JPS6127878U - ウエハ−の収納キヤリア - Google Patents
ウエハ−の収納キヤリアInfo
- Publication number
- JPS6127878U JPS6127878U JP11218084U JP11218084U JPS6127878U JP S6127878 U JPS6127878 U JP S6127878U JP 11218084 U JP11218084 U JP 11218084U JP 11218084 U JP11218084 U JP 11218084U JP S6127878 U JPS6127878 U JP S6127878U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage carrier
- wafer storage
- wafer
- carrier
- slidable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にか）るウエハーの収納キャリアを示す
全体斜視図、第２図はキャリア単体の斜視図、第３図は
従来のキャリアの斜視図である。 １・・・・・・ウエハー、２・・・・・・キャリア単体
、３・・・・・・スリット、４・・・・・・ガイドレー
ル。
全体斜視図、第２図はキャリア単体の斜視図、第３図は
従来のキャリアの斜視図である。 １・・・・・・ウエハー、２・・・・・・キャリア単体
、３・・・・・・スリット、４・・・・・・ガイドレー
ル。
Claims (1)
- 単一のウエハー１を、その表面をほぼ全体に露呈させた
状態で収納するキャリア単体２を、ウエハー表面に沿う
方向に互いにスライド自在に多数個重合連結してあるウ
エハーの収納キャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218084U JPS6127878U (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ウエハ−の収納キヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218084U JPS6127878U (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ウエハ−の収納キヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127878U true JPS6127878U (ja) | 1986-02-19 |
Family
ID=30671248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11218084U Pending JPS6127878U (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ウエハ−の収納キヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6127878U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63276239A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Hitachi Ltd | ウエハキャリア治具 |
| CN103283012A (zh) * | 2010-11-11 | 2013-09-04 | 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 | 用于工艺盒的装载和卸载方法 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP11218084U patent/JPS6127878U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63276239A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Hitachi Ltd | ウエハキャリア治具 |
| CN103283012A (zh) * | 2010-11-11 | 2013-09-04 | 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 | 用于工艺盒的装载和卸载方法 |
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