JPS60187540U - ウエハ−処理装置 - Google Patents
ウエハ−処理装置Info
- Publication number
- JPS60187540U JPS60187540U JP7481184U JP7481184U JPS60187540U JP S60187540 U JPS60187540 U JP S60187540U JP 7481184 U JP7481184 U JP 7481184U JP 7481184 U JP7481184 U JP 7481184U JP S60187540 U JPS60187540 U JP S60187540U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer processing
- processing equipment
- wafer
- section
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案にがかる一実施例のキャリア移送装置の
概要図、第２図はキャリアの斜視図、第３図はローダ部
およびアンローダ部の断面図である。 図中、“１−１．１−２は搬送ワイヤ、２Ａ、２Ｂはロ
ーダ部、３Ａ、３Ａはアンローダ部、４はコンバート部
、５はキャリア、５１は把手、Ａ。 Ｂは処理ライン工程を示している。
概要図、第２図はキャリアの斜視図、第３図はローダ部
およびアンローダ部の断面図である。 図中、“１−１．１−２は搬送ワイヤ、２Ａ、２Ｂはロ
ーダ部、３Ａ、３Ａはアンローダ部、４はコンバート部
、５はキャリア、５１は把手、Ａ。 Ｂは処理ライン工程を示している。
Claims (1)
- ウェハープロセスにおける複数の処理装置ｔ＼のローダ
部とアンローダ部とを、それぞれ直線状に平行した２列
状の搬送路の側方に配置し、各処理装置から自動的に搬
出入されるようにしたことを特徴とするウェハー処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7481184U JPS60187540U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | ウエハ−処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7481184U JPS60187540U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | ウエハ−処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187540U true JPS60187540U (ja) | 1985-12-12 |
Family
ID=30615449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7481184U Pending JPS60187540U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | ウエハ−処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187540U (ja) |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP7481184U patent/JPS60187540U/ja active Pending
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