做清洁了。
使用过程中，可以根据需要，通过对机台的设定，设计两种运行模式，一种为自动(auto)的常开模式，一种为手动(manual)的遇上报警(alarm)才进行颗粒清除的模式。自动模式下，由于所述颗粒清除装置常常处于工作状态，使得所述传感器202被颗粒物遮挡的概率大大降低，从而有效减少误报警的情况。手动模式下，所述颗粒清除装置只在遇到报警后才进行颗粒清除，通过修改机台感应程序的设定，在传感器第一次探测到有异常之后，机台设定先触发所述颗粒清除装置对传感器所在区域进行颗粒清除，在完成颗粒清楚后30s～2min之后，再一次通过传感器进行判定，如果没有报警，说明颗粒清除装置实现了颗粒清除功能，如果反馈结果还是失败(failure)，则请工程师做进一步的工程判断，判断是由于晶圆盒位置还是传感器上颗粒物未被清除导致的，从而充分、灵活发挥所述颗粒清除装置的作用，提高生产效率。
综上所述，本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机(Down机)时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升。使用过程中，可以根据需要，通过对机台的设定，设计两种运行模式，一种为自动(auto)的常开模式，一种为手动(manual)的遇上报警(alarm)才进行颗粒清除的模式，从而充分、灵活发挥所述颗粒清除装置的作用，提高生产效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (11)
1.一种晶圆盒运送系统，包括：
晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；
搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；
晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；
其特征在于：
所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述颗粒清除装置包括调节杆、吸尘部及真空气路；所述调节杆连接于所述机械手，用于调节所述颗粒清除装置的位置；所述吸尘部与所述调节杆连接；所述真空气路与所述吸尘部连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部包括入尘口，所述入尘口端部设有毛刷。
4.根据权利要求3所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述入尘口端部为喇叭形。
5.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部内侧壁设有若干凸起部。
6.根据权利要求5所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述凸起部为直线条状或曲线条状。
7.根据权利要求6所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：各凸起部之间平行排列或交错排列。
8.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部还包括一过滤罩。
9.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部内部还设有用于感应所述吸尘部内部积尘程度的重物感应装置。
10.根据权利要求9所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述重物感应装置包括与所述吸尘部内侧壁连接的侧墙，所述侧墙围成一容置空间，该容置空间内设有一感应游丝弹簧，所述感应游丝弹簧一端与所述侧墙连接，另一端与一感应触头连接；所述侧墙上设有一可容许所述感应触头进出的开口。
11.根据权利要求1所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述颗粒清除装置连接于所述机械手外侧。
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| CN106393105A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-15 | 苏州元谋智能机器人系统有限公司 | 一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手 |
| CN110517980A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-29 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种半导体行业用晶圆自动传送机构 |
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| TWI737508B (zh) * | 2020-09-30 | 2021-08-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓盒搬運夾具 |
| CN117133691A (zh) * | 2023-10-25 | 2023-11-28 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种晶圆盒清洗后环境检测方法、检测装置及清洗设备 |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106393105A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-15 | 苏州元谋智能机器人系统有限公司 | 一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手 |
| CN106393105B (zh) * | 2016-08-31 | 2018-11-02 | 苏州元谋智能机器人系统有限公司 | 一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手 |
| CN110517980A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-29 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种半导体行业用晶圆自动传送机构 |
| CN110517980B (zh) * | 2019-09-25 | 2024-04-26 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种半导体行业用晶圆自动传送机构 |
| TWI737508B (zh) * | 2020-09-30 | 2021-08-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓盒搬運夾具 |
| CN112103231A (zh) * | 2020-11-17 | 2020-12-18 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 |
| CN112103231B (zh) * | 2020-11-17 | 2021-03-02 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 |
| CN117133691A (zh) * | 2023-10-25 | 2023-11-28 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种晶圆盒清洗后环境检测方法、检测装置及清洗设备 |
| CN117133691B (zh) * | 2023-10-25 | 2024-01-23 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种晶圆盒清洗后环境检测方法、检测装置及清洗设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151125 Termination date: 20190731 |