JPS60179040U - 半導体ペレツト搭載装置 - Google Patents

半導体ペレツト搭載装置

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JPS60179040U
JPS60179040U JP6664984U JP6664984U JPS60179040U JP S60179040 U JPS60179040 U JP S60179040U JP 6664984 U JP6664984 U JP 6664984U JP 6664984 U JP6664984 U JP 6664984U JP S60179040 U JPS60179040 U JP S60179040U
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JP
Japan
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wafer
turntable
semiconductor pellet
pellet loading
loading equipment
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JP6664984U
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JPH0110932Y2 (ja
Inventor
隆一郎 森中
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る半導体ペレット搭載装置の一実施
例を示す上面図、第２図は第１図の正面図、第３図はそ
のウェーハチェンジャ及びターンテーブル等を示す要部
拡大斜視図、第４図はそのターンテーブルの把持部にチ
ャックされたウェーハリング上から半導体ペレットを吸
着する手段を説明するための断面図、第５図は多数の半
導体ペレットを形成した半導体ウェーハを接着性シート
上に貼着した状態を示す斜視図、第６図は多数の半導体
ペレットを分割したウェーハリングを示す斜視図、第７
図は第６図のＡ−Ａ線にて切断した断面図である。 ３・・・半導体ペレット（ペレット）１．６・・・ウェ
ーハリング、８・・・ウェーハチェンジャ、１３・・・
ターンテーブル、１３ａ・・・把持部、１４・・・ＸＹ
テーブル、Ａ・・・供給装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 多数の半導体ペレットを格子状に分割配置したウェーハ
    リングを、上下方向に等間隔で複数収納した状態で上下
    動するウェーハチェンジャ、該ウェーハチェンジャに回
    転自在に対設し、ウェーハチェンジャから取出された任
    意のウェーハリングをチャックする複数の把持部を有し
    、そのウェーハリングを取出側から供給側に移送するタ
    ーンテーブルと、上記ウェーハチェンジャ及びターンテ
    ーブルを水平方向で移動させ、該ターンテーブルの把持
    部にチャックされたウェーハリング上の半導体ペレット
    を供給装置に位置決めするＸＹテーブルとを含むことを
    特徴とする半導体ペレット搭載装置。
JP6664984U 1984-05-07 1984-05-07 半導体ペレツト搭載装置 Granted JPS60179040U (ja)

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JP6664984U JPS60179040U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 半導体ペレツト搭載装置

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JPS60179040U true JPS60179040U (ja) 1985-11-28
JPH0110932Y2 JPH0110932Y2 (ja) 1989-03-29

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JP (1) JPS60179040U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231137A (ja) * 1985-08-02 1987-02-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd ダイスボンデイング装置
JP2009188306A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Panasonic Corp チップ供給装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231137A (ja) * 1985-08-02 1987-02-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd ダイスボンデイング装置
JP2009188306A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Panasonic Corp チップ供給装置

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JPH0110932Y2 (ja) 1989-03-29

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