JPS596836U - 薄膜気相成長装置 - Google Patents
薄膜気相成長装置Info
- Publication number
- JPS596836U JPS596836U JP10277582U JP10277582U JPS596836U JP S596836 U JPS596836 U JP S596836U JP 10277582 U JP10277582 U JP 10277582U JP 10277582 U JP10277582 U JP 10277582U JP S596836 U JPS596836 U JP S596836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- vapor phase
- phase growth
- film vapor
- growth equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図は従来および本考案実施例を示す断
面概略図、第３図ａ、 ｂは共に本考案実施例を示す
正面概略図のよび側面概略図である。 ２・・・サセプター、３・・・基板、８・・・ノズル、
８ａ。 ８ｂ・・・延長本管、８ｃ、 ＄ｄ・・・ガス吹き出
し管。
面概略図、第３図ａ、 ｂは共に本考案実施例を示す
正面概略図のよび側面概略図である。 ２・・・サセプター、３・・・基板、８・・・ノズル、
８ａ。 ８ｂ・・・延長本管、８ｃ、 ＄ｄ・・・ガス吹き出
し管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 所望の薄膜を成長させるべき基板を支持するための
サセプターと、このサセプターのほぼ中心から突出され
るように設けられた延長本管およびこの延長本管の先端
部に設けられたガス吹き出し管とから成るノズルとを含
み、上記サセプターからのノズルに対する熱的影響を上
記延長本管によって緩和させるように構成したことを特
徴とする薄膜気相成長装置。 ？ 上記ガス吹き出し管が偏平一方向先細り構造から成
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の薄膜気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10277582U JPS596836U (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 薄膜気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10277582U JPS596836U (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 薄膜気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS596836U true JPS596836U (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=30242086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10277582U Pending JPS596836U (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 薄膜気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596836U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63164949A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-08 | 金澤 政男 | 超音波利用洗髪兼育毛器 |
| JPS63180039U (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-21 |
-
1982
- 1982-07-06 JP JP10277582U patent/JPS596836U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63164949A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-08 | 金澤 政男 | 超音波利用洗髪兼育毛器 |
| JPS63180039U (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-21 |
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