JPS6116365U - 薄膜蒸着装置 - Google Patents
薄膜蒸着装置Info
- Publication number
- JPS6116365U JPS6116365U JP9890584U JP9890584U JPS6116365U JP S6116365 U JPS6116365 U JP S6116365U JP 9890584 U JP9890584 U JP 9890584U JP 9890584 U JP9890584 U JP 9890584U JP S6116365 U JPS6116365 U JP S6116365U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film deposition
- deposition equipment
- vacuum vessel
- resistant
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の薄膜蒸着装置を示す構成図、第２図はこ
の考案の一実施例を示す構成図である。 図において、１は真空容器、２０は剥離体である。 なお各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
の考案の一実施例を示す構成図である。 図において、１は真空容器、２０は剥離体である。 なお各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 蒸発源から発生した蒸着物質を真空容器内で基板へ物理
的に蒸着させるものにおいて、上記真空容器の内壁に耐
熱性を有し、剥離可能な剥離体を設けたことを特徴とす
る薄膜蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9890584U JPS6116365U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 薄膜蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9890584U JPS6116365U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 薄膜蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6116365U true JPS6116365U (ja) | 1986-01-30 |
Family
ID=30658423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9890584U Pending JPS6116365U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 薄膜蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6116365U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4999972A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-20 | ||
| JPS55154570A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-02 | Nec Corp | Protecting method for vacuum deposition apparatus mechanism parts |
-
1984
- 1984-06-28 JP JP9890584U patent/JPS6116365U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4999972A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-20 | ||
| JPS55154570A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-02 | Nec Corp | Protecting method for vacuum deposition apparatus mechanism parts |
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