JPS60125733U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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Publication number
JPS60125733U
JPS60125733U JP1348584U JP1348584U JPS60125733U JP S60125733 U JPS60125733 U JP S60125733U JP 1348584 U JP1348584 U JP 1348584U JP 1348584 U JP1348584 U JP 1348584U JP S60125733 U JPS60125733 U JP S60125733U
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer ring
semiconductor pellets
positioning table
semiconductor manufacturing
tray
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Pending
Application number
JP1348584U
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English (en)
Inventor
織田　一隆
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Publication date
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Priority to JP1348584U priority Critical patent/JPS60125733U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示すもので、第
１図は平面図、第２図は正面図を示す。 ３・・・位置決め台、４，４ａ、４ｂ・・・ウェハリン
グ、５・・・半導体ペレット、６・・・吸着装置、１０
・・・トレー移動装置、１１・・・供給トレー、１２・
・・排出トレー、１５・・・エレベータ、１６・・・ア
ーム、１７ａ、１７ｂ・・・保持機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の半導体ペレットを整列状態で貼着したシートを張
    設したウェハリングを載置し位置決めする位置決め台と
    、位置決め台上方で上下動し半導体ペレットを吸着して
    取り出す吸着装置と、半導体ペレットを有するウェハリ
    ングを載置した供給トレー及び半導体ペレットが取り出
    された空のウェハリングを載置する排出トレーを定ポジ
    ションに交互に位置させるトレー移動装置と、位置決め
    台とトレー移動装置上の定ポジション間に配置され、両
    端にウェハリングを保持する保持機構を有するアームの
    中間部を支持しアームを上下動及び水平方向に回転させ
    るエレベータとを含むことを特徴とする半導体製造装置
    。
JP1348584U 1984-01-31 1984-01-31 半導体製造装置 Pending JPS60125733U (ja)

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JP1348584U JPS60125733U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 半導体製造装置

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JP1348584U JPS60125733U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 半導体製造装置

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JPS60125733U true JPS60125733U (ja) 1985-08-24

Family

ID=30497536

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JP1348584U Pending JPS60125733U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 半導体製造装置

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