JPS5881932U - スピンナ−塗布装置 - Google Patents

スピンナ−塗布装置

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Publication number
JPS5881932U
JPS5881932U JP17577781U JP17577781U JPS5881932U JP S5881932 U JPS5881932 U JP S5881932U JP 17577781 U JP17577781 U JP 17577781U JP 17577781 U JP17577781 U JP 17577781U JP S5881932 U JPS5881932 U JP S5881932U
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JP
Japan
Prior art keywords
coating liquid
coating device
spinner coating
spinner
rotating
Prior art date
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Pending
Application number
JP17577781U
Other languages
English (en)
Inventor
斉藤　之雄
Original Assignee
凸版印刷株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来例を示すもので、第１図は装
置の主要部の構成を概略的に示す縦断側面図、第２図は
余剰塗布液が被塗布物の周縁部裏面に回り込んだ状態を
示す断面図、第３図および第４図は本考案の一実施例を
示すもので、第３図は装置の主要部の構成を概略的に示
す縦断側面図、第４図は被塗布物の周縁部近傍の状態を
宗す断面図である。 Ｃ・・・被塗布物、ｅ・・・塗布液、ｅ″・・・塗膜、
ｅ″・・・余剰塗布液、ｇ・・・純水、ｇ′・・・余剰
塗布液回り込み防止用の水流、３・・・チャック、６・
・・真空吸引器、１２・・・吸引路、１４・・・噴水ノ
ズル、１４ａ・・・噴出口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被塗布物を回転させ、その中心部に滴下した塗布液を遠
    心力によって放射状に延ばすことにより、被塗布物上に
    塗膜を形成するとともに被塗布物の周縁部から流出する
    余剰の塗布液を真空吸引作用により吸収するようにした
    スピンナー塗布装置において、回転中の上記被塗布物の
    裏面に対して水を吹付けて余剰塗布液回り込防止用の水
    流を形成させる噴水ノズルを設けたことを特徴とするス
    ピンナー塗布装置。
JP17577781U 1981-11-26 1981-11-26 スピンナ−塗布装置 Pending JPS5881932U (ja)

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JP17577781U JPS5881932U (ja) 1981-11-26 1981-11-26 スピンナ−塗布装置

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JPS5881932U true JPS5881932U (ja) 1983-06-03

Family

ID=29968306

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JP (1) JPS5881932U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6052621U (ja) * 1983-09-16 1985-04-13 富士通株式会社 レジスト塗布装置
JP2011060833A (ja) * 2009-09-07 2011-03-24 Disco Abrasive Syst Ltd 保護膜被覆方法および保護膜被覆装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6052621U (ja) * 1983-09-16 1985-04-13 富士通株式会社 レジスト塗布装置
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