JPS605131U - 半導体ウエハ用キヤリヤ - Google Patents

半導体ウエハ用キヤリヤ

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Publication number
JPS605131U
JPS605131U JP9687283U JP9687283U JPS605131U JP S605131 U JPS605131 U JP S605131U JP 9687283 U JP9687283 U JP 9687283U JP 9687283 U JP9687283 U JP 9687283U JP S605131 U JPS605131 U JP S605131U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
semiconductor wafer
semiconductor wafers
groove
opposing
Prior art date
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Pending
Application number
JP9687283U
Other languages
English (en)
Inventor
西ケ谷　勲
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP9687283U priority Critical patent/JPS605131U/ja
Publication of JPS605131U publication Critical patent/JPS605131U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
□　第１図は従来使用されているキャリヤの外観図、第
２図は第１図のキャリヤの溝部断面図、第３図は本考案
によるキャリヤの外観図、第４図は従来使用されている
キャリヤを用いた場合のうつし替え作業説明図、第５図
は本考案によるキャリヤを用いた場合のうつし替え作業
説明図である。　　　　　−図中、１はキャリヤ本体、
２はウェハ、３はｖ字型溝、４はキャリヤ本体、５は弾
性変形する棒、６は支持棒、７はウェハ収納キャリヤ、
８は空キ・ヤリャ、９は空キャリヤ、１０はウェハ収納
キャリヤ、１１は押しつける方向矢印、１２はキャリヤ
本体の開く方向矢印。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の半導体ウェハを平行にかつ等間かくで収納する為
    に設けられた、対向した複数のＶ字型断面を有する溝の
    終端部相互の間かくが、収納された半導体ウェハの直径
    方向に拡張する事が可能となるような機構をもつ事を特
    徴とする半導体ウェハ用キャリヤ。
JP9687283U 1983-06-23 1983-06-23 半導体ウエハ用キヤリヤ Pending JPS605131U (ja)

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JP9687283U JPS605131U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 半導体ウエハ用キヤリヤ

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JP9687283U JPS605131U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 半導体ウエハ用キヤリヤ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS605131U true JPS605131U (ja) 1985-01-14

Family

ID=30230674

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JP9687283U Pending JPS605131U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 半導体ウエハ用キヤリヤ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61229336A (ja) * 1985-04-03 1986-10-13 Rohm Co Ltd ウエハキヤリア
JPH02142155A (ja) * 1988-11-22 1990-05-31 Fujitsu Ltd 半導体ウェハ移し替え装置
JP2014222700A (ja) * 2013-05-13 2014-11-27 三菱電機株式会社 ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61229336A (ja) * 1985-04-03 1986-10-13 Rohm Co Ltd ウエハキヤリア
JPH02142155A (ja) * 1988-11-22 1990-05-31 Fujitsu Ltd 半導体ウェハ移し替え装置
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