JPS5863751U - シリコンウエハ−ス立て替え治具 - Google Patents

シリコンウエハ−ス立て替え治具

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Publication number
JPS5863751U
JPS5863751U JP15773581U JP15773581U JPS5863751U JP S5863751 U JPS5863751 U JP S5863751U JP 15773581 U JP15773581 U JP 15773581U JP 15773581 U JP15773581 U JP 15773581U JP S5863751 U JPS5863751 U JP S5863751U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon wafer
carrier
replacement jig
jig
wafer replacement
Prior art date
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Pending
Application number
JP15773581U
Other languages
English (en)
Inventor
池山　一孝
Original Assignee
九州日本電気株式会社
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Publication date
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Priority to JP15773581U priority Critical patent/JPS5863751U/ja
Publication of JPS5863751U publication Critical patent/JPS5863751U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例のシリコンウェハース立て替え
治具の斜視図である。第２図は本考案の立て替える対象
物となったアルミ製の専用キャリアの斜視図である。第
３図ａ１第３図５１第３図Ｃはこの考案の一実施例を用
いた作業を示す図で第３図ａは、アルミ製の専用キャリ
アと立て替え治具をセットしシリコンウェハースが収納
されたキャリアの溝とを合わせ、シリコンウェハースを
スライドさせ専用キャリアに移し替えている図で、第３
図す、　　ｃはシリコンウェハースを立て替え治具がセ
ットきれた専用キャリアに移し替えた後に、専用キャリ
アを上へ移動するか、又は立替え治具を下へ移動する事
によりシリコンウェハースを専用キャリアに移し替えた
図である。 尚、図において、１・・・・・・シリコンウェハース立
て替え治具、２・・・・・・シリコンウェハース受は溝
、３・・・・・・シリコンウェハース収納キャリア、４
・・・・・・シリコンウェハース、５・・・・・・シリ
コンウェハース受は支柱、６・・・・・・アルミ製の専
用キャリア、７・・・・・・シリコンウェハース受は支
柱、８・・・・・・シリコンウェハース受は支柱、９・
ｐ・・・・専用キャリア受は溝である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコンウェハースをある数枚単位で収納しているキャ
    リアから他のキャリアへ移し替えるとき゛　　に用いる
    立て替え治具において、該キャリアと同ピツチの溝を有
    し、上部が開放しており、底部はシリコンウェハースを
    受けられる様、弧を描いており、本立て替え治具を簡単
    にセットするだけで移し替える方のキャリアの底部に直
    接シリコンウェハースが接触しない様に、該キャリアの
    底部より高い位置でシリコンウェハースを一担止められ
    る様な構造を有することを特徴とするシリコンウェハー
    ス立て替え治具。
JP15773581U 1981-10-23 1981-10-23 シリコンウエハ−ス立て替え治具 Pending JPS5863751U (ja)

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JP15773581U JPS5863751U (ja) 1981-10-23 1981-10-23 シリコンウエハ−ス立て替え治具

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JP15773581U JPS5863751U (ja) 1981-10-23 1981-10-23 シリコンウエハ−ス立て替え治具

Publications (1)

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JPS5863751U true JPS5863751U (ja) 1983-04-28

Family

ID=29950247

Family Applications (1)

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JP15773581U Pending JPS5863751U (ja) 1981-10-23 1981-10-23 シリコンウエハ−ス立て替え治具

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