JPS6033445U - ピッチ変換ウェ−ハ立替装置 - Google Patents

ピッチ変換ウェ−ハ立替装置

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Publication number
JPS6033445U
JPS6033445U JP12385683U JP12385683U JPS6033445U JP S6033445 U JPS6033445 U JP S6033445U JP 12385683 U JP12385683 U JP 12385683U JP 12385683 U JP12385683 U JP 12385683U JP S6033445 U JPS6033445 U JP S6033445U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
section
carrier
pitch
wafers
pitch conversion
Prior art date
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Pending
Application number
JP12385683U
Other languages
English (en)
Inventor
田中　定一
健太郎 金谷
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Priority to JP12385683U priority Critical patent/JPS6033445U/ja
Publication of JPS6033445U publication Critical patent/JPS6033445U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の各部の配置図、第２図は装
置キャリア内のウェーハがピッチ変換された図、第３図
ａ、　ｂは装置キャリア内でブツシャがウェーハを持ち
上げた図およびシャッタが閉状態となった図、第４図ａ
、　ｂはウェーハがブツシャに挿入された状態を示す図
である。 １・・・ウェーハ、２・・・石英キャリア、３・・・キ
ャリア、４・・・キャリアテーブル、５・・・石英キャ
リアテーブル、６，７．８・・・ブツシャ、９・・・装
置キャリア、１０・・・シャッタ、１１・・・羽根板（
ウェーハガイド）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェーハが収納されたキャリアを載せるキャーリアテー
    ブル部と、ウェーハを立替えるピッチの違う石英キャリ
    アテーブル部と、ウェーハを一時移し替えしピッチ変換
    し立替位置へ移動する装置キャリア部と、ウェーハを立
    替えるためウェーハを上昇、下降させるブツシャ部と、
    装置キャリアが移動する立替位置を決める位置決め部と
    を含むことを特徴とするピッチ変換つ千−ハ立替装置。
JP12385683U 1983-08-10 1983-08-10 ピッチ変換ウェ−ハ立替装置 Pending JPS6033445U (ja)

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JP12385683U JPS6033445U (ja) 1983-08-10 1983-08-10 ピッチ変換ウェ−ハ立替装置

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Publications (1)

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JPS6033445U true JPS6033445U (ja) 1985-03-07

Family

ID=30282565

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JP (1) JPS6033445U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63208911A (ja) * 1987-02-26 1988-08-30 Atsugi Motor Parts Co Ltd 圧力制御弁
JPS63298414A (ja) * 1987-05-28 1988-12-06 Aisin Warner Ltd 圧力調整弁

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63208911A (ja) * 1987-02-26 1988-08-30 Atsugi Motor Parts Co Ltd 圧力制御弁
JPS63298414A (ja) * 1987-05-28 1988-12-06 Aisin Warner Ltd 圧力調整弁

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