JPS5916140U - 半導体ウエハ−ス用キヤリア - Google Patents
半導体ウエハ−ス用キヤリアInfo
- Publication number
- JPS5916140U JPS5916140U JP11074482U JP11074482U JPS5916140U JP S5916140 U JPS5916140 U JP S5916140U JP 11074482 U JP11074482 U JP 11074482U JP 11074482 U JP11074482 U JP 11074482U JP S5916140 U JPS5916140 U JP S5916140U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- semiconductor wafers
- semiconductor wafer
- semiconductor
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の半導体ウェハース用キャリア正面図
であり、第２図は側面図である。 尚、図において、１・・・・・・半導体ウェハース、用
キャリア、２・・・・・・半導体ウェハース、３． ４
． ５・・・・・・半導体ウェハース受は支柱、６．６
’、６″・・・・・・車輪である。
であり、第２図は側面図である。 尚、図において、１・・・・・・半導体ウェハース、用
キャリア、２・・・・・・半導体ウェハース、３． ４
． ５・・・・・・半導体ウェハース受は支柱、６．６
’、６″・・・・・・車輪である。
Claims (1)
- プラズマエツチング及びプラズマ剥離装置に使用される
半導体ウェハース用キャリアにおいて、半導体ウェハー
スをセットするための一定間隔の溝を有している３本の
支柱の内、半導体ウェハースの底部を受ける部分の支柱
に車輪を有する事を特徴とする半導体ウェハース用キャ
リア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11074482U JPS5916140U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体ウエハ−ス用キヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11074482U JPS5916140U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体ウエハ−ス用キヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5916140U true JPS5916140U (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=30257428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11074482U Pending JPS5916140U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体ウエハ−ス用キヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916140U (ja) |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP11074482U patent/JPS5916140U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5916140U (ja) | 半導体ウエハ−ス用キヤリア | |
| JPS5918435U (ja) | 非接触型ウエ−ハチヤツク | |
| JPS6132077U (ja) | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ | |
| JPS6056467U (ja) | 半導体ウェハダイシングブレ−ド | |
| JPS6135748U (ja) | 半導体ウエハ−用ピンセツト | |
| JPS60129131U (ja) | ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア | |
| JPS59109147U (ja) | ウエハ収納ケ−ス | |
| JPS5984843U (ja) | 半導体製造用キヤリアハンガ | |
| JPS5819204U (ja) | Ｏリング内径判別器 | |
| JPS5924229U (ja) | フロ−テイングチヤツク | |
| JPS59103441U (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPS5914356U (ja) | 半導体受光チツプ | |
| JPS60174239U (ja) | 半導体ウエハ用収納治具 | |
| JPS58124952U (ja) | 半導体ウエハ用収納治具 | |
| JPS58120643U (ja) | ウエハ処理用バスケツト | |
| JPS60100748U (ja) | フオトレジスト塗布装置 | |
| JPS60109327U (ja) | 半導体用イオン注入装置の半導体ウエ−ハ支持機構 | |
| JPS5974732U (ja) | 半導体ウエハ−ス用キヤリア | |
| JPS6188242U (ja) | ||
| JPS60117857U (ja) | 蒸着機用ウエハ−ホルダ− | |
| JPS59146941U (ja) | 半導体洗浄治具 | |
| JPS5938518U (ja) | 地中に埋設される支柱 | |
| JPS5996829U (ja) | 半導体ウエ−ハの発熱担体 | |
| JPS6088550U (ja) | キヤリアテ−プ | |
| JPS5939937U (ja) | 半導体ウエハ支持台 |