JPS6043774U - 可変コンダクタンス装置 - Google Patents

可変コンダクタンス装置

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JPS6043774U
JPS6043774U JP13540283U JP13540283U JPS6043774U JP S6043774 U JPS6043774 U JP S6043774U JP 13540283 U JP13540283 U JP 13540283U JP 13540283 U JP13540283 U JP 13540283U JP S6043774 U JPS6043774 U JP S6043774U
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JP
Japan
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variable conductance
conductance
conductance device
variable
contact
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Pending
Application number
JP13540283U
Other languages
English (en)
Inventor
川原　文雄
順司 高田
Original Assignee
日電アネルバ株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Lift Valve (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
゛　第１図ａは従来の可変コンダクタンス装置の構造を
示した断面図、第１図すは第１図ａのＡ−Ａ断面図、第
２図ａは本考案による可変コンダクタンス装置の一実施
例の構造を示した断面図、第２図すは第２図ａのＢ−Ｂ
断面図である。 １・・・コンダクタンス可変体、１ａ・・・接触面、２
・・・駆動軸、３・・・ボディ、３ａ・・・接触面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ボディに設けられた駆動軸を支点にしてコンダクタンス
    可変体を回転することによりコンダクタンスの調節を行
    なう蝶形の可変コンダクタンス装置において、前記コン
    ダクタンス可変体と前記ボディとがコンダクタンス最小
    時に互いに接触する接触面を有することを特徴とする可
    変コンダクタンス装置。
JP13540283U 1983-09-02 1983-09-02 可変コンダクタンス装置 Pending JPS6043774U (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4459297B1 (ja) * 2009-12-25 2010-04-28 株式会社日立国際電気 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2010116627A (ja) * 2009-12-25 2010-05-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2010189767A (ja) * 2010-04-15 2010-09-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置及び弁装置並びに弁装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2012140983A (ja) * 2010-12-28 2012-07-26 Calsonic Kansei Corp 切替バルブ構造

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5343546U (ja) * 1976-09-18 1978-04-14

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5343546U (ja) * 1976-09-18 1978-04-14

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4459297B1 (ja) * 2009-12-25 2010-04-28 株式会社日立国際電気 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2010116627A (ja) * 2009-12-25 2010-05-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2010159492A (ja) * 2009-12-25 2010-07-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP4523071B2 (ja) * 2009-12-25 2010-08-11 株式会社日立国際電気 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2010189767A (ja) * 2010-04-15 2010-09-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置及び弁装置並びに弁装置を用いたｃｖｄ処理方法及び半導体の製造方法
JP2012140983A (ja) * 2010-12-28 2012-07-26 Calsonic Kansei Corp 切替バルブ構造

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