JPS5963297U - 高圧容器 - Google Patents

高圧容器

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Publication number
JPS5963297U
JPS5963297U JP15956582U JP15956582U JPS5963297U JP S5963297 U JPS5963297 U JP S5963297U JP 15956582 U JP15956582 U JP 15956582U JP 15956582 U JP15956582 U JP 15956582U JP S5963297 U JPS5963297 U JP S5963297U
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JP
Japan
Prior art keywords
high pressure
pressure vessel
container
pressure
metal
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Pending
Application number
JP15956582U
Other languages
English (en)
Inventor
山崎舜平
Original Assignee
株式会社半導体エネルギ−研究所
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Publication date
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Publication of JPS5963297U publication Critical patent/JPS5963297U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の高圧容器の一例を示す。第２　、図は
本考案の高圧容器を作るためのプラズマＣＶＤ装置の概
要を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 気体を高圧状態で充填し保持す゛る金属製高圧容器にお
    いて、該容部の内壁に窒化珪素または金属窒化膜がコー
    ティングして設けられたことを特徴とする高圧容器。
JP15956582U 1982-10-21 1982-10-21 高圧容器 Pending JPS5963297U (ja)

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JP15956582U JPS5963297U (ja) 1982-10-21 1982-10-21 高圧容器

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JP15956582U JPS5963297U (ja) 1982-10-21 1982-10-21 高圧容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5963297U true JPS5963297U (ja) 1984-04-25

Family

ID=30351218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15956582U Pending JPS5963297U (ja) 1982-10-21 1982-10-21 高圧容器

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JP (1) JPS5963297U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004138171A (ja) * 2002-10-18 2004-05-13 Seiji Kubo 水素貯蔵方法及び貯蔵装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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