JPS6052621U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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JPS6052621U
JPS6052621U JP14438683U JP14438683U JPS6052621U JP S6052621 U JPS6052621 U JP S6052621U JP 14438683 U JP14438683 U JP 14438683U JP 14438683 U JP14438683 U JP 14438683U JP S6052621 U JPS6052621 U JP S6052621U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resist coating
coating equipment
resist
substrate
resist liquid
Prior art date
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Application number
JP14438683U
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English (en)
Other versions
JPS6342526Y2 (ja
Inventor
明 森重
宮原　温
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP14438683U priority Critical patent/JPS6052621U/ja
Publication of JPS6052621U publication Critical patent/JPS6052621U/ja
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Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレジスト塗布装置の模式的概略構成図、
第２図は従来の塗布状態を説明するための要部拡大断面
図、第３図は本考案の一実施例のレジスト塗布装置の模
式的概略構成図、第４図及び第５図は同じ本考案の一実
施例のレジスト塗布装置の吸引口の模式的要部拡大断面
図である。 図において１は基板載置台、２は基板、３はレジスト液
、４はレジスト液滴下用ノズル、１ｏはレジスト液吸引
口、１１はレジスト液導出管、１２はレジスト液回収槽
、１３は真空排気管を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レジスト液滴下用ノズルと、基板を載置して回転する基
    板載置台とを有し、該基板の周縁部に近接して、前記レ
    ジスト液吸引口が設けられたことを特徴とするレジスト
    塗布装置。
JP14438683U 1983-09-16 1983-09-16 レジスト塗布装置 Granted JPS6052621U (ja)

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JP14438683U JPS6052621U (ja) 1983-09-16 1983-09-16 レジスト塗布装置

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Publication Number Publication Date
JPS6052621U true JPS6052621U (ja) 1985-04-13
JPS6342526Y2 JPS6342526Y2 (ja) 1988-11-08

Family

ID=30321997

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JP (1) JPS6052621U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6351638A (ja) * 1986-08-20 1988-03-04 Clean Saafueisu Gijutsu Kk フオト・エツチングのレジスト塗布回収装置
JPS63116778A (ja) * 1986-10-31 1988-05-21 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd ローラの塗布方法
JP2009158767A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Tokyo Electron Ltd 回転塗布装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5881932U (ja) * 1981-11-26 1983-06-03 凸版印刷株式会社 スピンナ−塗布装置

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS6342526Y2 (ja) 1988-11-08

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