JPS5946927U - 基板送り機構 - Google Patents
基板送り機構Info
- Publication number
- JPS5946927U JPS5946927U JP14296082U JP14296082U JPS5946927U JP S5946927 U JPS5946927 U JP S5946927U JP 14296082 U JP14296082 U JP 14296082U JP 14296082 U JP14296082 U JP 14296082U JP S5946927 U JPS5946927 U JP S5946927U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feeding mechanism
- board feeding
- endless belt
- board
- guide rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chain Conveyers (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による一実施例の基板たとえばウェーハ
送り機構を説明するための模式的構成図、第２図は懸吊
台の平面−である。図において１・２は装置、３・４は
ガイドローラ、５はエンドレスベルト、６は懸吊台を示
す。
送り機構を説明するための模式的構成図、第２図は懸吊
台の平面−である。図において１・２は装置、３・４は
ガイドローラ、５はエンドレスベルト、６は懸吊台を示
す。
Claims (1)
- 対向配置された段差を有する装置の基板送り機構として
、上下に配設したガイドローラに、回動するエンドレス
ベルトを設ケ、該エンドレスベルトに少なくとも１個の
懸吊台を付設した構造を特徴とする基板送り機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14296082U JPS5946927U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 基板送り機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14296082U JPS5946927U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 基板送り機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946927U true JPS5946927U (ja) | 1984-03-28 |
Family
ID=30319257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14296082U Pending JPS5946927U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 基板送り機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946927U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199400A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | ダイワ技研株式会社 | プリント基板のラツク収納装置 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP14296082U patent/JPS5946927U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199400A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | ダイワ技研株式会社 | プリント基板のラツク収納装置 |
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