JPS59146941U - 半導体洗浄治具 - Google Patents
半導体洗浄治具Info
- Publication number
- JPS59146941U JPS59146941U JP3959583U JP3959583U JPS59146941U JP S59146941 U JPS59146941 U JP S59146941U JP 3959583 U JP3959583 U JP 3959583U JP 3959583 U JP3959583 U JP 3959583U JP S59146941 U JPS59146941 U JP S59146941U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning jig
- semiconductor cleaning
- semiconductor
- jig
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の洗浄治具の外観斜視図、第２図はそのＩ
−Ｉ’力方向縦断正面図、第３図は本考案の実施例の外
観斜視図、第４図はそのＩ−Ｉ′力方向縦断正面図であ
る。 ５・・・洗浄治具本体、６・・・分割ウェハの支持体、
７・・・ピン、８・・・切り溝、９・・・分割ウェハ、
１０・・・切り溝。
−Ｉ’力方向縦断正面図、第３図は本考案の実施例の外
観斜視図、第４図はそのＩ−Ｉ′力方向縦断正面図であ
る。 ５・・・洗浄治具本体、６・・・分割ウェハの支持体、
７・・・ピン、８・・・切り溝、９・・・分割ウェハ、
１０・・・切り溝。
Claims (1)
- 半導体ウェハを切断して外形が小さくなった分割ウェハ
を支持する切り溝を有する支持体を、洗浄治具の内側面
に着脱自在に取付けたことを特徴とする半導体洗浄治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3959583U JPS59146941U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 半導体洗浄治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3959583U JPS59146941U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 半導体洗浄治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59146941U true JPS59146941U (ja) | 1984-10-01 |
| JPH0438518Y2 JPH0438518Y2 (ja) | 1992-09-09 |
Family
ID=30170233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3959583U Granted JPS59146941U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 半導体洗浄治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59146941U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5285477A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-15 | Senken Kk | Wafer carrying container for integrated circuit |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP3959583U patent/JPS59146941U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5285477A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-15 | Senken Kk | Wafer carrying container for integrated circuit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438518Y2 (ja) | 1992-09-09 |
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