JPS60176547U - ウエハ−処理装置 - Google Patents
ウエハ−処理装置Info
- Publication number
- JPS60176547U JPS60176547U JP6365384U JP6365384U JPS60176547U JP S60176547 U JPS60176547 U JP S60176547U JP 6365384 U JP6365384 U JP 6365384U JP 6365384 U JP6365384 U JP 6365384U JP S60176547 U JPS60176547 U JP S60176547U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer processing
- processing equipment
- ring
- processing device
- transfer path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案にかかる一実施例の円形状キャリア搬送
装置の概要図、第２図はその部分断面図である。 図中、１は搬送袋帯、２は接続帯、３はキャリア、３１
は車輪、Ａ〜Ｈは処理工程ラインを示している。
装置の概要図、第２図はその部分断面図である。 図中、１は搬送袋帯、２は接続帯、３はキャリア、３１
は車輪、Ａ〜Ｈは処理工程ラインを示している。
Claims (1)
- リング状搬送路を中心として、ウェハープロセスにおけ
る複数の処理装置を放射状に配置し、ウェハーリング状
搬送路から各処理装置へ搬入しミ且つ各処理装置からリ
ング状搬送路へ搬出できるようにしたことを特徴とする
ウェハー処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6365384U JPS60176547U (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | ウエハ−処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6365384U JPS60176547U (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | ウエハ−処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176547U true JPS60176547U (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=30594005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6365384U Pending JPS60176547U (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | ウエハ−処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176547U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995017993A1 (fr) * | 1993-12-27 | 1995-07-06 | Hitachi, Ltd. | Procede et appareil de production continue d'une multiplicite de types d'articles |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548120A (en) * | 1978-09-30 | 1980-04-05 | Toshiba Corp | Conveying system |
| JPS5730319A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-18 | Fujitsu Ltd | Automatic manufacturing equipment of integrated circuit device |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP6365384U patent/JPS60176547U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548120A (en) * | 1978-09-30 | 1980-04-05 | Toshiba Corp | Conveying system |
| JPS5730319A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-18 | Fujitsu Ltd | Automatic manufacturing equipment of integrated circuit device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995017993A1 (fr) * | 1993-12-27 | 1995-07-06 | Hitachi, Ltd. | Procede et appareil de production continue d'une multiplicite de types d'articles |
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