JPS59182932U - ウエハ−搬送装置 - Google Patents

ウエハ−搬送装置

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JPS59182932U
JPS59182932U JP7726083U JP7726083U JPS59182932U JP S59182932 U JPS59182932 U JP S59182932U JP 7726083 U JP7726083 U JP 7726083U JP 7726083 U JP7726083 U JP 7726083U JP S59182932 U JPS59182932 U JP S59182932U
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JP
Japan
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wafer
transfer device
wafer transfer
hold
transfer arm
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JP7726083U
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JPH019165Y2 (ja
Inventor
誠 中島
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不二越機械工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハー搬送装置の要部を示す図、第２
図および第３図は本考案の実施例を示すもので、第２図
はウェハー搬送装置の全体を示す図、第３図Ａ−Ｇは作
動状態を示す要部の概略図である。 １１・・・・・・搬送アーム、１２・・・・・・保持部
、１３・・・・・・吸着保持部、Ｍ・・・・・・作業装
置、Ｗ・・曲ウェハー。 ｒ−−−コ　　　相 Ｍ■−−−１’ｉ＋ ３ ２

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 作業装置に対して未作業のウェハーを保持して搬入し、
    かつこの作業装置から作業済のウェハーを保持して搬出
    する搬送アームを備えたウェハー搬送装置において、前
    記搬送アームの上方にはウェハーを保持する保持部が設
    けられ、かつ下方にはウェハーを吸着して保持する吸着
    保持部が設けられていることを特徴とするウェハー搬送
    装置。
JP7726083U 1983-05-23 1983-05-23 ウエハ−搬送装置 Granted JPS59182932U (ja)

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JP7726083U JPS59182932U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウエハ−搬送装置

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JP7726083U JPS59182932U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウエハ−搬送装置

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Publication Number Publication Date
JPS59182932U true JPS59182932U (ja) 1984-12-06
JPH019165Y2 JPH019165Y2 (ja) 1989-03-13

Family

ID=30207292

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JP7726083U Granted JPS59182932U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウエハ−搬送装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62181439A (ja) * 1986-02-05 1987-08-08 Hitachi Ltd 真空処理装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS513743U (ja) * 1974-06-25 1976-01-12

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS513743U (ja) * 1974-06-25 1976-01-12

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS62181439A (ja) * 1986-02-05 1987-08-08 Hitachi Ltd 真空処理装置

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JPH019165Y2 (ja) 1989-03-13

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